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公开(公告)号：CN109507008B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201811244507.6
申请日：2018-10-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于声表面波液滴微流控芯片的微液滴急速固化装置，包括液滴微流控芯片，液滴微流控芯片安装在半导体制冷器的制冷面上，半导体制冷器的产热面安装在散热片上，散热片下方安装有散热风扇，所述的液滴微流控芯片包括液滴生成流道，液滴生成流道由叉指换能器提供声表面波切割液流生成液滴，液滴生成流道出口和降温流道入口连接，降温流道出口与固化腔入口连接，固化腔设有冰球出口和油相出口；本发明既能实现基本的液滴生成甚至固相载体的包裹，也能实现液滴的急速降温和快速固化，液滴尺寸更加可控，具有操作简单、所需洁净空间小等优点。
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公开(公告)号：CN110531115A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910684531.X
申请日：2019-07-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法，该芯片包括X、Y、Z三个测量单元组成，分别用来测量X、Y、Z三个方向的加速度；无论是哪个测量单元，支撑量与敏感梁分离，支撑梁主要作用是支撑质量块运动，而应力主要集中于敏感梁，使得敏感梁上的压敏电阻条阻值发生变化，极大的弱化了灵敏度与谐振频率的相互制约关系，使得传感器的灵敏度和谐振频率都有了很大提高；无论是哪个测量单元，当受到某一方向的作用力时，两质量块的同步运动，与其固定的敏感梁两端也同步运动，从而敏感梁始终满足纯轴向变形条件，在相同谐振频率下，传感器的灵敏度达到最优。
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公开(公告)号：CN110526200A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910683513.X
申请日：2019-07-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法，该芯片包括两个对称设置的质量块，两个质量块的外端面各自和芯片外框连接，内端面通过两组敏感梁连接；四个敏感梁组成惠斯通全桥电路；质量块用于直接感测面外加速度信号，当芯片受到Z方向的加速度时，两质量块同步运动，与其固定的敏感梁也保持同步运动，从而满足敏感梁的纯轴向形变。
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公开(公告)号：CN110262393A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910592635.8
申请日：2019-07-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 本发明公开了一种带滞后数据处理的灰色理论分段式加权热误差建模方法，通过灰色理论模型对温度和热误差数据的处理能力建立多个不同序列长度的灰色模型组成灰色模型预处理模块，将预处理模块的输出作为分布滞后模型后处理模块的输入，确定模型滞后阶数后建立滞后模型作为后处理模块，形成灰色模型和分布滞后模型相结合的层级模型；以层级模型为基础，建立不同初始温度下的GM-DL补偿模型，根据测试样本初始环境温度选择紧邻的两个热误差补偿模型并通过分段加权的方式计算得到最终热误差数据完成建模。本发明最大限度的提取数据中有用信息，使模型具有很强的趋势性和适应性，提高模型对各个季节和时段的适应性，最终大大提高了机床的加工精度。
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公开(公告)号：CN110095210A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910445282.9
申请日：2019-05-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种用于微纳尺度材料的硅基石英MEMS谐振式扭矩传感器，包括单晶硅基底层，单晶硅基底层上生长二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层设有单晶硅结构层，单晶硅结构层包括线型微纳材料夹持机构的键槽，键槽两侧和输出梁、V型致动梁顶端连接，V型致动梁固定在锚点上，输出梁通过限位梁固定在锚点上，输出梁的两端分别与二阶放大梁的输入端连接，二阶放大梁通过支点梁固定在锚点上，二阶放大梁的输出端与悬空平台连接，悬空平台连接石英双端固定音叉一端，石英双端固定音叉另一端固定在锚点上，锚点以外结构均处于悬空状态；对V型致动梁施加控制电压，由于热应力发生位移，从而夹紧线型微纳材料一端的花键；本发明具有精度高，成本低等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110017921A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910373856.6
