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公开(公告)号：CN118647122A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410877287.X
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于通道壁面温度的霍尔推进器在轨推力调节装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，于在地和在轨条件分别为霍尔推进器搭建通道壁面温度调节装置；在地实验阶段，调节不同工况的参数，获得霍尔推进器通道外壁的壁面温度、羽流区域的电子温度和电子密度；并建立映射数据库，在轨实验阶段，星载霍尔推进器运行稳定时，在不同工况下，获得星载霍尔推进器通道外壁的壁面温度、羽流区域的电子温度和电子密度；通过改变星载霍尔推进器的电压、励磁电流与气流，进行推力的在轨调节；结合的电子温度和电子密度计算推力进行验证，保证推力的准确性。
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公开(公告)号：CN118067401B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410471355.2
申请日：2024-04-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种霍尔推进器与阴极耦合状态在轨成像监测装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，先在地面实验中进行霍尔推进器与阴极耦合状态成像监测实验，得到各个工况下霍尔推进器耦合区电子桥的电子温度；再于卫星上测量耦合区电子桥的电子温度，将此时测量得到的电子温度与地面实验中相同工况电子温度进行对比，如果两者相一致，表明此时霍尔推进器与阴极耦合状态良好，如果两者不一致，调节霍尔推进器的电压、电流以及空心阴极的电流，直至两者相一致。
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公开(公告)号：CN118130375A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410220231.7
申请日：2024-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于等离子体光谱诊断测试领域，具体涉及沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法。将光谱监测装置进行组装与调试；开启机械泵，对PECVD腔室进行抽真空处理；通过气路向PECVD腔室内供入沉积气体SiH4/He,并开启射频电源，电子获得能量，与沉积气体发生碰撞产生活性粒子，沉积到硅基样片表面完镀膜；关闭射频电源；硅基样片在等离子体作用下已经在PECVD腔室完成镀膜沉积后，将其转移至成分监测腔室，以进行薄膜成分分析；空心阴极发射电子轰击已沉积的硅基样片，使用光纤探头监测硅基样品表面发光区域；将监测到的进入光谱仪分光后由探测器成像，由工控机读出数据。实现光谱监测方法对等离子增强化学气相沉积工艺中非晶氢化硅薄膜组分的监测。
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公开(公告)号：CN118067399A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410471353.3
申请日：2024-04-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于航天等离子体推进技术领域，提供一种等离子体推进器在轨状态的近场羽流成像监测方法。S1：在地面和在轨条件分别为同一型号的等离子体推进器搭建近场羽流的成像监测装置；S2：在地面条件下启动等离子体推进器，根据不同的工况调节各项参数，拍摄近场羽流的成像照片；S3：基于S2中的不同工况参数和近场羽流的成像照片进行拟合，建立二者映射的数据库；S4：当在轨的等离子体推进器运行时，在近场羽流稳定时拍摄近场羽流的成像照片；S5：将在轨拍摄的近场羽流的成像照片与地面拍摄的近场羽流的成像照片进行比对，判断在轨的等离子体推进器所处状况。本发明监测近场羽流能够帮助预测并解决等离子体推进器可能出现的故障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117423600B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202311743393.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法，涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域，装置包括：包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机；所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置，所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域；两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧，第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置，所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置，第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置；该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度，具有原位、同时性、无侵扰的特点。
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公开(公告)号：CN117451238B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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公开(公告)号：CN117664792A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410128868.3
申请日：2024-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及电推进技术领域，具体涉及一种三维密度分布的断层成像重建装置及方法；该成像重建装置包括真空罐，真空罐内设有滑道；固定板，设于滑道上，且在固定板上设有推力器，推力器用于提供定向羽流等离子体；羽流数据采集装置，设于移动机构上，羽流数据采集装置用于采集定向羽流等离子体信息，羽流数据采集装置包括壳体和支撑结构、相机放置槽、以及遮挡结构，支撑结构设于壳体内，支撑结构上设有拍摄口，拍摄口内设有滤波片，相机放置槽对应拍摄口设置，拍摄口与壳体上的通孔对应设置，且相机放置槽朝向推力器设置，遮挡结构设于支撑结构上，并用于遮挡拍摄口。该成像重建装置，记录形式直观、直接获得羽流二维图像数据。
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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN117451238A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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