公开(公告)号：CN110017921A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910373856.6

申请日：2019-05-07

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  王栋杰 ,  任子明 ,  任娟 ,  赵玉龙 ,  蒋庄德

IPC: G01L1/10

Abstract: 一种基于石英谐振器的探针式高精度力传感器，包括探针，探针与二阶放大梁的输入端连接，二阶放大梁通过四根支点梁与硅基底框架连接，二阶放大梁输出端和石英音叉梁一端用有机胶固定连接，石英音叉梁位于硅基底框架的镂空矩形内，石英音叉梁另一端用有机胶固定在硅基底框架上；硅基底框架上溅射有金属电极，金属电极和石英音叉梁的电极用金线连接；当探针的敏感方向有力的作用，通过二阶放大梁放大后的力作用于石英音叉梁，石英音叉梁在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁接入检测电路检测出频率变化，实现对力的测量；本发明利用硅微工艺和石英加工工艺相结合的方式，具有结构简单、频率输出、体积小，精度高优点。

公开(公告)号：CN110017922A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910373857.0

申请日：2019-05-07

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  任子明 ,  王栋杰 ,  任娟 ,  赵玉龙 ,  蒋庄德

IPC: G01L1/10

Abstract: 一种基于全石英谐振器的探针式高精度力传感器，包括石英探针，石英探针和石英二阶放大梁的输入端连接，石英二阶放大梁通过四根支撑梁与石英基底框架连接，石英二阶放大梁的输出端和石英音叉梁一端连接，石英音叉梁位于石英基底框架的镂空矩形内，石英音叉梁另一端和石英基底框架连接，石英基底框架上溅射有金属电极，金属电极和石英音叉梁上的电极通过金属引线连接；当石英探针的敏感方向有力的作用，通过石英二阶放大梁放大后的力作用于石英音叉梁，石英音叉梁在轴向力的作用下，引起谐振频率发生变化，通过把振动的石英音叉梁1接入检测电路能够检测出频率变化，从而实现对力的检测；本发明具有结构简单、频率输出、体积小，精度高等优点。