申请日：2019-05-07
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种基于石英谐振器的探针式高精度力传感器，包括探针，探针与二阶放大梁的输入端连接，二阶放大梁通过四根支点梁与硅基底框架连接，二阶放大梁输出端和石英音叉梁一端用有机胶固定连接，石英音叉梁位于硅基底框架的镂空矩形内，石英音叉梁另一端用有机胶固定在硅基底框架上；硅基底框架上溅射有金属电极，金属电极和石英音叉梁的电极用金线连接；当探针的敏感方向有力的作用，通过二阶放大梁放大后的力作用于石英音叉梁，石英音叉梁在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁接入检测电路检测出频率变化，实现对力的测量；本发明利用硅微工艺和石英加工工艺相结合的方式，具有结构简单、频率输出、体积小，精度高优点。
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公开(公告)号：CN106587249B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201611030175.2
申请日：2016-11-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: C02F1/30 , B01J23/06 , C02F101/30
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明公开了一种叉指形有机污染物光降解器及其制备方法，在玻璃基底上排列固定光纤纤芯，形成三维圆柱形微米级结构，在三维圆柱形微米级栅线结构上合成ZnO纳米线，得到的三维圆柱形跨尺度结构阵列在相同的投影区域内比平面结构具有更大的反应面积，有利于实现微流道的小型化；三维圆柱形微米级栅线结构上合成的ZnO纳米线发散性好，能够增大光催化的有效面积；同时，ZnO纳米线的表面活性高，易于产生电子空穴对，有利于提高光降解效率。
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公开(公告)号：CN107601424B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201710855225.9
申请日：2017-09-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法，包括硅基底和硅微谐振梁结构，其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁，振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构，振子及其两侧的弹性固支梁和T型梁分别布有两根导线，两导线沿振子长度方向平行分布，分别用于通入一定频率的正弦交变电流和检测产生的感应电动势，根据硅微谐振梁谐振状态时感应电动势输出幅值的大小可获得硅微谐振梁在被测流体中的谐振频率，通过在不同流体中硅微谐振梁的谐振频率和品质因子来实现流体黏度和密度的测量。MEMS黏密度传感器芯片基于面内振动原理，使用电磁激励、电磁检测的方法实现流体黏度和密度的准确测量。
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公开(公告)号：CN105651406B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201610098465.4
申请日：2016-02-23
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法，该封装结构衬底上表面制有与传感器芯片尺寸相当的圆形凹陷，二者通过耐高温玻璃紧密键合；封帽内部上表面溅射有吸气剂，封帽通过键合环与衬底的上表面紧密键合；高温补偿线与传感器芯片的热电偶电极构成连接，凸出的高温补偿线缠绕在衬底下部的的螺柱处固定；封帽、传感器芯片、耐高温玻璃、衬底和高温补偿线共同与管外壳相向装配在一起，通过耐高温玻璃键合连接。本发明能够解决钨铼高温下易失效，热电偶薄膜受冲蚀脱落等造成的现有温度传感芯片测量范围小、寿命低的问题，实现可采集稳定信号的输出功能。
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公开(公告)号：CN109059762A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810893106.7
申请日：2018-08-07
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种菲涅尔波带片光谱共焦测量方法，搭建光谱共焦测量装置，用菲涅尔波带片代替透镜或透镜组进行直接色散聚焦；对标准平面反射镜的轴向位置监测，标定菲涅尔波带片线性轴向聚焦范围和光谱共焦测量装置的波长‑位置关系；标准平面反射镜更换为待测样品，将样品被测表面置于装置的测量范围内进行测量；复合光光源通过菲涅尔波带片沿轴向色散产生对应于不同波长的色带，聚焦于样品表面的焦点所对应波长的光场沿原光路返回，光谱仪探测到其返回信号强度点扩散函数，利用质心法计算峰值坐标位置，根据波长‑位置校准曲线得到样品测量点的位置信息。本发明与传统的光谱共焦测量相比，具有结构简单、设计灵活、成本低廉等优点。
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