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公开(公告)号：CN104178825B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410373008.2
申请日：2014-07-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种纳米纤维直径可控辅助诱导批量电纺装置，涉及电纺装置。设有溶液槽、出液阀门、纤维直径控制装置、超声激振器、进液管道、进液阀门、超声液面传感器、辅助诱导装置、工业CCD图像传感器、收集装置；纤维直径控制装置设有调整滑块、精密螺杆、光杆导杆；辅助诱导装置设有直线导轨、滑块、滑块连接杆、安装基座；收集装置送料辅助轧轮、收集板、送料滚筒、收集装置挂板、电机、主动进给滚筒、进给辅助轧轮。利用超声激振产生溶液波动，配合辅助诱导装置进行射流喷射控制；利用极板之间的间隙约束射流初始直径和迁移；用连续进给的收集装置，加辅助诱导，配合图像传感器识别，克服产量低、直径分布差异大、带珠状结构、喷头易堵塞等缺陷。
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公开(公告)号：CN103993371B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410267037.0
申请日：2014-06-16
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种开闭诱导式批量电纺装置，涉及一种静电纺丝装置。储料箱与供液装置连通，加热件和温度传感器设于储料箱内腔壁，加热件和温度传感器均与温控箱电连接，喷嘴阵列设于储料箱底部，各喷嘴内设有中心轴，各中心轴竖直贯穿储料箱，其下端均连接喷嘴盖，喷嘴盖位于喷嘴出口外部，其上端伸出储料箱上端面；储料箱上方设有驱动电机和多轴输出箱，驱动电机设于多轴输出箱上，驱动电机的输出轴与多轴输出箱的输入端连接，多轴输出箱的输出端与各中心轴上端连接，振动发生器的振动输出端与多轴输出箱刚性连接，导电金属条横纵间隔设于储料箱内底面，导电金属条接地或与高压电源电连接，收集装置设于储料箱下方，收集装置与高压电源电连接或接地。
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公开(公告)号：CN103147139B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310112346.6
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种气体诱导电纺装置，涉及一种静电纺丝装置。设有高压电源、溶液槽、气体管道、供液装置、纤维收集装置和气动系统；所述高压电源用于提供高压电场，高压电源的正极与溶液槽连接，高压电源的负极与纤维收集装置连接并接地；气体管道设于溶液槽内，气体管道与气动系统输出口连接，气体管道表面均匀密布多个喷口阵列，用于喷射出脉冲高压气体诱导液面产生局部突起；供液装置输出端与溶液槽连接，用于实时补给溶液，使液面始终保持恒定高度；纤维收集装置设于溶液槽上方，用于收集纳米纤维；气动系统用于控制脉冲高压气体的输出。可大大降低启动电压阈值，同时也有利于提高纤维产量。
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公开(公告)号：CN103757719B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201410048359.6
申请日：2014-02-12
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种纤维毡制备装置，涉及纤维毡。设有纺丝箱、振动发生装置、振动传导系统、供液系统、收集装置、高压电源、诱导片和固定片；纺丝箱内分隔为振动传导室和溶液槽，所述振动传导系统设在振动传导室内，振动传导系统设有振动输出轴、连接座、振动传导块；所述供液系统设有储液箱和计量泵；振动输出轴通过连接座与纺丝箱固定，振动输出轴的轴端与振动传导块一端连接，振动传导块另一端面与诱导片铰接；诱导片顶部设有诱导片凸起，固定片顶部设有固定片凸起；溶液槽内设有凹形固定块，固定片固定于凹形固定块的凹槽内；计量泵通过供液管与溶液槽相通并通过计量泵对溶液槽供液，收集装置设在溶液槽正上方，收集装置与高压电源输出端电性连接。
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公开(公告)号：CN103334165B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310231466.8
申请日：2013-06-13
