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公开(公告)号：CN111843386A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010709509.9
申请日：2020-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种激光复合扫描近场光学显微镜探针的纳米加工方法，先通过磁控溅射仪在硅片基底表面溅射一层银薄膜，然后搭建激光复合SNOM探针加工平台，实现SNOM探针的精准位置控制以及激光与SNOM探针针尖小孔的精确复合加工，最后设置激光参数并在样品表面进行纳米结构加工；本发明同时利用SNOM探针针尖的高精度，以及激光在针尖产生的高瞬时能量等特点对银薄膜表面进行纳米结构加工，工艺简单，加工效率高，可大规模使用，加工产生的结构尺寸满足纳米结构的要求。
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公开(公告)号：CN111716005A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010567580.8
申请日：2020-06-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/352 , B23K26/356 , B23K26/354
Abstract: 一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法，先将SiC陶瓷基复合材料的加工样片表面研磨抛光，超声清洗；再将加工样片固定在超声辅助激光抛光加工装置上，移动平台使激光聚焦到起始加工位置；设置激光参数、振镜扫描参数、超声振动参数和XYZ高精密移动平台的运动参数，打开飞秒激光器和超声发生器，用调好的参数进行加工样片的超声辅助激光抛光加工；抛光完成后，对加工样片再次进行超声清洗；本发明将激光与超声两种加工方法相结合，充分利用了超声波的声流、空化等效应，解决了激光抛光过程中因等离子效应和颗粒粘附效应产生的重铸层、表面裂纹等缺陷的问题，优化了激光加工的进程，提高了材料去除率和抛光表面质量。
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公开(公告)号：CN111673270A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010531980.3
申请日：2020-06-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/382 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 一种利用先进激光系统加工微米半渗透孔防爆阀的方法，先搭建先进激光系统，然后将防爆阀紧固到加工台上，利用计算机调节激光器，通过更改激光器输出激光的功率、单位时间内发出的脉冲数量，物镜与透镜的焦距范围等，使激光在聚焦后照射到防爆阀阀体表面，烧蚀出微米的半渗透孔；半渗透孔拥有出口孔半闭合结构特征，不同尺寸的半渗透孔拥有不同的开度，拥有半渗透孔的防爆阀可广泛应用于水、电、气、热、电池、电容器、超级电容器行业中油水分离阀、油气分离阀、平衡泄压阀等产品；本发明操作简单，可以实现大批量高效率制作。
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公开(公告)号：CN109759728B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201910062438.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/384 , B23K26/18 , B23K26/064
Abstract: 一种利用增加保护层改善微孔形貌的方法，先将保护层材料均匀涂覆或粘贴到样品表面；然后搭建光路，利用电脑调节飞秒激光器输出激光，将带保护层的样片固定在移动载物台加工工位上，调节移动载物台位置，使激光束聚焦于样品保护层上表面，通过调节激光功率、脉冲数、保护层厚度获得表面无损伤的微孔；激光加工完成后，撕掉样品表层保护层，将样品超声清洗；本发明通过增加保护层基本消除了激光束边缘低能量区和烧蚀喷溅物对样品表面的损伤，同时减小了微孔入口处锥度，改善了微孔入口形貌，提高了微孔深径比。
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公开(公告)号：CN110267485B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201910447292.6
申请日：2019-05-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种蒸发‑沸腾毛细芯耦合补液毛细芯组合结构，包括补液通道下基板，补液通道下基板的中部设置有第一凹槽，第一凹槽的中部设置有第二凹槽，第二凹槽的中部设置有槽道，蒸发‑沸腾毛细芯的基底设置在第二凹槽中，蒸发‑沸腾毛细芯的底部溅射有ITO加热膜，绝热材料布置在ITO加热膜的底部，且绝热材料设置于槽道中，补液毛细芯设置在第一凹槽中，且补液毛细芯布置在蒸发‑沸腾毛细芯的四周，补液通道上基板设置在补液毛细芯上侧，补液通道上基板的中部设置有通槽，通槽中设置有纳米蒸发膜，且纳米蒸发膜覆盖在蒸发‑沸腾毛细芯的上侧，补液通道下基板和补液通道上基板之间形成补液通道，且补液通道与补液毛细芯的通道连通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108640104B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201810783438.X
