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公开(公告)号：CN101683650B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200910148668.X
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
IPC: B08B9/093
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67379 , H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 一种清洗晶片容器的方法，包含下列步骤：选择晶片容器，包含：护孔环具有孔腔，该孔腔具有内表面，该护孔环是由弹性材料所构成，该孔腔界定流路；操作子组件，至少部分地容纳于该孔腔，并与该孔腔的内表面的弹性材料密封接合；该护孔环具有弹性材料，外露于该晶片容器外，该弹性材料提供座面；以清洗管口接合该弹性材料的该座面；利用自该管口的力压缩该弹性材料，藉此密封接合该护孔环与清洗源；及注入清洗气体于该晶片容器。
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公开(公告)号：CN101432202A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200580019833.1
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔
CPC classification number: H01L21/67376 , H01L21/67126
Abstract: 一种晶片容器(20)，包括外罩部件(22)，其具有由门框形成的用于插入和移动晶片的开口，以及用于密封外罩部件并与门框相配的门(24)。连续弹性密封件(94)围绕边界内的门延伸。密封件位于接近门周边的密封表面上，可以部分地插入门上径向的凹槽(92)中。在横截面上，弹性密封件具有插入部分(96)以及通过桥部(98)联结的密封头(97)。密封头具有从桥部向门密封表面凸出的底部(108)，以及相对于桥部沿与底部总体上相对方向延伸的头部(106)。门框具有密封接合结构，这样，当门位于门框中时，弹性密封件的桥部与密封接合结构(112)接触，使桥部向密封表面轴向移动，导致密封头的头部沿径向转动并与密封接合结构(118)接触。该移动动作还能使密封头的底部与门(58)密封表面接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1968872A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019675.X
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
IPC: B65D85/30
Abstract: 一种基板容器，包括外罩和形成于外罩上并通过外罩向基板容器内提供流体通路的出入口结构。该出入口结构包括开口和内表面。护孔环位于出入口结构的内表面。
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公开(公告)号：CN101432202B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200580019833.1
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔
CPC classification number: H01L21/67376 , H01L21/67126
Abstract: 一种晶片容器(20)，包括外罩部件(22)，其具有由门框形成的用于插入和移动晶片的开口，以及用于密封外罩部件并与门框相配的门(24)。连续弹性密封件(94)围绕边界内的门延伸。密封件位于接近门周边的密封表面上，可以部分地插入门上径向的凹槽(92)中。在横截面上，弹性密封件具有插入部分(96)以及通过桥部(98)联结的密封头(97)。密封头具有从桥部向门密封表面凸出的底部(108)，以及相对于桥部沿与底部总体上相对方向延伸的头部(106)。门框具有密封接合结构，这样，当门位于门框中时，弹性密封件的桥部与密封接合结构(112)接触，使桥部向密封表面轴向移动，导致密封头的头部沿径向转动并与密封接合结构(118)接触。该移动动作还能使密封头的底部与门(58)密封表面接触。
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公开(公告)号：CN101683650A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200910148668.X
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
IPC: B08B9/093
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67379 , H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 一种清洗晶片容器的方法，包含下列步骤：选择晶片容器，包含：护孔环具有孔腔，该孔腔具有内表面，该护孔环是由弹性材料所构成，该孔腔界定流路；操作子组件，至少部分地容纳于该孔腔，并与该孔腔的内表面的弹性材料密封接合；该护孔环具有弹性材料，外露于该晶片容器外，该弹性材料提供座面；以清洗管口接合该弹性材料的该座面；利用自该管口的力压缩该弹性材料，藉此密封接合该护孔环与清洗源；及注入清洗气体于该晶片容器。
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公开(公告)号：CN100560443C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200580019675.X
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
IPC: B65D85/30
Abstract: 一种基板容器，包括外罩和形成于外罩上并通过外罩向基板容器内提供流体通路的出入口结构。该出入口结构包括开口和内表面。护孔环位于出入口结构的内表面。
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公开(公告)号：CN101014509A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200580019814.9
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
Abstract: 一种基材容器，其具有包围部，该包围部具有门板开口，以置入及移除基材于包围部的内部，并有门板底座其装配适足以选择性地关闭该开口，该门板底座包含第一面侧壁，其包含周边侧壁自内部延伸出去。该基材容器包含闩锁结构，其可操作地连接至该底座，该闩锁结构装配适足以可操作地固定该底座于该开口。该基材容器的该门板包含具有纹路的微粒捕捉区域，用以捕捉由该闩锁结构或其它地方所产生的微粒物质。
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