基于PDMS封装技术的微流体超材料结构

    公开(公告)号:CN108376838A

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201810322093.8

    申请日:2018-04-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于新型柔性超材料吸波器的制作领域,具体为基于PDMS封装技术的微流体超材料结构,其设计思路包括以下步骤:结合常规的“三明治”吸波结构,将原有的介质层替换为PDMS封装的微流体结构;在封装的微流体中选取介电常数与正切角损耗较大的液体进行填充;在封装层的两侧使用溅射工艺,将介质基板与金属图案溅射到两侧,得到柔性吸波材料。本发明中工艺流程,以PDMS封装工艺为基础,可以做到更薄的尺寸;与传统的吸波材料结构相比,PDMS封装的微流体超材料吸波器有更薄的尺寸,制作的材料也具有柔性。

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