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公开(公告)号:CN101609250B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200910086928.5
申请日:2009-06-18
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种相机摆镜摆角扫描特性测量装置。该装置主要包括高稳定工作台,固定在高稳定工作台一端的摆镜摆角扫描系统、固定在高稳定工作台的另一端的高精度回转系统;固定在高精度回转系统上的高精度圆光栅测角系统和固定在圆光栅测角系统上的小角度高精度测角系统。本发明中的小角度高精度测角系统与高精度圆光栅测角系统结合可以对样品进行大角度高精度精确的测量,同时可实现测量过程的非接触化和对样品的动态跟踪,可以为卫星和航拍等用途相机的摆镜扫描特性提供有力的检测校正手段。
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公开(公告)号:CN101526477B
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN200910082248.6
申请日:2009-04-21
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学显微成像及光学精密测量技术领域,涉及一种激光差动共焦图谱显微层析成像装置,主要包括拉曼光谱分析部分(25)和沿光路依次放置的物镜(6)、偏振分光镜(7)、1/4玻片(8)、测量物镜(9);还包括位于偏振分光镜反射方向反方向的差动共焦探测部分(26)。本发明中的差动共焦探测部分用于对样品微区几何位置的测量和对样品定焦,得到样品微区的图像信息;拉曼光谱探测部分用于对样品被探测区的材料光谱进行分析,得到样品微区的组分信息;通过两个部分的结合可以实现对样品的纳米级微区图谱测量,同时得到样品微区的几何形貌和材料组分信息。本发明为生物医学、材料科学和高能物理等前沿学科提供了有力的观测手段。
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公开(公告)号:CN101458071B
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN200910000781.3
申请日:2009-01-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置在双轴共焦测量结构中融合光瞳滤波技术,并利用差动处理方法接收测量光束并进行处理,实现了提高分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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公开(公告)号:CN101769821A
公开(公告)日:2010-07-07
申请号:CN201010105743.7
申请日:2010-02-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于差动共焦技术的透镜折射率与厚度的测量方法及装置,属于光学精密测量技术领域,用于球面透镜折射率和厚度的高精度测量。本发明基于光线追迹原理,利用激光差动共焦响应曲线的绝对零点来精确确定被测透镜前表面与光轴交点、后表面与光轴交点以及有、无被测透镜时测量镜的位置,然后利用测量镜的位置和预先测得的测量镜的曲率半径、焦距及光瞳大小,来对被测透镜两球面及参考反射面来进行逐面光线追迹计算,继而实现被测透镜的折射率和厚度的高精度无损测量。本发明具有操作简单、测量精度高、抗环境干扰能力强等显著优点,可以广泛应用于各种球面透镜的折射率和厚度测量,特别是薄透镜的折射率和厚度测量领域。
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公开(公告)号:CN101629814A
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200910081280.2
申请日:2009-04-01
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量领域,涉及差动共焦瞄准触发式空心球体内外轮廓及壁厚测量方法与装置。该方法利用差动共焦式“光探针”传感器对空心球体的内外表面进行瞄准,配合工作台的旋转,可以完成整个空心球体内外表面轮廓和壁厚的测量。同时可以利用光瞳滤波技术提高系统的分辨力和灵敏度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线的零点去触发测量空心球体内外表面的轮廓和壁厚,解决了空心球体内外表面轮廓和壁厚不能同时测量的难题。差动共焦式“光探针”传感器探测的是光强信号,具有精度高、抗环境干扰能力强、不损坏被测对象等优点。
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公开(公告)号:CN101509828A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200910079330.3
申请日:2009-03-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理和低相干干涉原理分别确定被测样品的前表面位置和后表面位置对应的测量物镜和参考部分的位置,然后测量测量物镜的移动距离Δz和参考部分的移动距离Δl,带入公式计算被测样品的折射率和厚度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦,将差动共焦显微原理扩展到折射率和厚度测量领域,形成差动共焦测厚原理。本发明融合了差动共焦定焦原理与低相干干涉技术,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于样品的折射率和厚度的检测。
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公开(公告)号:CN101403650A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200810226966.1
申请日:2008-11-21
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦组合透镜超长焦距测量方法与装置,该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定参考透镜焦点和被测透镜与参考透镜组合的焦点位置,然后测量两焦点间的距离Δ和两透镜的间距d0,代入公式计算被测透镜的焦距值,同时测量过程中还可以通过光瞳滤波技术提高焦距测量灵敏度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦,将差动共焦显微原理扩展到超长焦距测量领域,形成差动共焦定焦原理。本发明融合了差动共焦定焦原理与组合透镜法,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于超长焦距透镜的检测与光学系统装配过程中的高精度焦距测量。
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公开(公告)号:CN119985430A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202411937298.9
申请日:2024-12-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 一种可调谐激发受激拉曼光谱显微成像方法与装置,属于光谱检测和光学成像领域。本发明的装置包括宽波段可调波长光源、高分辨波长扫描模块、受激拉曼信号激发模块和受激拉曼信号探测模块。受激拉曼信号激发与成像模块,用于将两束时间、空间重叠的窄带飞秒脉冲光聚焦于样品并激发受激拉曼信号,同时移动样品实现点扫描显微成像;受激拉曼信号探测模块,用于将受激拉曼散射信号转换为电信号,利用锁相放大器进行解调后由数据采集卡记录光谱信息。本发明利用光学参量放大器的宽波段可调谐特性,将泵浦光调谐至样品吸收峰长波长区域,实现电子预共振受激拉曼;并在探测端结合平衡探测技术,实现对受激拉曼信号的高灵敏度、高分辨率、高信噪比的探测。
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公开(公告)号:CN118838045A
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN202411084210.3
申请日:2024-08-08
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及基于DMD强度调制和SLM相位调制的复合光调制系统及方法,属于光学调控技术领域,应用于飞秒激光技术领域。本发明实现方法为:1、飞秒激光器发射光束至扩束镜得到扩束光,扩束光发射至光束准直系统得到准直平行光,准直平行光经反射镜反射通过两个光阑后入射到DMD微镜阵列上;2、利用上位机像素化编程控制DMD强度调制和SLM相位调制,最终得到强度‑相位调制后空间光;3、调制后空间光分别通过第一、二4f系统后聚焦在工作台上,由三维高精度运动台联动控制实现飞秒激光技术的应用。在本发明中DMD强度调制帧率、对比度、光强承载力高,SLM相位调制精度高,两个4f系统提高了系统的稳定性和传输光质量,整个系统实现了高质量强度‑相位独立调制。
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公开(公告)号:CN118518652A
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN202410547513.8
申请日:2024-05-06
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开的激光差动共焦空间偏移拉曼光谱测量方法与装置,属于光谱检测技术领域。本发明包括光源系统、扩束系统、第一分光系统、差动共焦探测系统、二向色分光系统、聚焦系统、空间偏移光谱分离系统、光谱探测系统、测控系统。本发明将差动共焦方法引入到空间偏移拉曼光谱探测中,利用构建的空间偏移拉曼光谱系统对分离获得的拉曼光谱进行深层光谱信息探测,利用瑞利光构建差动共焦系统准确获取最小激发光斑位置及几何形貌信息,解决过大聚焦光斑尺寸对空间偏移量的影响,利用差动共焦焦点触发探测方法改善激光差动共焦空间偏移拉曼光谱测量装置的抗漂移特性,实现样品表面形貌和内部深层光谱信息的多参数、高稳定探测。
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