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公开(公告)号:CN102119364B
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN200980129546.4
申请日:2009-06-10
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor: 关彦彬
CPC classification number: G03F7/70141 , G02B7/003 , G02B7/028 , G03F7/70816 , G03F7/70833 , G03F7/70975
Abstract: 本发明涉及一种光学设备(101),具体是用于微光刻,包括光学模块(104)、支撑结构(109)和连接装置(108),其中,所述连接装置包括具有第一连接器部分(110.1)和第二连接器部分(110.2)的至少一个连接单元(110)。所述第一连接器部分连接到所述光学模块,所述第二连接器部分连接到所述支撑结构。所述第一连接器部分具有带有第一主曲率(K1-1)的第一接触表面(110.3),所述第一主曲率定义第一主曲率轴(AK2-1),而所述第二连接器部分具有带有第二主曲率(K2-1)的第二接触表面(110.4),所述第二主曲率定义第二主曲率轴。所述第二主曲率与所述第一主曲率匹配,并且在已安装状态中所述第一接触接触表面与所述第二接触表面接触。所述连接装置包括对所述第一连接器部分和所述第二连接器部分作用的定位装置(111)的至少一部分,其中所述定位装置被设计为使得,在出现在所述已安装状态之前的调节状态中,以非接触的方式在所述第一接触表面和所述第二接触表面之间保持窄间隙(111.4),从而可以关于所述第一主曲率轴在所述第一接触表面和所述第二接触表面之间进行补偿运动,而在所述第一连接器部分和所述第二连接器部分之间不发生所述补偿运动造成的任何力的作用。
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公开(公告)号:CN103597397A
公开(公告)日:2014-02-19
申请号:CN201280012125.5
申请日:2012-01-12
Applicant: IDEA机器显影设计及生产有限公司
CPC classification number: G02B21/0052 , G02B7/003 , G02B21/16 , G02B21/248 , G02B21/26 , G02B21/367
Abstract: 本发明公开了一种用于放大和捕获一个或更多个样品的图像的设备,以及一种用于更换物镜的设备。还公开了用于使用所述设备的方法和其他实施方案。
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公开(公告)号:CN103229084A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201180039940.6
申请日:2011-08-12
Applicant: 赫普塔冈微光学有限公司
CPC classification number: H04N5/2254 , G02B7/003 , G02B7/021 , G02B13/006 , G02B13/0085 , H01L27/14618 , H01L27/14625 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L2924/0002 , H04N5/2257 , Y10T29/49002 , Y10T29/49826 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种制造多个用于相机的光学装置(20a)方法,每个光学器件(20a)具有固定焦距的透镜模块(2a)用于与包含图像传感器平面(5)的图像传感器组装,每个固定焦距透镜模块(2a)包括一个或多个透镜(17a、18a)或者透镜部分,该方法包括:制造多个透镜模块(2a..d);对于每个透镜模块(2a..d)确定透镜模块值,其中所述透镜模块值与相应透镜模块(2a..d)的法兰焦距长度(FFL)相关;向透镜模块(2a..b)提供并分配底座元件(3a..b),而所述底座元件(3a..b)布置在所述光学装置(20a)内以限定所述透镜模块(2a..b)和所述图像传感器平面(5)之间的固定的间隔距离(6a..b),所述底座元件(3a..b)的底座区段长度(7a..b)是可变的,由此,对于每个透镜模块(2a..d)单独地或以组为单位根据透镜模块(2a..b)的光学特性调整所述透镜模块(2a)和所述图像传感器平面(5)之间的几何距离(6a),以补偿透镜模块在所述多个透镜模块(2a..b)之间的透镜模块值的变化,从而使所述透镜模块的所述焦平面落在所述图像传感器平面(5)上;组装所述透镜模块(2a)和底座元件(2a),以形成光学装置(20a)。
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公开(公告)号:CN103180768A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201180039979.8
申请日:2011-08-04
Applicant: 耶恩光学系统公司
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明提供一种可调整的夹座构造组(7),具有一个外夹座部(1)及一内夹座部(2),其中:a)所述内夹座部(2)设成可在所述外夹座部(1)中在一垂直于一光学轴的平面中利用调整螺丝(3)移动及固定,且所述二夹座部(1)(2)共同形成一可调整的一夹座,b)所述外夹座部(1)形成一可调整的第二夹座,而所述内夹座部(2)形成一第三可调整的夹座,c)所述外夹座部(1)和所述内夹座部(2)各由一外夹座框(1.1)(2.1)和一内夹座框(1.2)(2.2)形成,在其中各固定着一光学构件(1.5)(2.5),该光学构件各利用至少三个操纵单元(1.3)(2.3)互相连接成单块方式,d)所述外夹座部(1)的内夹座框(1.2)与所述内夹座部(2)的外夹座框(2.1)利用一可松开的力量接合作用的夹紧装置(4)互相连接,如此e)当夹紧装置(4)松开而调整螺丝(3)旋紧时,所述二光学构件(1.5)(2.5)可通过操纵所述外夹座部(1)而互相作相对调整,且f)当夹紧装置受力量接合方式沿轴向作用而将内夹座部(2)与外夹座部夹合时且当调整螺丝(3)旋松时,所述二光学构件(1.5)(2.5)可通过操纵内夹座部(2)而互相作相对调整,且所述二光学构件可通过操纵外夹座部(1)而共同相对于一参考基础作调整。
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公开(公告)号:CN101769336B
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN200910300033.7
申请日:2009-01-05
Applicant: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 , 鸿海精密工业股份有限公司
Inventor: 夏发平
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C29/025 , F16C32/0614 , G02B7/003
