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公开(公告)号：CN102549469B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201080044076.4
申请日：2010-07-23
Applicant: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种光学元件(10)(特别是柱面透镜)的保持布置，所述保持布置具有围绕被接收的光学元件(10)的基础结构(3)和安装装置，被接收的光学元件(10)经由该安装装置可以被支撑在所述基础结构上，所述安装装置具有两个自由度，使得被接收光学元件借助安装装置而被支撑，以可绕光轴(z)和绕平行于光轴延伸的第一轴(特别是垂直于柱面透镜的轴向延伸的轴(x))旋转地运动。本发明还涉及用于光学系统的操纵器单元，该操纵器单元包括保持布置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102549468B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201080044073.0
申请日：2010-07-23
Applicant: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70825 , B23K26/02 , B23K26/035 , G02B7/003 , G02B7/028
Abstract: 本发明涉及光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4)，光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51，52)，所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称，至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。
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公开(公告)号：CN102549469A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201080044076.4
申请日：2010-07-23
Applicant: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种光学元件(10)(特别是柱面透镜)的保持布置，所述保持布置具有围绕被接收的光学元件(10)的基础结构(3)和安装装置，被接收的光学元件(10)经由该安装装置可以被支撑在所述基础结构上，所述安装装置具有两个自由度，使得被接收光学元件借助安装装置而被支撑，以可绕光轴(z)和绕平行于光轴延伸的第一轴(特别是垂直于柱面透镜的轴向延伸的轴(x))旋转地运动。本发明还涉及用于光学系统的操纵器单元，该操纵器单元包括保持布置。
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公开(公告)号：CN102549468A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201080044073.0
申请日：2010-07-23
Applicant: 卡尔蔡司激光器材有限责任公司 , 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/70825 , B23K26/02 , B23K26/035 , G02B7/003 , G02B7/028
Abstract: 本发明涉及光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4)，光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上，，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51，52)，所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称，至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。
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公开(公告)号：CN102227662B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN200980147722.7
申请日：2009-09-30
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/7015 , G02B7/003 , G02B7/02 , G03F7/70825
Abstract: 本发明涉及特别适用于微光刻的、用于光学元件的支撑元件，其包括支撑构件、将支撑构件连接至外部支撑单元的第一连接元件和将支撑构件连接至光学元件的第二连接元件。所述支撑元件适于以动力学并联方式和其它支撑元件协作，以在六个自由度上将光学元件相对于外部支撑单元定位及定向。所述支撑构件包括多个第一弯曲接头，其中第一连接元件和/或第二连接元件至少包括第二弯曲接头，其中每个第一和第二弯曲接头限定弯曲轴。可通过多个第一和第二弯曲接头的方式在最多两个自由度上实现对光学元件相对于支撑单元的运动限制。每个第一和第二弯曲接头沿弯曲轴设计成长形。
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公开(公告)号：CN102227662A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200980147722.7
申请日：2009-09-30
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/7015 , G02B7/003 , G02B7/02 , G03F7/70825
Abstract: 本发明涉及特别适用于微光刻的、用于光学元件的支撑元件，其包括支撑构件、将支撑构件连接至外部支撑单元的第一连接元件和将支撑构件连接至光学元件的第二连接元件。所述支撑元件适于以动力学并联方式和其它支撑元件协作，以在六个自由度上将光学元件相对于外部支撑单元定位及定向。所述支撑构件包括多个第一弯曲接头，其中第一连接元件和/或第二连接元件至少包括第二弯曲接头，其中每个第一和第二弯曲接头限定弯曲轴。可通过多个第一和第二弯曲接头的方式在最多两个自由度上实现对光学元件相对于支撑单元的运动限制。每个第一和第二弯曲接头沿弯曲轴设计成长形。
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