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公开(公告)号:CN113537598A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202110809421.9
申请日:2021-07-17
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 本发明公布了一种基于NWP‑LSTM的短期光功率预测方法,该方法包括以下步骤:1.采集目标位置t‑1时刻、t时刻的实时气象数据以及t时刻的实时气象预报,并基于三次样条插值对采集的数据进行精度提升;2.建立基于长短期记忆神经网络的数值天气预报修正模型,将数值天气预报系统提供的不同位置的气象预报修正到目标光伏板处,增强数值天气预报与目标光伏板之间的关联性;3.计算功率数据与气象数据之间的相关性,并建立基于长短期记忆神经网络的短期功率预测模型。本发明能够较好的修正气象数据并提高短期光伏功率的预测精度,实现电网的经济和稳定运行。
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公开(公告)号:CN108417618A
公开(公告)日:2018-08-17
申请号:CN201810134370.2
申请日:2018-02-09
Applicant: 沈阳工程学院
IPC: H01L29/267 , H01L29/40 , H01L31/0224 , H01L31/0336 , H01L21/02
Abstract: 本发明属于本发明可逆半导体到金属(SMT)一级转变涂层的制造技术领域,特别涉及一种Si衬底异质结构器件及其制备方法,在Si衬底上依次沉积AZO透明导电电极、掺硼金刚石薄膜、AZO透明导电电极、VO2薄膜、P型CuO薄膜、VO2薄膜、AZO透明导电电极以及TiN抗腐蚀保护涂层。本发明采用金刚石材料薄膜材料作为P型层,金刚石是自然界散热速度最快的材料,n-VO2/p-CuO异质结构结合金刚石材料作为n-VO2/p-diamond双异质结构,可以制备出高功率的器件。
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公开(公告)号:CN108376700A
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201810133499.1
申请日:2018-02-09
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 一种聚对苯二甲酸乙二酯衬底异质结构及其制备方法,属于薄膜制备技术领域。所述异质结构是在苯二甲酸乙二酯衬底层上依次制备第一AZO透明导电薄膜、SnO2材料层、VO2材料层、第二AZO透明导电薄膜及抗腐蚀保护层。本发明以苯二甲酸乙二酯材料衬底基片,采用SnO2作为缓冲层,VO2/SnO2异质结构结合,采用AZO作为透明导电电极,最后蒸镀耐腐蚀的TiN材料,可以制备出高质量廉价的器件;同时,该制备工艺简单,可实现规模生产。
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公开(公告)号:CN103361629B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201310299023.2
申请日:2013-07-17
Applicant: 沈阳工程学院
IPC: C23C16/34 , C23C16/511 , C23C16/27
Abstract: 本发明属于新型光电材料沉积制备技术领域,提供一种可制备电学性能良好的InN光电薄膜且成本低的ECR-PEMOCVD在GaN缓冲层/金刚石薄膜/Si多层膜结构基片上低温沉积InN薄膜的制备方法。本发明包括以下步骤:1)将Si基片依次用丙酮、乙醇以及去离子水超声波清洗后,用氮气吹干送入反应室;2)用热丝CVD系统,将反应室抽真空,将Si基片加热,向反应室内通入氢气和甲烷气体,在Si衬底基片上得到金刚石薄膜。3)采用ECR-PEMOCVD(电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积)系统,将反应室抽真空,将基片加热至200~600℃,向反应室内通入氢气携带的三甲基镓、氮气。
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公开(公告)号:CN103715284B
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201310742938.6
申请日:2013-12-30
Applicant: 沈阳工程学院
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0392 , H01L31/075 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/03048 , H01L31/035236 , H01L31/03762 , H01L31/03926 , H01L31/075 , H01L31/1848 , H01L31/202 , Y02E10/544 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明属于柔性太阳能电池制造技术领域,特别涉及一种可调带隙量子阱结构的柔性衬底太阳能电池及制备方法。本发明的太阳能电池具体结构是:Al电极/GZO/P型nc-Si:H/I层本征InxGa1-xN/N型nc-Si:H/GZO/Al背电极/AlN/PI柔性衬底;其制备方法是首先磁控溅射制备AlN绝缘层和Al背电极,然后采用ECR-PEMOCVD依次沉积GZO基透明导电薄膜、N型nc-Si:H薄膜、InxGa1-xN量子阱本征晶体薄膜、P型nc-Si:H薄膜、GZO基透明导电薄膜,最后制备金属Al电极。本发明的可调带隙量子阱结构的柔性衬底太阳能电池具有优异的柔软性,重量轻,携带方便,具有产业化潜力和市场空间,而且制备工艺简单,能实现规模生产。
