一种电热驱动光刻胶微夹钳的制作方法

    公开(公告)号:CN101759137A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN200910249060.6

    申请日:2009-12-31

    Abstract: 本发明一种电热驱动光刻胶微夹钳的制作方法属于微制造技术领域,特别涉及电热驱动微夹钳的制作方法。本发明采用的光刻胶为SU-8胶,制作方法的步骤包括:氧化,涂胶I,曝光I,显影I,溅射金属,涂胶II,曝光II,显影II,腐蚀。微夹钳电极内嵌在SU-8胶中,通过一侧暴露的部分向外引线连接电源。采用的硅片为单晶硅片或多晶硅片;硅片氧化厚度、硅片尺寸和参杂浓度可任意改变。制作工艺步骤简单,加工成本较低,加工周期短,可批量生产。制作的电热驱动微夹钳,钳口位移量大,钳体温度低。适用于对微小零件进行微操作或微装配,而且可以直接对细胞操作,在微操作手术中具有广泛的应用价值。

    一种拓扑优化柔性微夹钳
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101717063A

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200910220057.1

    申请日:2009-11-19

    Abstract: 本发明一种拓扑优化柔性微夹钳,属于微机电系统技术领域中的微执行器类,是一种柔性电热驱动微夹钳。柔性微夹钳由位移放大部分和驱动部分组成,柔性微夹钳为整体结构,钳体左右对称。位移放大部分M采用拓扑优化方法设计,位移放大部分M包括为任意空心三角形结构的左、右三角形构件和柔性杆。驱动部分包括V型梁阵列,左、右驱动固定杆,左、右电极。该微夹钳结构类型独特新颖,输出位移大,响应速度快,控制简单,便于集成,在夹持物体过程中不需要施加驱动,有效节能,非常适用于夹持微小物体进行微装配、微操作等。

    基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法

    公开(公告)号:CN101695992A

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200910187860.X

    申请日:2009-10-11

    Abstract: 本发明基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法属于微制造技术领域,特别涉及一种基于体硅工艺的微夹钳制作方法。采用体硅加工技术制作出具有较大深宽比微结构的电热驱动微夹钳,包括以下步骤:预处理;光刻释放窗口图形;用湿法刻蚀工艺刻蚀下表面二氧化硅;光刻钳体图形;用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀上表面二氧化硅;用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀释放窗口;用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀钳体;去除表面二氧化硅;溅射金属电极;完成硅微夹钳制作。本发明具有制作成本较低,加工周期较短,可批量生产,具有强度高和便于与微电子线路实现集成化。

    基于非正交多址接入的无人机跨区域覆盖协同设计方法

    公开(公告)号:CN115665758B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202211292811.4

    申请日:2022-10-21

    Inventor: 黄香港 赵楠 张然

    Abstract: 本发明提供一种基于非正交多址接入的无人机跨区域覆盖协同设计方法,属于下行通信的网络速率优化领域。在一个基于非正交多址的无人机通信网络中,单架无人机为地面多个区域内的若干用户提供下行无线通信服务。基于此模型,本发明提供一种联合优化用户匹配、区域调度、无人机轨迹和发射功率的设计方法:通过用户位置建立信道差异矩阵,再利用Kuhn‑Munkres算法确定用户匹配,接着迭代优化区域调度、无人机轨迹和发射功率,进而最大化通信网络的总速率。本发明通过合理地设计用户匹配、区域调度、无人机轨迹和发射功率,在满足约束条件下,能够根据模型参数以最大化基于非正交多址接入的无人机通信网络的总速率。

    一种分布式偏振光全球定位测量系统

    公开(公告)号:CN114076594B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202010848374.4

    申请日:2020-08-21

    Abstract: 本发明属于分布式传感器、偏振光导航技术和自主全球定位测量领域,提供了一种分布式偏振光全球定位测量系统,主要由主设备、从节点设备和数据总线组成,其中从节点设备作为传感器测量设备,以分布式结构挂载在数据总线上;主设备作为控制设备,通过数据总线命令获取各从节点设备测量数据,进行数据解算与显示交互操作。通过该分布式偏振光定位测量系统,运用所述的偏振光定位传感器进行多方位或多设备测量,无需外部设备,可自主获得测量点的实时位置信息;配合所述的分布式多设备同步测量方案,能够实现传感器在复杂测量架构下的单总线同步测量。据此,该偏振光定位测量系统具有测量精度高、实时性好、鲁棒性强、设计灵活的特点。

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