公开(公告)号：CN117457467B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202311743459.6

申请日：2023-12-19

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  北京东方计量测试研究所

Inventor： 朱悉铭 ,  贾军伟 ,  王璐 ,  康永琦 ,  董学江 ,  宋琦 ,  黄春月

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。

公开(公告)号：CN117457467A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311743459.6

申请日：2023-12-19

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  北京东方计量测试研究所

Inventor： 朱悉铭 ,  贾军伟 ,  王璐 ,  康永琦 ,  董学江 ,  宋琦 ,  黄春月

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。