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公开(公告)号：CN108441832A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810264173.2
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种离心泵叶轮表面处理方法和设备，包括以下步骤：S1：利用前期处理设备对叶轮表面进行脱油脱脂清洗；S2：利用宽束双加速级金属离子源对叶轮基体进行表面结构异化处理；宽束金属离子源能够引出的束斑直径为800mm，能够满足800mm以内的叶轮的表面/亚表面结构异化处理，产生压应力提高膜基结合力；S3：同时利用金属离子源、磁过滤沉积系统、高功率脉冲磁控溅射系统对叶轮进行表面沉积镀膜。控制公转速度等参数能够方便实现锯齿梯度、渐变梯度、函数梯度膜层的沉积。采用该方法制备的涂层结构能方便实现交替结构变化；相比于传统涂层，该涂层具备高耐气蚀能力，更强的抗裂纹生长能力、以及接近于体材料的膜层致密性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN218666271U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202223048523.2
申请日：2022-11-16
Applicant: 北京师范大学 , 中国人民解放军空军工程大学
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本实用新型涉及镀膜设备技术领域的一种旋转式涂层镀膜设备组件，包括镀膜仓、转动轴、伺服电机、转动盘，转动盘上沿其轴向阵列竖直转动连接有多个旋转轴，旋转轴上端设有定位座，定位座顶部设有凹陷的限位槽，旋转轴下端套接有齿轮，镀膜仓内底壁上安装有安装环，安装环内嵌装有环形内齿轮。通过伺服电机驱动转动轴转动，进而能够使放置在限位槽内的产品进行绕转动轴的转动，同时由于齿轮与环形内齿轮能够进行啮合传动，能够驱动限位槽内的产品绕旋转轴进行转动，使得待镀膜产品的镀膜区域盲区较小，且减少了镀膜厚度不均匀的现象，通过设置浮动板朝上移动，能够将限位槽内的产品顶出，进而方便对镀膜后的产品进行拿取。
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公开(公告)号：CN218666268U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202222901645.5
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京师范大学 , 中国人民解放军空军工程大学
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型涉及镀膜设备技术领域的一种具有翻转结构的涂层镀膜设备，包括底板，底板上竖直设有立板，立板上端水平可转动地穿设有转轴，转轴一端设有固定铰座，固定铰座上沿其轴向阵列铰接有两个夹紧臂，两个夹紧臂由驱动单元驱动其朝转轴的径向内侧翻转，转轴另一端套接有从动齿轮，立板上安装有电机，电机上驱动连接有与从动齿轮啮合传动的主动齿轮，立板上设有用于对主动齿轮转动进行限位的抵紧单元。通过驱动单元驱动两个夹紧臂翻转，进而能够使两个夹紧臂共同夹紧外部的待镀膜产品，操作简便，提高了作业效率，通过设置抵紧单元，能够对主动齿轮进行抵紧限位，这样避免主动齿轮产生自行转动而影响产品的翻转角度。
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公开(公告)号：CN218666270U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202222990350.X
申请日：2022-11-10
Applicant: 北京师范大学 , 中国人民解放军空军工程大学
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本实用新型涉及镀膜设备技术领域的一种涂层镀膜设备用产品夹具，包括底座、伺服电机、旋转部、定位座、固定夹块、活动夹块、夹持空间，活动夹块由平移单元驱动其朝固定夹块的方向移动，定位座周缘上设有弧形凸棱，底座上通过支架设有滚轮，滚轮与弧形凸棱滚动接触。通过伺服电机带动旋转部转动，使得定位座能够进行转动，通过活动夹块朝固定夹块方向移动，进而能够对放置在定位座顶面的产品进行夹持，另外通过定位座的转动，使得滚轮间歇与弧形凸棱滚动接触，滚动接触过程中，能够驱动定位座产生沿其径向的移动，这样使得产品产生水平位移，进而能够减少产品镀膜盲区，避免镀膜厚度不均匀的现象产生，提高了作业的效率。
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公开(公告)号：CN211814630U
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201922187835.3
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置，包括：主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；主支撑架上安装所述旋转部件；旋转部件与阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；阳极与主支撑架连接；第一屏蔽环固定在阳极上，屏蔽阴极靶材和真空室；屏蔽电极包裹阴极靶材，并且阴极靶材的内部设置有永磁体；触发电极安装在屏蔽电极上，并且触发电极与触发电源电性连接。本实用新型提供了一种长条高真空阴极电弧靶装置，实现其能在高真空下稳定、可靠的弧光放电，同时大幅减低起弧时因温度过高而带来的颗粒喷射和提高阴极寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211665167U
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201922166914.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本实用新型克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本实用新型能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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