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公开(公告)号：CN104746109A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510198041.0
申请日：2015-04-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种新型多功能电镀测试架，能同时测试电铸液的分散能力、覆盖能力和整平能力。本发明包括两根支架主梁，两个支架主梁上固定有三组阳极插槽，三组阳极插槽的两侧各固定有一根支架侧梁，两根支架主梁上位于各组阳极插槽之间的位置开设有若干硅片插槽。本发明是综合考量微电铸所需的工艺参数和环境参数，采用国外进口材料GE214制作而成的电镀测试架，为大规模生产电铸液前，测量电铸液的性能参数，定性表征电镀液性能优劣提供了一个方便，提供了一个易操作的检测平台。通过本发明电镀测试架，可用远近阴极法测试电镀液分散能力、运用水浴斜曝光制作V槽测试整平能力、用半内环覆盖法测试覆盖能力。
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公开(公告)号：CN101354283A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810079372.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。
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公开(公告)号：CN100451576C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610012991.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是共振隧穿仿生矢量水声传感器。解决了现有水声传感器的灵敏度和分辨率等指标的提高已达到检测的极限状态，从而限制检测精度提高的问题，该共振隧穿仿生矢量水声传感器，由半导体衬底及其上通过分子束外延技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体构成，半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体固定于十字形悬臂梁的中央，共振隧穿二极管分别设置于十字形悬臂梁四梁上的端部。本发明采用纳米级器件制成，突破了常规微机电器件的极限，模拟鱼类侧线听觉器官的工作原理，最终以单个传感器实现了对水下声源声强的测量。
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公开(公告)号：CN100437051C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510012815.2
申请日：2005-09-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及传感器，特别涉及声传感器，具体为一种共振隧穿微声传感器。本发明解决现有硅压阻式声传感器的压敏电阻都是掺杂多晶硅，其灵敏度较低，温度稳定性较差，无法满足现代测试技术的高精度要求的问题，利用了超晶格量子阱薄膜具有压阻效应的特性。本发明在超晶格薄膜上加工出共振隧穿压敏电阻，将超晶格薄膜的衬底加工成内凹谐振腔的传力结构，并使四块共振隧穿压敏电阻位于内凹谐振腔的边缘。共振隧穿微声传感器是全部采用MEMS工艺加工制作的量子器件，因具有量子效应、表面效应和尺寸效应，而表现出高灵敏度，低功耗、微体积、低功耗和易数字化、环境适应性强、成本低等特点，可适用于各种高灵敏度声学探测领域。
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公开(公告)号：CN1746638A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510012815.2
申请日：2005-09-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及传感器，特别涉及声传感器，具体为一种共振隧穿微声传感器。本发明解决现有硅压阻式声传感器的压敏电阻都是掺杂多晶硅，其灵敏度较低，温度稳定性较差，无法满足现代测试技术的高精度要求的问题，利用了超晶格量子阱薄膜具有压阻效应的特性。本发明在超晶格薄膜上加工出共振隧穿压敏电阻，将超晶格薄膜的衬底加工成内凹谐振腔的传力结构，并使四块共振隧穿压敏电阻位于内凹谐振腔的边缘。共振隧穿微声传感器是全部采用MEMS工艺加工制作的量子器件，因具有量子效应、表面效应和尺寸效应，而表现出高灵敏度，低功耗、微体积、低功耗和易数字化、环境适应性强、成本低等特点，可适用于各种高灵敏度声学探测领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1718533A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510012622.7
申请日：2005-06-23
Applicant: 中北大学
