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公开(公告)号：CN104257352B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410523275.3
申请日：2014-10-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 一种网格状MEMS神经微探针及其制备方法，包括基座、针头和针杆；针头通过针杆连接到基座上形成微探针；针头、针杆和基座内部均有硅层和绝缘层；硅层设置在绝缘层的下方；针头的表面上设置有若干个探测电极；基座表面上设置有若干个凹槽；微探针内部还包括若干条引出线，引出线贯穿于微探针内部；一条引出线的一端连接一个探测电极，该条引出线的另一端与一个凹槽形成一个外接引出焊盘；引出线在针头、针杆和基座内的绝缘层中；针杆上设置有若干个呈网络状分布的通孔；本发明具有结构强度高、生物兼容性好、探测信号密度大、可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN104865406A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510142656.1
申请日：2015-03-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开一种基于杠杆放大原理的双轴全解耦硅微谐振式加速度计。该加速度计包括上下两层，上层为硅微加速度计的机械结构，下层为敷有信号引线的玻璃衬底。机械结构由敏感质量、公共锚点、杠杆放大机构、解耦梁和谐振器构成，解耦梁一端与敏感质量相连，另一端通过杠杆放大机构与公共锚点相连，作用于敏感质量的惯性力通过杠杆放大机构放大后传递给谐振器。所述的谐振器子结构包括谐振梁、梳齿架及活动梳齿、固定驱动梳齿、固定驱动反馈梳齿、以及固定锚点。本发明中的硅微谐振式加速度计能实现平面内两个方向加速度检测，以频率作为输出，具有尺寸小、集成度高、耦合误差小、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN104459181A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410853371.4
申请日：2014-12-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及提供一种用于流速、加速度和角速度敏感的仿生毛发传感器，包括顶部毛发、中部硅微传感器结构、底部为制作在玻璃衬底上的信号引线。本发明中顶部毛发可带动硅微传感器结构中的外部框架左右扭摆；利用静电力的负刚度效应原理，实现对加速度、流速速度的检测；通过采用传感器阵列的形式，实现对加速度与流体速度检测的区分。当外界输入为加速度输入时，则所有传感器均会受到作用而产生扭转。硅微传感器结构中的两个子结构为陀螺仪结构，用来检测外界的角速度大小，采用左右对称布置，为单陀螺仪输出信号的两倍；采用变面积式电容检测，减小了驱动运动对检测的干扰。
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公开(公告)号：CN114460631B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202210182092.4
申请日：2022-02-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01V1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS三维干涉仪的光学微震计装置，包括封装外壳、MEMS干涉仪模块、激光器模块、光功率稳定模块、光电检测模块、温度控制模块。物理震动通过MEMS干涉仪模块转换为衍射光斑的相位变化，进一步通过光电检测模块转换为电压信号，并通过后续解调电路解算出物理震动的加速度响应；激光器模块在提供检测光源的同时，通过棱镜分出一束光照进光功率稳定模块，用来抑制因温度等环境变化所带来的激光器功率的漂移，配合温度控制模块对装置内部温度的稳定性控制，装置的低频性能得到保证，低频测震能力极大提升。所有功能性模块都固定于金属封装外壳之内，形成一个高精度便携式的光学微震计装置。
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公开(公告)号：CN114560439B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202210181556.X
申请日：2022-02-25
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的超低频垂直轴硅微敏感结构及制造方法，顶层为镀有磁性薄膜的MEMS单片，中层为附加锚点和附加质量，底层为镀有金属薄膜的MEMS单片。中层附加锚点和附加质量键合于底层单片MEMS结构表面之上，顶层单片MEMS结构键合于中层附加锚点和附加质量之上，形成一个具有三维弹性梁构造的超低频垂直轴硅微敏感结构。该敏感结构谐振频率低至10Hz左右，机械灵敏度极高，具有检测超微小加速度、位移、重力变化的能力，兼容MEMS微加工工艺，交叉串扰极低，适用于微型化的超高精度加速度计、地震计、重力计等惯性仪器中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118331112A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410376210.4
申请日：2024-03-29
Applicant: 东南大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种应用于扑动飞行装置的控制和侦测系统的优化方法，该系统包含三部分，分别为飞行装置机载板、动作捕捉系统以及上位机。其中飞行装置机载板包含电源模块、电机驱动模块、控制模块、数据通信模块以及功能载荷模块。动作捕捉系统将带有标记点的飞行装置位置数据传给上位机。上位机主要包含数据发送，数据拆分，音视频处理显示以及数据保存。本发明的优势在于采用了模糊PID算法，弥补了飞行装置运动学建模的误差；增加了动作捕捉系统使得飞行装置实时定位操控性能得到提升；机载板实现对环境信息的采集，拓展了其实用性与功能性；图像处理时采用图像去抖算法，解决了图像模糊问题。
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公开(公告)号：CN117527241A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311538284.5
申请日：2023-11-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了基于量子密钥的多时滞非相邻耦合格子对称密钥生成方法，包括：获取量子密钥序列，根据量子密钥初始化基于多时滞非相邻耦合格子伪随机数发生器的参数；根据步骤S1初始化的参数，运行基于多时滞非相邻耦合格子伪随机数发生器，生成随机数矩阵；根据量子密钥确定对称密钥生成规则，将随机数矩阵按照该规则转换成二进制序列，并根据该规则生成对称密钥。本发明利用量子密钥作为种子，在量子密钥密钥生成器两端驱动基于量子密钥的多时滞非相邻耦合格子的随机数发生器，从而生成对称密钥。本发明能够保证对称密钥的安全性，快速生成安全密钥，有效地弥补了量子密钥生成速率低的问题。
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公开(公告)号：CN110160514B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN201910468068.5
申请日：2019-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅MEMS陀螺仪多回路数字化闭环控制装置，包括前端的硅微陀螺仪检测模块、中端的模拟接口模块和后端的FPGA模块，前端和后端通过中端相连，形成三个闭环控制回路。前端由检测机构、一对检测输出电极、力反馈机构、一对力反馈电极、正交校正机构、正交校正电极、频率调谐机构以及频率调谐电极组成；中端由C/V转换器、仪表放大器、模/数转换器以及四组数/模转换器组成；后端由输入子模块和两个解调子模块组成。本发明能够实现硅微陀螺仪实时在线模态自动匹配，同时配合实现闭环检测和正交误差校正；使用FPGA模块实现控制算法，能够有效抑制因温度变化、回路间相互耦合带来干扰，算法复杂度低，调谐精度高。
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公开(公告)号：CN106645797B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201610942129.3
申请日：2016-10-26
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置，包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点，顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本发明采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测，具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小，测量带宽大等优点，提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。
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公开(公告)号：CN116674746A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310672569.1
申请日：2023-06-07
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/02
Abstract: 本发明公开了一种基于翅翼拍动轨迹姿态稳定算法的微型飞行器装置。其整体方案由飞行器整体结构、硬件电路控制器模块、翅翼拍动轨迹姿态力矩产生方法、姿态稳定控制算法组成。飞行器机械扑动结构由两组简单的齿轮‑弹簧‑翼杆结构组成，可以实现两侧翅翼高效、稳定的扑动；微控制器中实现读取IMU姿态数据进行串级PID控制算法，通过力矩‑电压线性映射器以及MCU电压调制器，输入PWM波形到电机驱动电路，从而控制电机高速正反转动，最终通过扑动机构驱动翅翼规律性扑动，翅翼规律性扑动产生飞行器姿态控制力矩，实现飞行器稳定飞行。姿态稳定PID采用串级PID方案，能够做到飞行器的姿态控制不会过冲，具有良好的稳定性。
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