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公开(公告)号：CN104953226B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510291579.6
申请日：2015-06-01
Applicant: 中北大学
IPC: H01P5/18
Abstract: 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率不足的问题。基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器，包括第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片；其中，第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片自下而上依次层叠成一体；第二金属T形片的横向部分表面开设有上下贯通的直形波导腔。本发明适用于雷达成像、材料分析、环境监测、大容量通讯等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106946221A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710164125.1
申请日：2017-03-20
Applicant: 中北大学
CPC classification number: B81C1/00166 , B81C1/00015 , B81C1/00849 , B81C2201/01 , B81C2201/0198 , G03F7/0002 , G03F7/162 , G03F7/40
Abstract: 本发明属于柔性传感领域和微纳系统领域，具体为基于“V”型槽阵列电极的柔性压力传感器制作方法。基于“V”型阵列电极的柔性压力传感器制作方法，包括柔性压力传感器“V”型槽阵列电极的制备和碳纳米管/PDMS聚合物的制备，取制得的两个柔性压力传感器“V”型槽阵列电极分别作为上电极和下电极，碳纳米管/PDMS复合薄膜作为中间介电层，封装形成柔性压力传感器。针对金属材料与柔性衬底粘附性差的问题，本发明选用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为柔性衬底材料，金属Ag作为电极材料，并利用plasma工艺对PDMS柔性衬底表面进行修饰处理用于增强金属Ag与PDMS的粘附性，设计的“V”型槽阵列微电极结构有效解决了柔性压力传感器在发生较大形变时金属电极产生断裂的问题。
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公开(公告)号：CN104746109B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201510198041.0
申请日：2015-04-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种多功能电镀测试架，能同时测试电铸液的分散能力、覆盖能力和整平能力。本发明包括两根支架主梁，两个支架主梁上固定有三组阳极插槽，三组阳极插槽的两侧各固定有一根支架侧梁，两根支架主梁上位于各组阳极插槽之间的位置开设有若干硅片插槽。本发明是综合考量微电铸所需的工艺参数和环境参数，采用国外进口材料GE214制作而成的电镀测试架，为大规模生产电铸液前，测量电铸液的性能参数，定性表征电镀液性能优劣提供了一个方便，提供了一个易操作的检测平台。通过本发明电镀测试架，可用远近阴极法测试电镀液分散能力、运用水浴斜曝光制作V槽测试整平能力、用半内环覆盖法测试覆盖能力。
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公开(公告)号：CN104638371A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510064213.5
申请日：2015-02-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及喇叭天线的制作方法，具体为基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法，包括以下步骤：选取基片，基片清洗后旋涂感光胶并紫外光刻，得到喇叭天线阵列的模具；在模具上覆盖一层可固化的柔性材料，待柔性材料固化后揭下模具，得到喇叭天线阵列的主体；在主体正面旋涂一层光刻胶，对光刻胶进行光刻显影，在主体正面留出喇叭腔体的位置，并在此位置进行金属化；剥离牺牲层，得到金属化的喇叭天线阵列模型；在喇叭天线阵列模型背面制作馈线，得到喇叭天线阵列。本发明中工艺流程，以MEMS工艺为基础，可以做到更小的尺寸；与微带线结构的天线阵列相比，喇叭式的天线阵列有更好的辐射性能，主平面内的波瓣也更容易分别控制。
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公开(公告)号：CN104953226A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510291579.6
申请日：2015-06-01
Applicant: 中北大学
IPC: H01P5/18
Abstract: 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率不足的问题。基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器，包括第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片；其中，第一金属T形片、第二金属T形片、第三金属T形片、第四金属T形片、第五金属T形片自下而上依次层叠成一体；第二金属T形片的横向部分表面开设有上下贯通的直形波导腔。本发明适用于雷达成像、材料分析、环境监测、大容量通讯等领域。
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公开(公告)号：CN104746109A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510198041.0
申请日：2015-04-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种新型多功能电镀测试架，能同时测试电铸液的分散能力、覆盖能力和整平能力。本发明包括两根支架主梁，两个支架主梁上固定有三组阳极插槽，三组阳极插槽的两侧各固定有一根支架侧梁，两根支架主梁上位于各组阳极插槽之间的位置开设有若干硅片插槽。本发明是综合考量微电铸所需的工艺参数和环境参数，采用国外进口材料GE214制作而成的电镀测试架，为大规模生产电铸液前，测量电铸液的性能参数，定性表征电镀液性能优劣提供了一个方便，提供了一个易操作的检测平台。通过本发明电镀测试架，可用远近阴极法测试电镀液分散能力、运用水浴斜曝光制作V槽测试整平能力、用半内环覆盖法测试覆盖能力。
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