Abstract: 一种空气导轨,包括导芯及套设于导芯上的导套,导芯可相对导套作直线运动,导套上开进气口,导套内部分布有与进气口连通的导气孔,导套内侧开设有朝向导芯的出气孔,出气孔与所述导气孔连通,导套由四个矩形的构件对接形成,进气孔开设于其中一个构件上,导气孔及出气孔开设于每个构件内,每个构件的导气孔相互连通,以连通进气孔及各个构件的出气孔,每个构件上朝向导芯的内侧面上还开设有导槽,导槽与出气孔连通,导芯与导套之间存在一定间隙,导槽的宽度大于或等于导套与导芯之间的间隙厚度,以使气体先沿所述导槽流动再扩散至所述导套与所述导芯之间的间隙。该空气导轨可保证较高的运动精度及平稳性且成本较低。
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公开(公告)号:CN102549468A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201080044073.0
申请日:2010-07-23
Applicant: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70825 , B23K26/02 , B23K26/035 , G02B7/003 , G02B7/028
Abstract: 本发明涉及光学元件的保持布置,该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4),光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上,,所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交,所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51,52),所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称,至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。
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公开(公告)号:CN102119364A
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200980129546.4
申请日:2009-06-10
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor: 关彦彬
CPC classification number: G03F7/70141 , G02B7/003 , G02B7/028 , G03F7/70816 , G03F7/70833 , G03F7/70975
Abstract: 本发明涉及一种光学设备(101),具体是用于微光刻,包括光学模块(104)、支撑结构(109)和连接装置(108),其中,所述连接装置包括具有第一连接器部分(110.1)和第二连接器部分(110.2)的至少一个连接单元(110)。所述第一连接器部分连接到所述光学模块,所述第二连接器部分连接到所述支撑结构。所述第一连接器部分具有带有第一主曲率(K1-1)的第一接触表面(110.3),所述第一主曲率定义第一主曲率轴(AK2-1),而所述第二连接器部分具有带有第二主曲率(K2-1)的第二接触表面(110.4),所述第二主曲率定义第二主曲率轴。所述第二主曲率与所述第一主曲率匹配,并且在已安装状态中所述第一接触接触表面与所述第二接触表面接触。所述连接装置包括对所述第一连接器部分和所述第二连接器部分作用的定位装置(111)的至少一部分,其中所述定位装置被设计为使得,在出现在所述已安装状态之前的调节状态中,以非接触的方式在所述第一接触表面和所述第二接触表面之间保持窄间隙(111.4),从而可以关于所述第一主曲率轴在所述第一接触表面和所述第二接触表面之间进行补偿运动,而在所述第一连接器部分和所述第二连接器部分之间不发生所述补偿运动造成的任何力的作用。
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公开(公告)号:CN101986182A
公开(公告)日:2011-03-16
申请号:CN201010272484.7
申请日:2010-07-13
Applicant: 意法半导体(研发)有限公司
Inventor: W·哈利戴
Abstract: 本发明涉及透镜组件以及在透镜支架中装配透镜元件的方法,具体涉及沿光轴(X)在透镜支架中对准透镜元件的透镜组件。该透镜组件具有保持透镜组件的透镜支架(110),图像传感器(122)和光学滤波器(120)。光学滤波器保持器(118)固定于透镜支架。光学滤波器保持器具有向内突出搁架(128),该搁架具有与光学滤波器的一部分接触的上接触表面以及与图像传感器的一部分接触的下接触表面。这将光学滤波器和图像传感器与光轴直接对准。下接触表面设置在向内突出搁架的向下突出唇部(130)上,以接触图像传感器的上表面。上接触表面设置在向内突出搁架的上表面上,以与光学滤波器的下表面接触。本发明还提供一种在透镜支架中装配透镜元件的方法。
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公开(公告)号:CN100585897C
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200680029644.7
申请日:2006-06-02
Applicant: 新阶科技股份有限公司
IPC: H01L41/09
CPC classification number: H02N2/0095 , A61M5/14248 , A61M5/14566 , A61M2205/0294 , G02B7/003 , G02B7/023 , G02B7/102 , H02N2/02
Abstract: 本发明提供一种光学总成,其包含光学器件,该光学器件可移动地附装至用于驱动螺纹轴总成的装置上。该装置包含具有旋转轴线的螺纹轴及与其相啮合的螺母。该总成包含用于使螺母经受超声波振动的器件,由此使所述轴同时旋转及在轴向上平移。
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公开(公告)号:CN101131830A
公开(公告)日:2008-02-27
申请号:CN200710141648.0
申请日:2007-08-17
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G11B7/135
CPC classification number: G11B7/22 , G02B7/003 , G02B27/0025 , G02B27/62 , G11B7/082 , G11B7/121 , G11B2007/0006
Abstract: 一种能适当抑制由物镜彼此之间的相对倾斜误差所产生的彗形像差的光拾取装置。该光拾取装置包括:光学特性不同的物镜(11、12);透镜支座(7),其设置有分别安装的透镜安装筒部(7b、7c),以使得各物镜(11、12)不重叠放置,并使一物镜(11)比另一物镜(12)距光记录介质的距离短;以包围一物镜(11)外周的方式形成为筒状的缓冲部件(9),其在光记录介质侧的端部设置有防止一物镜(11)和光记录介质冲突的突出部(9b),在透镜安装筒部(7c)上固定另一物镜(12),在缓冲部件(9)和透镜安装筒部(9b)上附加有以可对一物镜(11)进行倾斜调整的方式保持一物镜(11)的透镜倾斜调整保持结构(13)。
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