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公开(公告)号:CN101159234A
公开(公告)日:2008-04-09
申请号:CN200710178369.1
申请日:2007-11-29
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/3063
Abstract: 本发明公开了一种硅片表面图形刻蚀方法,包括如下步骤:1)在硅片表面沉积氮化硅层,然后,刻蚀氮化硅层,在硅片表面形成刻蚀区域;所述刻蚀区域的尺度为0.5-4微米;2)将所述带有刻蚀区域的硅片固定于加有腐蚀液的腐蚀槽中,通电进行阳极氧化反应,在所述刻蚀区域处形成刻蚀图形;所述腐蚀液为氢氟酸和乙醇的混和液或者氢氟酸和二甲基甲酰胺的混和液;通电进行阳极氧化反应的电流密度为5-100mA/cm2。本发明自组装的硅片表面图形刻蚀方法能够非常简便而且有效地在硅表面刻蚀出所需要的图形,所得图形的尺寸在亚微米尺度至纳米尺度范围内,制备过程不需要使用现有光刻技术刻蚀如此量级尺寸所必须的高精密设备,设备、条件要求简单,成本低。
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公开(公告)号:CN1787286A
公开(公告)日:2006-06-14
申请号:CN200510130662.1
申请日:2005-12-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种可应用于超宽带(UWB)高速无线通讯系统的微带天线,包括印刷电路板和固定在其上的平面金属,所述的金属包括信号金属和地平面金属,其特征在于,其中,地平面金属至少为两块,与信号金属一起构成“地-信号-地”共面波导结构。信号金属和地平面金属可以是在印刷电路板的同一板面上,也可以是在印刷电路板的不同板面上。所述的信号金属的形状为酒杯形或酒杯形的变形,包括柄部和杯身,其中,杯身下部的形状为类似倒三角形或梯形。该天线具有低成本,易加工,小体积和高性能的特点。
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公开(公告)号:CN1604460A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN200410009728.7
申请日:2004-10-29
Applicant: 北京大学
IPC: H03B7/02
Abstract: 本发明公开了一种实现射频压控振荡器频率粗调的装置,包括LC谐振回路和用于提供负电导的有源器件,所述LC谐振回路中的电容为三端变容管,该三端变容管的两控制端分别接不同的控制电路。本发明与数字开关电容压控振荡器相比,本发明仅使用单个的三端变容管,省去了额外的固定电容。使用单个的三端变容管将大大的节省芯片的成本。并且,核心电路部分的简化对于减少设计的复杂度,降低相位噪声的设计难度,以及获得稳定可靠的压控振荡器性能具有很大的帮助。
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公开(公告)号:CN1601707A
公开(公告)日:2005-03-30
申请号:CN200410009631.6
申请日:2004-09-30
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/306
Abstract: 本发明公开了一种SOC硅衬底的加工方法,包括:将制作完电路的硅片从带电路一面引出电极引线,并用防HF酸腐蚀的绝缘胶带双面密封,其中不带电路一面的胶带上留有小孔,即是要腐蚀的区域;将制作好的硅片固定于腐蚀槽中的硅片支架上,将硅片上的电极引线接腐蚀电路的阳极,用金属Pt片作腐蚀电路的阴极;向腐蚀槽中加入HF酸、乙醇和水的混合液,溶液的摩尔比为HF∶C2H5OH∶H2O=1∶1∶2;开通腐蚀电路,并使待腐蚀硅片的电流密度保持在5~50mA/cm2范围内,腐蚀时间3~5小时;将加工后的硅片清洗,去除防酸胶带并干燥处理,经测试封装后即可使用。本发明工艺简单、易操作,并且与常规CMOS工艺技术相兼容。
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公开(公告)号:CN1601695A
公开(公告)日:2005-03-30
申请号:CN200410009629.9
申请日:2004-09-30
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种射频平面螺旋集成电感的加工方法,包括,在制作完的电感的硅片的正面引出电极引线,并将其整体用防HF酸腐蚀的绝缘胶带双面密封,背面的胶带上留有小孔;将制好的电感固定于腐蚀槽中的硅片支架上,将所述硅片上的电极引线接腐蚀电路的阳极,用金属Pt片作腐蚀电路的阴极;向腐蚀槽中加入HF酸、乙醇和水的混合液,溶液的摩尔比为HF∶C2H5OH∶H2O=1∶1∶2;开通腐蚀电路,并使待腐蚀硅片的电流密度保持在5~50mA/cm2范围内,腐蚀时间3~5小时;将加工后的硅片清洗,去除防酸胶带并临界干燥处理,经测试封装后即可使用。本发明有效地提高了集成电感的感值和品质因数,并且制造工艺方法简单、易操作。
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公开(公告)号:CN114142854B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202111355021.1