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及采用静电纺丝技术制备聚合物静电纺丝纤维技术领域。一种静电纺丝装置，包括：供液器、分液器、多个静电纺丝喷头、高压电源、辅助气体发生装置、圆筒状引导器和双网筒收集器，辅助气体发生装置包括供气泵、气管和通气罩，通气罩通过气管与供气泵连通，形成辅助气流通道，多个静电纺丝喷头均匀分布于通气罩内，圆筒状引导器设置于辅助气体发生装置下方，双网筒收集器设置于圆筒状引导器内部，本发明引入辅助气流促进射流的喷射拉伸，并利用气流的挤压作用引导纺丝纳米纤维在双网筒收集器内多层三维沉积，实现柱状纳米纤维过滤器快速制造，促进静电纺丝技术在过滤领域的应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103413780B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310365926.6
申请日：2013-08-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。
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公开(公告)号：CN103145093B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310085087.2
申请日：2013-03-18
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法，涉及微惯性器件。提供简单、可保证电学特性且成本低的一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法。加工梳状结构的硅微惯性器件半成品主体结构；加工与硅微惯性器件半成品主体结构配合的带凹槽的封装盖；制备高深宽比的梳齿间隙；制备硅微惯性器件成品。先将原本的固定梁制备成悬浮梁，然后通过施加反向电压，在静电吸合的作用下，使悬浮梁移动定位，自热形成高深宽比梳齿间隙。简单易操作，而且加工中所需的刻蚀、键合等工艺已非常成熟，不需要高精密的刻蚀仪器或者繁杂的沉积方法就可以获得高深宽比的梳齿间隙，而且因为不需要重复刻蚀等步骤，梳齿间隙的均匀性可以很好地保证。
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公开(公告)号：CN103234669B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310106170.3
申请日：2013-03-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种利用静电负刚度的压力传感器及其制作方法，涉及压力传感器。传感器自下而上设压力敏感层、悬臂式谐振层、真空封装盖层和电极。光刻胶做掩膜，在玻璃片上加工电极孔和引线缺口，再与硅片连接，腐蚀出驱动硅电极和检测硅电极；在金属或氧化硅掩膜上开掩膜窗口，再腐蚀出悬臂式谐振层上下表面的盲槽；刻蚀出悬臂式谐振层的引线缺口、带质量块的悬臂梁；用氧化硅层或氮化硅做掩膜，单面腐蚀出压力敏感膜和接地电极，制成压力敏感层，上端与悬臂式谐振层下端连接形成组合片，再与真空封装盖层连接形成三层组合片，装于硬板夹具，通过溅射或蒸镀得覆盖接地电极的金属层、驱动硅电极的引线电极、检测硅电极的引线电极以及直流偏压金属电极得传感器。
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公开(公告)号：CN103231516B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310156513.7
申请日：2013-04-28
Applicant: 厦门大学
IPC: B29C67/00
Abstract: 一种带环形电极电液动力耦合自适应喷头，涉及电液动力耦合喷印装置。提供可对射流进行稳定性控制、提高喷头喷印精度、集成度高的一种带环形电极电液动力耦合自适应喷头。设有喷头外壳、针管、绝缘罩、内腔套、电场集中罩、环形电极、环形电极控制器、高压直流电源和脉冲电源；喷头外壳设有进液通孔、环形电极导线接口、电源导线接口；针管设于所述进液通孔中，针管外接供液装置；绝缘罩设于喷头外壳下端，绝缘罩设有喷流出口，喷流出口位于针管喷口正下方；内腔套设于绝缘罩内；电场集中罩设于喷头外壳的进液通孔和喷头外壳内底壁上；环形电极设有和间隔均布的电极瓣。
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公开(公告)号：CN103193195B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310074216.8
申请日：2013-03-08
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种重掺杂硼硅片的再分布方法，涉及一种重掺杂硼硅片。将重掺杂硼硅片放在托盘上，然后置于石英腔体中，关闭屏蔽箱门，旋转压紧密封机构；将石英腔体抽真空，通过气体进口和气体出口，对石英腔体内通入再分布所需气体；开启电源，通过电极片在空间中施加电场，然后开通射频电源，通过自动匹配器实现负载匹配，让感应线圈产生高频变化的磁场；打开温度传感器，利用温度传感器的温度指示，调节输入功率达到要求的温度，对重掺杂硼硅片进行加热，开始再分布过程；为确保操作人员安全，电磁感应线圈外装有电磁屏蔽外壳，在整个再分布过程中要保持干扰场强仪的开启，以实时监测场强大小，使其在相关规定的范围内。加热速率快，成本低，有效减小残余应力。
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