申请日：2018-07-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: C01B32/168 , C01B32/184
Abstract: 一种利用飞秒脉冲激光诱导超级石墨烯网络结构的方法，先将MWCNTs在十二烷基硫酸钠水溶液中超声得到水环境中非共价修饰的MWCNTs，然后将其利用旋涂工艺涂覆到二氧化硅基底表面，将基底在加热台上进行加热去除多余的水分子得到诱导基底，最后将诱导基底进行激光辐照诱导；本发明无需精准定位，工艺简单，加工效率高，可大规模使用，得到的超级石墨烯网络结构的接头光滑。
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公开(公告)号：CN110076458A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910385033.5
申请日：2019-05-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种大幅面激光加工方法，适用于以振镜加工作为主要加工方式的激光加工机床，该激光加工机床包括激光器、振镜、光路系统、机床三轴运动平台、运动控制卡、振镜控制卡和计算机。该方法将超过振镜加工幅面的加工图形自动分割为小于振镜加工幅面的多个小区域，并获得每个区域的加工定位点，之后对每个区域的加工轨迹以及各个小区域之间的定位运动轨迹进行优化，按照优化后的各个小区域的加工顺序进行定位，利用振镜加工各个小区域的图形，直到所有小区域加工完成。本发明实现了大幅面图形的自动分割、轨迹优化以及加工过程控制，简化了大幅面图形的加工过程，提高了加工质量和加工效率。
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公开(公告)号：CN109759728A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910062438.5
申请日：2019-01-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/384 , B23K26/18 , B23K26/064
Abstract: 一种利用增加保护层改善微孔形貌的方法，先将保护层材料均匀涂覆或粘贴到样品表面；然后搭建光路，利用电脑调节飞秒激光器输出激光，将带保护层的样片固定在移动载物台加工工位上，调节移动载物台位置，使激光束聚焦于样品保护层上表面，通过调节激光功率、脉冲数、保护层厚度获得表面无损伤的微孔；激光加工完成后，撕掉样品表层保护层，将样品超声清洗；本发明通过增加保护层基本消除了激光束边缘低能量区和烧蚀喷溅物对样品表面的损伤，同时减小了微孔入口处锥度，改善了微孔入口形貌，提高了微孔深径比。
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公开(公告)号：CN108467009A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810183420.6
申请日：2018-03-06
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: B82B3/0014 , B82Y40/00
Abstract: 一种利用化学自组装制造线宽可控的SWNT规模阵列的方法，先将SWNT在十二烷基硫酸钠水溶液中超声得到水环境中非共价修饰的SWNT；然后在二氧化硅基底表面涂覆聚甲基丙烯酸甲酯，电子束曝光获得PMMA-SiO2基底，将PMMA-SiO2基底进行氧等离子体清洗，浸入氨丙基三乙氧基硅烷和无水乙醇的溶液中，丙酮清洗，再浸入十八烷基三氯硅烷和无水乙醇的溶液中，得到在SiO2表面构筑自组装膜的功能化基底；最后将非共价修饰的SWNT转移到功能化基底表面，确保移液量完全覆盖功能化基底，大气环境中自然蒸发晾干，去离子水超声洗涤，重复转移、晾干、超声洗涤，即得到SWNT规模阵列，本发明组装工艺简单，阵列清晰，SWNT在线宽结构内排列均匀。
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公开(公告)号：CN108321135A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810069645.9
申请日：2018-01-24
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L23/427 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种组合式柱状的芯片强化沸腾换热微结构及其制造方法，包括芯片表面的散热板，散热板上设置有若干组合单元，每个组合单元由五个微柱组成，组合单元中心为圆柱形微柱，圆柱形微柱的四周对称设有四个工字型微柱，每个工字型微柱面向圆柱形微柱以及背向圆柱形微柱的两个面为相同的抛物线曲面，其余两个侧面和顶面均为平面，且每两个相邻的组合单元之间共用一个工字型微柱。本发明可以大大增加汽泡汽化核心数目，显著提高核态沸腾换热性能及临界热流密度。
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