申请日:2021-11-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请涉及一种频率补偿电路、锁相环补偿电路、方法、设备和存储介质。频率补偿电路包括:频率补偿控制电路、误差获取电路、积分电路和补偿信号输出电路。锁相环电路的相位比较电路将输入的时钟信号与分频电路产生的时钟信号进行对比,产生相位误差信号,通过误差获取电路得到频率误差信号,频率补偿控制电路控制将频率误差信号输出给积分电路,并控制积分电路对进行积分处理,得到频率补偿信号,频率补偿信号经过补偿信号输出电路处理得到目标补偿信号,将目标补偿信号输出振荡电路的输入端,从而使得振荡电路跳过频带重叠的部分,自适应消除振荡电路的频带交叠,该方法能够准确、快速地实现与相位、频率的同步,最终产生高质量的连续调频信号。
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公开(公告)号:CN114153136B
公开(公告)日:2023-03-10
申请号:CN202111499143.8
申请日:2021-12-09
Applicant: 北京大学
IPC: G04F10/00
Abstract: 本发明公开了一种基于时钟校准技术的全周期数字时间转换器,其特征在于,包括单转差电路,用于将输入的单端信号转换为差分信号并输入到多相时钟信号产生单元;多相时钟信号产生单元用于根据输入的差分信号生成多相时钟信号并输入可调延迟模块;可调延迟模块用于根据数字模块的输出信号对多相时钟信号进行延迟后输入多路选择器;多路选择器用于根据数字模块产生的开关控制信号选择一组相邻两相信号输出;相位插值器用于根据相邻两相信号产生数控时间信号;时间数字转换器用于计算相邻两相信号上升沿的时间差并输入到数字模块;数字模块用于根据各组相邻两相信号上升沿的时间差生成可调延迟模块对多相时钟信号延迟控制的信号以及开关控制信号。
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公开(公告)号:CN115016243A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210517939.X
申请日:2022-05-12
Applicant: 北京大学
IPC: G04F10/00
Abstract: 本发明公开了一种随机型时间数字转换器的线性度增强方法。所述方法包括:定义随机型时间数字转换器的输入信号坐标系;通过控制比较器阵列内部供电电压,使输入信号产生呈高斯函数的概率分布曲线Group A与概率分布曲线Group B;将概率分布曲线Group A在x轴方向向右平移2δ,将概率分布曲线Group B在x轴方向向左平移2δ,并对处于[‑δ,δ]中的数据进行函数叠加,得到新分布函数;基于新分布函数进行随机型时间数字转换器的信号转换。本发明使得输入信号的线性度被大幅度提高,避免了冗杂的算法校准工作,可以在硅基标准CMOS工艺上单芯片集成。
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公开(公告)号:CN104639580B
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201310556773.3
申请日:2013-11-11
Applicant: 北京大学
IPC: H04L29/08 , H04B13/00 , A61B5/00 , A61B5/0402
Abstract: 本发明公开了一种新型的无线传感器网络通信方法及系统。本方法为:1)将有源传感器设置于待测者身上;所述有源传感器包括一电极,该电极贴于该待测者体表;该待测者体表或该电极上设有一与该电极通信连接的微型收发机芯片;2)所述微型收发机芯片以该待测者为天线接收远程网络中心控制器发送的信号,并将该信号发送给所述有源传感器;3)所述有源传感器根据该信号对该待测者进行数据采集,并将采集的数据发送给所述微型收发机芯片;所述微型收发机芯片以该待测者为天线将采集的数据发送给所述远程网络中心控制器。本发明具有成本低、便捷性好、传输距离远、适用范围广等特点。
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公开(公告)号:CN104639579B
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201310556493.2
申请日:2013-11-11
Applicant: 北京大学
IPC: H04L29/08
Abstract: 本发明公开了一种利用体表信道进行传感器网络能量传输的方法及系统,本方法为:1)在待测者身上设置不含电池的无源传感器,该无源传感器的电极设于待测者体表或体内;在该待测者的身上设置传感器控制器,所述传感器控制器上设有电池和电极,该传感器控制的电极设于该待测者体表上;2)远程无线控制端向所述传感器控制器发送信号,启动所述传感器控制器;3)所述传感器控制器通过其贴于该待测者体表的电极向所述无源传感器发送载波能量;4)所述载波能量通过该待测者的体表信道传输至所述无源传感器的电极;5)所述无源传感器将所述载波能量转换为工作电压为自身提供能源。本发明具有传输效率高、便捷性安全性好、成本低、适用范围广等特点。
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