公开(公告)号：CN101166682A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200680014024.6

申请日：2006-02-27

Applicant: 安堤格里斯公司

Inventor： B·格雷格森 ,  D·哈伯梅尔 ,  S·森纳 ,  B·怀斯曼 ,  A·M·蒂本 ,  J·斯特里克

IPC: B65G1/133

Abstract: 本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。

公开(公告)号：CN101166681B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200680013975.1

申请日：2006-02-27

Applicant: 安堤格里斯公司

Inventor： B·格雷格森 ,  D·哈伯梅尔 ,  S·森纳 ,  B·怀斯曼 ,  A·M·蒂本 ,  J·斯特里克

IPC: B65D85/00

CPC classification number: H01L21/67353 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67386

Abstract: 本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。

公开(公告)号：CN101166681A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200680013975.1

申请日：2006-02-27

Applicant: 安堤格里斯公司

Inventor： B·格雷格森 ,  D·哈伯梅尔 ,  S·森纳 ,  B·怀斯曼 ,  A·M·蒂本 ,  J·斯特里克

IPC: B65D85/00

CPC classification number: H01L21/67353 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67386

Abstract: 本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。