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公开(公告)号：CN112490204A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011349967.2
申请日：2020-11-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/373
Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法，散热薄膜，包括氧化还原石墨烯层和CVD石墨烯层，氧化还原石墨烯层两侧的表面上均设有CVD石墨烯层。本发明基于石墨烯的三明治结构散热薄膜在与衬底平行或垂直的方向上均具有较好的传热能力，能够使得衬底或半导体器件进行快速匀的散热。
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公开(公告)号：CN111240011A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010020132.6
申请日：2020-01-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B27/00 , G06F30/17 , G06N3/00 , G06N3/12 , G06F111/10
Abstract: 一种不等环宽金属膜超振荡环带片设计方法，在固定波长激光垂直照明的条件下，根据所需衍射光场分布特征建立优化目标，利用优化目标及微纳加工条件，设定金属膜超振荡环带片参数，利用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法，计算超振荡环带片后各偏振电场分量以及光场强度分布，结合衍射光场优化目标建立适应度函数模型，计算各环带片的适应度大小，采用粒子位置搜索方法，同时结合遗传算法中变异操作对环带片各环宽度进行优化调整，经过迭代运算，最终求解出最接近或满足优化目标要求的金属膜超振荡环带片。本发明基于不等环宽的环带结构，采用粒子位置搜索的优化方法，从而能够优化出具有更少环带，更优性能的金属膜超振荡环带片。
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公开(公告)号：CN111129185A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911368860.X
申请日：2019-12-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L31/024 , H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯界面层的异面结构GaAs光导开关及其制备工艺，GaAs衬底的上、下表面均设有接触电极，两处接触电极分别作为GaAs光导开关的阳极和阴极，两处接触电极的表面均设有外接电极，两处接触电极与GaAs衬底之间均设有石墨烯层，GaAs衬底的上表面还覆盖有钝化层，接触电极从石墨烯层至外接电极方向依次为Ni层、Ge层、Au层、Ni层和Au层。本发明将高质量的石墨烯转移到目标衬底上再在表面上镀上金属形成砷化镓-石墨烯-金属的复合结构，匀化电场，电流不集中，产生的热量也就相对较少，这对于器件的散热和寿命有着很大的作用。
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公开(公告)号：CN109781015B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201910005141.5
申请日：2019-01-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种光谱共焦线扫描快速测量物体表面台阶的方法，包括：搭建光谱共焦线扫描装置；检测标准平面反射镜，沿轴向移动标准平面反射镜位置，同时监测标准平面反射镜的坐标位置，标定出色散聚焦元件的色散聚焦范围以及光谱共焦线扫描装置的波长‑位置关系曲线；将标准平面反射镜替换为样品进行检测，并将样品表面置于色散聚焦元件的色散聚焦范围内；通过分析光谱仪返回信号的强度点扩散函数，利用质心法计算峰值坐标位置得到返回信号波长，并根据波长‑位置关系曲线，解码出样品表面的最大高度差，完成样品表面台阶的快速测量。本发明结构简单、测量速度快、精度高、适用范围广，可适用于透明或不透明台阶、沟槽、倾斜表面等精密测量。
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公开(公告)号：CN109613698B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201910005119.0
申请日：2019-01-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种金属膜超振荡环带片的设计方法，属于微纳光学与纳米光子学技术领域。该方法基于不等宽度的金属膜同心环带结构，在激光光束垂直照明条件下，使用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法计算超振荡环带片之后任意距离垂轴平面内的衍射光场；设定超振荡环带片的直径、环带数、焦距和最小环带宽度；建立单焦点或光针聚焦问题的优化目标函数；采用遗传算法对环带宽度及其透过率进行优化，得到满足设计目标的超振荡环带片结构。本发明相对于现有的超振荡环带片设计方法，由于基于不等宽度的环带结构，并可根据现有加工工艺限定最小环带宽度，从而可以设计出包含少量透光环带、具有更优性能的金属膜超振荡环带片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108760057B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201810387517.9
申请日：2018-04-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种激光波长精密测量方法，属于光学精密测量技术领域。利用大数值孔径菲涅尔波带片(FZP)，采用矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时对应的轴向强度点扩散函数，根据峰值获得焦距zp，改变λi重新计算得到焦距zp，利用线性相关系数评价(λi,zp)相关性，截取线性区间，并利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线；用该FZP直接聚焦待测激光光束，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器，测得轴向强度点扩散函数分布，用质心法得到实际焦距，利用线性测量曲线计算求得激光波长。本发明方法简单，成本低，测量波长适应范围广，适用于激光波长的低成本精密测量。
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公开(公告)号：CN110304623A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910570226.8
申请日：2019-06-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: C01B32/194 , C01B32/186
Abstract: 本发明公开一种大面积转移石墨烯的方法，包括：在衬底上生长石墨烯，形成第一复合结构；在石墨烯表面涂上可去除的介质层，得到第二复合结构；将第二复合结构烘干，形成第三复合结构；将蓝膜与第三复合结构上的介质层粘接，形成第四复合结构；去除第四复合结构的衬底，得到第五复合结构；将第五复合结构转移到目标衬底，其中石墨烯与目标衬底表面相贴合；去除第五复合结构的蓝膜与介质层，将石墨烯保留于目标衬底上。本发明能够保证将高质量的石墨烯转移到目标衬底上，简单易操作，转移效果好。
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公开(公告)号：CN109613698A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201910005119.0
申请日：2019-01-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种金属膜超振荡环带片的设计方法，属于微纳光学与纳米光子学技术领域。该方法基于不等宽度的金属膜同心环带结构，在激光光束垂直照明条件下，使用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法计算超振荡环带片之后任意距离垂轴平面内的衍射光场；设定超振荡环带片的直径、环带数、焦距和最小环带宽度；建立单焦点或光针聚焦问题的优化目标函数；采用遗传算法对环带宽度及其透过率进行优化，得到满足设计目标的超振荡环带片结构。本发明相对于现有的超振荡环带片设计方法，由于基于不等宽度的环带结构，并可根据现有加工工艺限定最小环带宽度，从而可以设计出包含少量透光环带、具有更优性能的金属膜超振荡环带片。
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公开(公告)号：CN112490204B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202011349967.2
申请日：2020-11-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/373
Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯的三明治结构散热薄膜、半导体器件及其制备方法，散热薄膜，包括氧化还原石墨烯层和CVD石墨烯层，氧化还原石墨烯层两侧的表面上均设有CVD石墨烯层。本发明基于石墨烯的三明治结构散热薄膜在与衬底平行或垂直的方向上均具有较好的传热能力，能够使得衬底或半导体器件进行快速匀的散热。
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公开(公告)号：CN111222287B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010020440.9
申请日：2020-01-09
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种不等环宽介质超振荡环带片设计方法，在固定波长激光垂直照明的条件下，根据所需衍射光场强度分布建立优化目标，利用优化目标及现有微纳加工水平，设定介质超振荡环带片参数，利用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法，计算超振荡环带片后各偏振电场分量以及衍射光场强度分布，结合适应度函数模型计算环带片的适应度大小，采用粒子位置搜索方法，同时结合遗传算法中变异操作对环带片各环宽进行优化调整，经过迭代运算，最终求解出最接近或满足优化目标要求的介质超振荡环带片。相对于传统金属膜超振荡环带片，本发明采用不等环宽设计方法，采用粒子位置搜索优化方法，可设计出具有更高光效率、更大视场、更少的环带数的介质超振荡环带片。
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