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公开(公告)号：CN101458071B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200910000781.3
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置在双轴共焦测量结构中融合光瞳滤波技术，并利用差动处理方法接收测量光束并进行处理，实现了提高分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101793495B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201010121866.X
申请日：2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种分割焦斑探测的超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置利用探测器横向偏移可使双轴共焦显微技术的轴向响应曲线产生相移这一特性，在双轴共焦显微结构中采用分割焦斑的横向差动探测方式接收测量光束并进行处理，并结合超分辨光瞳滤波技术，实现了提高系统分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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公开(公告)号：CN101936717B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201010239830.1
申请日：2010-07-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域，涉及一种双轴共焦高空间分辨乘积检测方法。该方法利用双轴共焦双接收光路中横向偏移放置的双探测器接收到的离焦信号相乘形成双轴共焦乘积测量信号，对被测样品进行测量、成像，通过两个离焦信号的乘积同时提高双轴共焦显微探测方法的三维分辨力，从而实现双轴乘积共焦方法的高空间分辨力检测。该方法还可以结合光学超分辨检测方法，进一步提高空间分辨力。该方法可以满足高空间分辨力、高精度测量成像要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、线宽、表面形貌等的精密测量以及高精度生物成像检测领域等。
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公开(公告)号：CN101936717A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010239830.1
申请日：2010-07-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域，涉及一种双轴共焦高空间分辨乘积检测方法。该方法利用双轴共焦双接收光路中横向偏移放置的双探测器接收到的离焦信号相乘形成双轴共焦乘积测量信号，对被测样品进行测量、成像，通过两个离焦信号的乘积同时提高双轴共焦显微探测方法的三维分辨力，从而实现双轴乘积共焦方法的高空间分辨力检测。该方法还可以结合光学超分辨检测方法，进一步提高空间分辨力。该方法可以满足高空间分辨力、高精度测量成像要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、线宽、表面形貌等的精密测量以及高精度生物成像检测领域等。
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公开(公告)号：CN101793495A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010121866.X
申请日：2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种分割焦斑探测的超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置利用探测器横向偏移可使双轴共焦显微技术的轴向响应曲线产生相移这一特性，在双轴共焦显微结构中采用分割焦斑的横向差动探测方式接收测量光束并进行处理，并结合超分辨光瞳滤波技术，实现了提高系统分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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公开(公告)号：CN101458071A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200910000781.3
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种超分辨双轴差动共焦测量方法与装置。该方法与装置在双轴共焦测量结构中融合光瞳滤波技术，并利用差动处理方法接收测量光束并进行处理，实现了提高分辨力、扩展工作距离、提高抗干扰能力和改善线性范围的目的。可用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行精密测量。
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