一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法

    公开(公告)号:CN102530841B

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201210014024.3

    申请日:2012-01-17

    Abstract: 本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法,其特征在于,以高精光学玻璃元件为研究对象,在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上,结合湿法腐蚀工艺,采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀,从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。

    一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN101726526B

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN200910219073.9

    申请日:2009-11-20

    Abstract: 本发明涉及SO2气体传感器领域,公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器,包括硅基片,依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网,所述导电膜连出第一引线,Pt网连出第二引线。本技术方案的中,所述导电膜为Al膜;其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术,工艺简单,实现方便。

    封闭空间内空气质量监测及净化装置

    公开(公告)号:CN103170240A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201310061339.8

    申请日:2013-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种封闭空间内空气质量监测及净化装置,包括由光触媒模块、置于光触媒模块上侧面上方的紫外光模块、置于光触媒模块侧面的风扇,其特征在于,光触媒模块置于相互平行的前板与后板之间;紫外光模块、风扇与一个监测与控制模块的控制输出端相连接,该监测与控制模块的输入端则与一个空气探测模块相连接,空气探测模块由安装在后板里面的气体传感器组成,气体传感器至少包括两个,分别用于探测甲醛、氧气的浓度;前板外面设有显示器与监测与控制模块的显示输出端相连接,所述监测与控制模块置于光触媒模块与后板之间。

    一种加热丝嵌入式硅基微热板及加工方法

    公开(公告)号:CN102730621A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210199078.1

    申请日:2012-06-15

    Abstract: 本发明公开了一种加热丝嵌入式硅基微热板及制备方法,所述微热板采用硅基材料制备,易于MEMS加工工艺上的实现。其特征在于,在传统“三明治”夹层结构的基础上,将加热丝埋入到基底绝缘膜层中,通过周围致密绝缘膜层对加热丝的约束作用,减小了加热丝与绝缘层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响,同时有效的缓解电迁移对加热丝变形的影响,从而提高微热板在高温工作时的稳定性。

    脆性材料亚表面损伤层微裂纹全息反演检测方法

    公开(公告)号:CN102426170A

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201110270926.9

    申请日:2011-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种脆性材料亚表面损伤层微裂纹全息反演检测方法,其特征在于,对脆性材料腐蚀后表面采用分形插值方法进行重构,应用了分形插值理论的自相似性原理,充分刻画出腐蚀后表面的复杂微观形貌,在应用分形插值法重构腐蚀后材料表面基础上,采用有限差分法对亚表面损伤层微裂纹的形成与生长过程进行反演模拟,不仅可以得到亚表面损伤层微裂纹的深度,还可以得到微裂纹的大小、方向等全部信息。在获得亚表面损伤层微裂纹全息分布特征的基础上,提出全面完备的亚表面损伤层微裂纹全息分布特征的综合表征体系。

    曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具

    公开(公告)号:CN101482405B

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN200910020925.1

    申请日:2009-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种曲面样品基底涂层厚度的测量方法及样品装卡工具,首先用一个专用曲面样品装卡工具装卡曲面样品;然后调节样品安装板的位置及前后倾角,并调节曲面样品装卡工具旋转机构的左右倾角,使磨削球能够接触到曲面样品被测曲面;采用与平面样品同样的方法对曲面样品被测曲面两个曲率半径相同的不同的点进行磨削,得两个大小不同的椭圆磨痕;测量磨痕膜/基结合处和涂层表面的长轴尺寸,利用本发明推导的计算公式即可获得涂层的厚度及误差范围。采用本发明所设计的样品装卡工具,利用现有球磨法测平面样品涂层厚度的设备可精确的测量曲面样品涂层厚度,操作方便、测量成本低。

    六氟化硫分解产物检测气室、动态循环检测系统及方法

    公开(公告)号:CN117419977A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311318490.5

    申请日:2023-10-12

    Abstract: 公开了一种六氟化硫分解产物检测气室、动态循环检测系统及方法,六氟化硫分解产物检测气室的进气口和出气口分别与整流孔板连接,六氟化硫分解产物通过整流孔板扩散进入检测气室,均匀分布于气室内部空间中,提高气室中互补传感阵列信号采集的稳定性。动态循环检测系统包括气路发生装置、干燥装置、压力缓冲装置、检测气室和增压回充气路,具有动态采集和循环检测功能;该系统还包含真空辅助旁路,信号转换模块与数据处理和显示模块,具备互补传感阵列信号特征提取与混合气体分类识别功能,提高检测系统的检测精度与鲁棒性。该检测气室结构简单,系统功能完备,可实现气体绝缘开关设备低功耗、高效率的实时监测。

    薄膜固体电解质电流型 SO2 气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN104483367B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201410748961.0

    申请日:2014-12-08

    Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜固体电解质的微型电流型SO2气体传感器及其制备工艺,其特征在于,在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO2加热及测温元件,在Al2O3陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Li3PO4固体电解质层、Au或Pt金属电极,并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li2SO4/V2O5和参比电极Li2TiO3/TiO2,并在反应电极上方制备扩散阻碍层,最终形成固体电解质SO2气敏元件。制成的芯片通过金胶烧结固定在Al2O3陶瓷基座上,基片上溅射有Au以便于引线。所述传感器共有两个输入信号和两个输出信号,Al2O3陶瓷基座的输入信号用于为加热器供电,输出信号用于温度信号的反馈,气敏元件的输入信号为恒压信号,输出电流信号与环境SO2的浓度相关。

    厚度可调的切片装置
    70.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105345856A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510740674.X

    申请日:2015-11-04

    CPC classification number: B26D1/09 B26D7/2628

    Abstract: 本发明公开了一种厚度可调的切片装置,多个刀座之间设有弹簧组,位于两端的刀座通过拉绳与厚度调节装置连接;刀座上通过连接螺钉固设有刀片,刀座还与往复升降驱动装置连接;与刀片相对的位置设有物料座板。所述的厚度调节装置中,固设在调节座的支承座上支承有丝杆,螺母与丝杆螺纹连接,螺母与拉绳固定连接,丝杆上设有用于驱动丝杆旋转的调节头或电机。本发明提供的一种厚度可调的切片装置,通过设置的厚度调节装置,能够方便地调节刀片之间的间距,从而调节切割的物料的厚度。

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