公开(公告)号：CN114543782B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202210205950.2

申请日：2022-03-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  唐军 ,  石云波 ,  申冲 ,  郝博宇

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及微机械振动陀螺，具体是一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺姿态误差较大的问题。一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构，包括玻璃基底、电极部分、谐振子部分；所述电极部分包括键合于玻璃基底上表面的正方形电极层；所述谐振子部分包括键合于玻璃基底上表面的圆柱状中心锚点、置放于玻璃基底上表面的圆环状谐振质量、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性支撑悬梁。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN114543782A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202210205950.2

申请日：2022-03-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  唐军 ,  石云波 ,  申冲 ,  郝博宇

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及微机械振动陀螺，具体是一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺姿态误差较大的问题。一种具有姿态校正功能且校正电极内置的微机械陀螺结构，包括玻璃基底、电极部分、谐振子部分；所述电极部分包括键合于玻璃基底上表面的正方形电极层；所述谐振子部分包括键合于玻璃基底上表面的圆柱状中心锚点、置放于玻璃基底上表面的圆环状谐振质量、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性支撑悬梁。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。