基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法

    公开(公告)号:CN112379128B

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202011420804.9

    申请日:2020-12-08

    Abstract: 本发明涉及谐振式微机械加速度计的标定补偿方法,具体是一种基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法。本发明解决了现有谐振式微机械加速度计标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限、容易导致系统的测量和控制精度降低的问题。基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)将谐振式微机械加速度计的工作模态设定为谐振模态;2)产生虚拟惯性力;3)对谐振式微机械加速度计进行自标定;4)对谐振式微机械加速度计进行自补偿。本发明适用于谐振式微机械加速度计的标定补偿。

    一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构

    公开(公告)号:CN114543782A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202210205950.2

    申请日:2022-03-04

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微机械振动陀螺,具体是一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺姿态误差较大的问题。一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构,包括玻璃基底、电极部分、谐振子部分;所述电极部分包括键合于玻璃基底上表面的正方形电极层;所述谐振子部分包括键合于玻璃基底上表面的圆柱状中心锚点、置放于玻璃基底上表面的圆环状谐振质量、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性支撑悬梁。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

    一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构

    公开(公告)号:CN114543781A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202210205949.X

    申请日:2022-03-04

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微机械振动陀螺,具体是一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺姿态误差较大的问题。一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构,包括玻璃基底、电极部分、谐振子部分;所述电极部分包括键合于玻璃基底上表面的正方形电极层;所述谐振子部分包括键合于玻璃基底上表面的圆柱状中心锚点、置放于玻璃基底上表面的圆环状谐振质量、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性支撑悬梁、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性延伸悬梁。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

    基于自学习多速率残差校正的偏振光惯性严密组合导航方法

    公开(公告)号:CN111337029B

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202010329675.6

    申请日:2020-04-23

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于自学习多速率残差校正的偏振光惯性严密组合导航方法,当偏振光系统正常工作时,将惯性导航系统输出的航向角转换为载体体轴相对于太阳子午线的方位角并作为状态量,以偏振光导航系统解算的载体体轴相对于太阳子午线方位角作为观测量,利用CKF‑ERC进行两数据的融合;将时间信息和z轴角速率作为长短时记忆神经网络的输入、以偏振光导航系统解算的数据作为网络输出,对其进行训练,实现自学习功能;当偏振光系统不可用,进入误差补偿阶段,通过LSTM预测偏振光的数据,并将预测值与惯性解算的方位角进行数据融合,提高复杂环境下载体长时间导航精度。本发明可有效提高导航定向的自主性,进而提高无人机的智能化程度。

    一种具有多曲面融合回转体结构的壳体振动陀螺谐振子

    公开(公告)号:CN112629514A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202110204442.8

    申请日:2021-02-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及壳体振动陀螺,具体是一种具有多曲面融合回转体结构的壳体振动陀螺谐振子。本发明解决了现有壳体振动陀螺抗冲击能力差、品质因数低、加工工艺复杂、控制成本高的问题。一种具有多曲面融合回转体结构的壳体振动陀螺谐振子,包括谐振质量、支撑座、四个驱动电极、四个驱动模态反馈电极、四个检测电极、四个检测模态补偿电极;其中,谐振质量为开口向上的圆杯状结构;谐振质量的底壁中央开设有上下贯通的中心圆孔;谐振质量的底壁边缘开设有八个上下贯通的隔离圆孔,且八个隔离圆孔围绕谐振质量的中心线对称分布。本发明适用于航空、航天、航海、工业、农业、交通等领域。

    一种基于光流UWB组合的类脑导航方法

    公开(公告)号:CN109459025B

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN201811323976.7

    申请日:2018-11-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于光流UWB组合的类脑导航方法,将智能车辆的运动区域划分为路径积分区域和位置细胞节点区域;在路径积分区域,利用光流传感器对智能车辆的速度进行测量,并对速度进行积分得到位置信息;在位置细胞节点区域,通过UWB检测智能车辆的速度和位置,并将其与使用光流法获取的速度和位置作差,建立速度误差、位置误差与行驶时间之间的模型;当智能车辆再次运动到路径积分区域时,利用误差模型对速度、位置信息进行实时校正。本发明可用于在某一固定区域内执行任务的智能车辆导航定位等应用场合,可有效提高导航定位的自主性,进而提升智能车辆的智能化程度。

    一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法

    公开(公告)号:CN108502843B

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201810266220.7

    申请日:2018-03-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法,具体是一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法,该方法是采用如下步骤实现的:步骤a:在圆形硅基片的上表面生长第I氮化硅层;步骤b:在圆形硅基片的上表面刻蚀形成圆形凹腔;步骤c:将第I氮化硅层和第II氮化硅层去除;步骤d:在二氧化硅层的表面生长多晶硅层;步骤e:刻蚀形成第II圆环形窗口;步骤f:再次生长二氧化硅层;步骤g:将圆环形硅凸台腐蚀掉;步骤h:将二氧化硅层的暴露部分腐蚀掉。本发明适用于硅微杯形谐振陀螺的加工。

    一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列

    公开(公告)号:CN109405819A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201811225125.9

    申请日:2018-10-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪,具体是一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列包括玻璃基底、第一正方形框架、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块;所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

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