公开(公告)号：CN119687825A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411547498.3

申请日：2024-11-01

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 徐可米 ,  董树敏 ,  赵睿哲 ,  邱丽荣

IPC: G01B11/24 ,  G02B27/12

Abstract: 本发明公开的基于结构光和差动共焦技术的高分辨三维测量系统及方法，属于高精度三维检测技术领域。本发明实现方法为：1、调节出射激光光强，上位机控制可控光阑关闭，光束不进入结构光照明超分辨成像模块；2、可控光阑打开，光束进入激光差动共焦扫描轴向定焦模块实现焦面轴向纳米级定焦，并得到样品高度信息；3、光束进入超分辨成像模块，得到一幅去除了离焦背景的超分辨光切片图像，实现超分辨成像；4、根据样品特征设计合适的轴向定焦扫描轨迹，驱动XYZ位移台和PZT配合实现轴向定焦扫描，根据超分辨图像和轴向定焦数据进行三维重建得到样品的三维形态分布。与现有技术相比，本发明解决纳米级三维分辨率的高效率形貌测量的问题。

公开(公告)号：CN118838045A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202411084210.3

申请日：2024-08-08

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 徐可米 ,  董树敏 ,  赵维谦 ,  雷雨昊 ,  邱丽荣

IPC: G02B26/08 ,  G02B27/09 ,  G02B27/30 ,  G02B27/46

Abstract: 本发明涉及基于DMD强度调制和SLM相位调制的复合光调制系统及方法，属于光学调控技术领域，应用于飞秒激光技术领域。本发明实现方法为：1、飞秒激光器发射光束至扩束镜得到扩束光，扩束光发射至光束准直系统得到准直平行光，准直平行光经反射镜反射通过两个光阑后入射到DMD微镜阵列上；2、利用上位机像素化编程控制DMD强度调制和SLM相位调制，最终得到强度‑相位调制后空间光；3、调制后空间光分别通过第一、二4f系统后聚焦在工作台上，由三维高精度运动台联动控制实现飞秒激光技术的应用。在本发明中DMD强度调制帧率、对比度、光强承载力高，SLM相位调制精度高，两个4f系统提高了系统的稳定性和传输光质量，整个系统实现了高质量强度‑相位独立调制。