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公开(公告)号:CN103352203B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201310299012.4
申请日:2013-07-17
Applicant: 沈阳工程学院
IPC: C23C16/34 , C23C16/44 , C23C16/513 , C23C16/27
Abstract: 本发明属于新型光电材料沉积制备技术领域,尤其涉及一种ECR-PEMOCVD在AlN缓冲层/金刚石薄膜/Si多层膜结构基片上低温沉积InN薄膜的制备方法。本发明提供一种可制备电学性能良好的InN光电薄膜且成本低的ECR-PEMOCVD在AlN缓冲层/金刚石薄膜/Si多层膜结构基片上低温沉积InN薄膜的制备方法。本发明包括以下步骤:1)将Si基片依次用丙酮、乙醇以及去离子水超声波清洗后,用氮气吹干送入反应室;2)用热丝CVD系统,将反应室抽真空,将Si基片加热,向反应室内通入氢气和甲烷气体,在Si衬底基片上得到金刚石薄膜。
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公开(公告)号:CN103031556B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201210576026.1
申请日:2012-12-27
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 本发明属于透明导电材料领域,具体涉及一种ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法。本发明方法是将玻璃基片清洗送入气相沉积反应室,向反应室内同时通入携带有Zn(CH2CH3)2的氩气和氧气,沉积制备20-50nm厚的ZnO薄膜,然后将基片置于磁控溅射室中,以纯Al为靶材进行磁控溅射,溅射5-30nm厚的Al膜,再将基片转移至气相沉积反应室中,再次沉积制备20-50nm厚的ZnO薄膜,对上述基片于100-400℃高温退火,得到结构为ZnO/Al/ZnO的光电透明导电薄膜。本发明制备工艺简单,沉积过程易于控制。本发明制备的透明导电薄膜均匀性好,光电性能优异,可用于制造太阳能电池、发光二极管、LCD以及手机等光电器件的透明电极。
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公开(公告)号:CN103031556A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201210576026.1
申请日:2012-12-27
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 本发明属于透明导电材料领域,具体涉及一种ZnO/Al/ZnO光电透明导电薄膜的沉积制备方法。本发明方法是将玻璃基片清洗送入气相沉积反应室,向反应室内同时通入携带有Zn(CH2CH3)2的氩气和氧气,沉积制备20-50nm厚的ZnO薄膜,然后将基片置于磁控溅射室中,以纯Al为靶材进行磁控溅射,溅射5-30nm厚的Al膜,再将基片转移至气相沉积反应室中,再次沉积制备20-50nm厚的ZnO薄膜,对上述基片于100-400℃高温退火,得到结构为ZnO/Al/ZnO的光电透明导电薄膜。本发明制备工艺简单,沉积过程易于控制。本发明制备的透明导电薄膜均匀性好,光电性能优异,可用于制造太阳能电池、发光二极管、LCD以及手机等光电器件的透明电极。
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公开(公告)号:CN103014653A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210576076.X
申请日:2012-12-27
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 本发明属于压电薄膜材料领域,具体涉及一种AlN/GAZO/自支撑金刚石膜结构的声表面波滤波器件的制备方法。本发明方法是:以自支撑金刚石膜为衬底基片,清洗后送入气相沉积反应室,向反应室内通入氮气、三甲基铝、三甲基镓和二乙基锌,在衬底基片上沉积厚度为80-120nm的GAZO膜,然后再通入三甲基铝,在载有GAZO膜的衬底基片上沉积800nm厚的AlN薄膜,待气相沉积反应室内降至室温时,打开沉积室,得到AlN/GAZO/自支撑金刚石膜结构的声表面波滤波器件。本发明方法简单,工艺易于控制,本发明制备的压电薄膜器件均匀性好,声速传输性能优异,可用于制造大功率,高频率的声表面波滤波器件。
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公开(公告)号:CN215706836U
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202121369140.8
申请日:2021-06-18
Applicant: 沈阳工程学院
Abstract: 本实用新型属于骑行设备制备领域,尤其涉及一种供热系统及骑行装置,包括:能量转化单元,用于将机械能转化为电能;能量储存单元,与所述能量转化单元的输出端连接,接收所述能量转化单元传递的电能并进行存储;加热单元,与所述能量储存单元的输出端连接,用于在车把处提供热能。采用低速永磁直流发电机发电机结合车轮的原有的结构的链条,在骑行的过程中带动低速永磁直流发电机发电机,通过给蓄电池充电从而产生可以加热低电阻的加热把套产生热量,从而可以在解决冬季骑行手部太冷的问题。本新型采用的加热系统与骑行设备尤其是自行车车架很好的结合在一起,稳定性高,可以在自行车骑行过程中平稳发电。
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