一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置

    公开(公告)号:CN106645797B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201610942129.3

    申请日:2016-10-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置,包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点,顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本发明采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测,具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小,测量带宽大等优点,提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。

    基于数字相频检测法的谐振式加速度计频率锁定电路

    公开(公告)号:CN106771351B

    公开(公告)日:2019-11-08

    申请号:CN201611059050.2

    申请日:2016-11-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了基于数字相频检测法的谐振式加速度计频率锁定电路装置,由硅微谐振式微加速度计的两组信号敏感电极、两组力矩反馈电极以及两组恒幅稳频控制电路组成。每组恒幅稳频控制电路包括检测接口电路、解调滤波电路、AD采样电路、比较器电路、FPGA控制算法、DA转换电路、驱动接口电路,硅微谐振式微加速度计的信号敏感电极与检测接口电路相连接、硅微谐振式微加速度计的力矩反馈电极与驱动接口电路相连接。本发明采用分开获取信号幅值和相位信息的方法,能够用低速率高精度的AD实现幅值的高精度采样,同时采用高速比较器对信号进行转换以保留信号的相位信息,从而实现了高转换速率和量化精度的协调,提高了测控电路的整体精度。

    基于数字相频检测法的谐振式加速度计频率锁定电路

    公开(公告)号:CN106771351A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611059050.2

    申请日:2016-11-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了基于数字相频检测法的谐振式加速度计频率锁定电路装置,由硅微谐振式微加速度计的两组信号敏感电极、两组力矩反馈电极以及两组恒幅稳频控制电路组成。每组恒幅稳频控制电路包括检测接口电路、解调滤波电路、AD采样电路、比较器电路、FPGA控制算法、DA转换电路、驱动接口电路,硅微谐振式微加速度计的信号敏感电极与检测接口电路相连接、硅微谐振式微加速度计的力矩反馈电极与驱动接口电路相连接。本发明采用分开获取信号幅值和相位信息的方法,能够用低速率高精度的AD实现幅值的高精度采样,同时采用高速比较器对信号进行转换以保留信号的相位信息,从而实现了高转换速率和量化精度的协调,提高了测控电路的整体精度。

    基于坐标旋转法的双轴谐振式加速度计数字控制电路装置

    公开(公告)号:CN106053884B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201610490214.0

    申请日:2016-06-28

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于坐标旋转法的双轴谐振式加速度计数字控制电路装置,由双轴解耦硅微谐振式微加速度计(A)、四组闭环控制回路(S1、S2、S3、S4)组成;其中,每组闭环控制回路包括检测接口,A/D转换器,FPGA控制算法,D/A转换器,驱动接口;FPGA控制算法由解调器模块、幅度控制模块、频率控制模块以及输出调理模块组成。本发明双轴谐振式硅微加速度计闭环控制电路具有集成度高,体积小,精度高,功耗低等优点;有效地节约了硬件资源;有效地抑制了回路间的相互干扰,降低两个轴向的耦合,提高了系统的稳定性;便于控制,有利于提高系统的稳定性。

    一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置

    公开(公告)号:CN106645797A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201610942129.3

    申请日:2016-10-26

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01P15/12

    Abstract: 本发明公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置,包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点,顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本发明采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测,具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小,测量带宽大等优点,提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。

    基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置

    公开(公告)号:CN108387755B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201810110188.3

    申请日:2018-02-05

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置,包括:谐振式毛发传感器、两个驱动测控电路、激励产生电路,所述谐振式毛发传感器上设有两组信号敏感电极以及驱动电极;所述每个驱动测控电路包括C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块、比较器模块;所述谐振式毛发传感器的敏感电极与C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块依次连接后输入至驱动电极;所述C/V检测电路的输出同时连接至比较器模块,且比较器模块连接至FPGA驱动控制模块,FPGA驱动控制模块连接至激励产生电路。本发明将幅值和频率分开处理控制,避免了幅值和频率之间的干扰,有效地提高了测量的精度。

    基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路

    公开(公告)号:CN106441257B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201610854616.4

    申请日:2016-09-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路,包括硅微动调陀螺仪的两组力矩反馈电极,两组信号敏感电极,以及两组闭环控制电路组成。每组闭环控制电路包括检测接口模拟处理电路、AD采样电路、FPGA控制算法、DA输出接口电路、直接数字式频率合成器。该硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路具有数字化控制和输出的优点,便于与外设接口相连;四路级联放大电路和AD采样电路的配合使用,拓宽了AD的采样范围,有益于提升对微弱信号的检测精度;DA输入信号的分级放大操作有益于充分发挥高精度DA的输出精度;控制算法在FPGA内实现,具有集成度高,体积小,功耗低等优点。

    基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置

    公开(公告)号:CN108387755A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201810110188.3

    申请日:2018-02-05

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置,包括:谐振式毛发传感器、两个驱动测控电路、激励产生电路,所述谐振式毛发传感器上设有两组信号敏感电极以及驱动电极;所述每个驱动测控电路包括C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块、比较器模块;所述谐振式毛发传感器的敏感电极与C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块依次连接后输入至驱动电极;所述C/V检测电路的输出同时连接至比较器模块,且比较器模块连接至FPGA驱动控制模块,FPGA驱动控制模块连接至激励产生电路。本发明将幅值和频率分开处理控制,避免了幅值和频率之间的干扰,有效地提高了测量的精度。

    基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路

    公开(公告)号:CN106441257A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610854616.4

    申请日:2016-09-27

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C19/04

    Abstract: 本发明公开一种基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路,包括硅微动调陀螺仪的两组力矩反馈电极,两组信号敏感电极,以及两组闭环控制电路组成。每组闭环控制电路包括检测接口模拟处理电路、AD采样电路、FPGA控制算法、DA输出接口电路、直接数字式频率合成器。该硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路具有数字化控制和输出的优点,便于与外设接口相连;四路级联放大电路和AD采样电路的配合使用,拓宽了AD的采样范围,有益于提升对微弱信号的检测精度;DA输入信号的分级放大操作有益于充分发挥高精度DA的输出精度;控制算法在FPGA内实现,具有集成度高,体积小,功耗低等优点。

    基于坐标旋转法的双轴谐振式加速度计数字控制电路装置

    公开(公告)号:CN106053884A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610490214.0

    申请日:2016-06-28

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01P15/125

    Abstract: 本发明公开了一种基于坐标旋转法的双轴谐振式加速度计数字控制电路装置,由双轴解耦硅微谐振式微加速度计(A)、四组闭环控制回路(S1、S2、S3、S4)组成;其中,每组闭环控制回路包括检测接口,A/D转换器,FPGA控制算法,D/A转换器,驱动接口;FPGA控制算法由解调器模块、幅度控制模块、频率控制模块以及输出调理模块组成。本发明双轴谐振式硅微加速度计闭环控制电路具有集成度高,体积小,精度高,功耗低等优点;有效地节约了硬件资源;有效地抑制了回路间的相互干扰,降低两个轴向的耦合,提高了系统的稳定性;便于控制,有利于提高系统的稳定性。

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