IPC: B81C5/00
Abstract: 本发明为一种微机电圆片级器件电磁驱动加载器，涉及微机电器件(MEMS)特别是微机电圆片级器件的驱动加载装置。本发明解决微机电器件特别是微机电圆片级器件动静态性能测试时无合适的专用驱动加载装置的问题。该微机电圆片级器件电磁驱动加载器由基座平台、固定于基座平台内的铁心、铁心上的绕组线圈和使用时用微夹子固定于被测圆片级器件微结构的质量块上的磁铁薄片构成。本发明所述的微机电圆片级器件电磁驱动加载器能够实现微机电圆片级器件动静态性能测试中的加载。其具有较大的驱动力和行程，适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电圆片级器件动静态加载测试。
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公开(公告)号：CN113598707A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110944552.8
申请日：2021-08-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B3/16
Abstract: 本发明涉及眼压柔性测量技术，具体为一种基于微流控技术的柔性眼压测量卡及测量方法。解决了目前临床眼压检测设备的部分不利因素，例如接触式眼压计容易造成交叉感染、损伤角膜上皮、测试体验差；非接触式眼压计成本高昂，精度偏低等技术问题。所述柔性眼压测量卡包括单螺旋芯片、检测直流道和出口芯片；单螺旋芯片上设有单螺旋通道，螺旋中心呈圆盘状且圆盘顶部开有缓冲液入口；单螺旋通道出口与检测直流道入口连通；出口芯片上设有三个呈圆盘状的出口，所述检测直流道出口处设置两条分支将流道平均分为三部分，中间的支流道与第二出口相连接，第一出口和第三出口对称分布在支流道的两侧并分别通过一个侧流道与检测直流道相连通。
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公开(公告)号：CN110129775B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910413412.0
申请日：2019-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种在硅纳米线阵列上形成Ag颗粒的方法，包括如下步骤：步骤一、制备硅纳米线阵列，然后将制备好的硅纳米线阵列放置在培养皿中；步骤二、将放置有硅纳米线阵列基板的培养皿移至振荡台，设定振动参数；步骤三、将硝酸盐溶液均匀滴加在硅纳米线阵列基板上；步骤四、持续将氨水均匀滴加在硅纳米线阵列基板上；步骤五、将乙醛均匀滴加在硅纳米线阵列基板上；步骤六、使用清洗液清洗硅纳米线阵列基板，该在硅纳米线阵列上形成Ag颗粒的方法，操作简单，使用的仪器简单，制备环境要求低，对材料的要求低，而且制备时间短。
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公开(公告)号：CN108376838A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810322093.8
申请日：2018-04-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于新型柔性超材料吸波器的制作领域，具体为基于PDMS封装技术的微流体超材料结构，其设计思路包括以下步骤：结合常规的“三明治”吸波结构，将原有的介质层替换为PDMS封装的微流体结构；在封装的微流体中选取介电常数与正切角损耗较大的液体进行填充；在封装层的两侧使用溅射工艺，将介质基板与金属图案溅射到两侧，得到柔性吸波材料。本发明中工艺流程，以PDMS封装工艺为基础，可以做到更薄的尺寸；与传统的吸波材料结构相比，PDMS封装的微流体超材料吸波器有更薄的尺寸，制作的材料也具有柔性。
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公开(公告)号：CN107134627A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710426087.2
申请日：2017-06-08
Applicant: 中北大学
IPC: H01P5/18
CPC classification number: H01P5/18
Abstract: 本发明为一种多菱形孔耦合型波导定向耦合器，包括直通波导、耦合波导以及耦合孔；直通波导和耦合波导采用宽边耦合方式，且二者主模面相互平行，直通波导与耦合波导之间相互隔离并且通过耦合孔连通；耦合孔分为两排，两排耦合孔的孔数、孔距都相同，并且两排耦合孔错位排列，每个耦合孔的大小相同且为菱形状耦合孔。本发明耦合器结构简单、易于加工,可以直接采用传统工艺在腔体上加工实现。使用HFSS仿真，结果显示其具有较宽的工作带宽、较强的耦合度且耦合度平坦性良好和较小的插入损耗。相对于传统的波导定向耦合器,本发明耦合器具有体积小、结构简单、强耦合度、低插入损耗、高方向性的特点，能方便的集成在高频段的电路中。
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