一种全息光栅扫描光刻曝光量监测装置及调整方法

    公开(公告)号:CN111708258B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202010640570.2

    申请日:2020-07-06

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 一种全息光栅扫描光刻曝光量监测装置及调整方法,涉及全息光栅制作领域。解决现有全息光栅扫描光刻曝光量工艺参数控制性差,光栅制作效率低,且采用静态监测方法,无法满足使用要求等问题,监测光源发出的监测激光用于曝光量监测,电控光闸控制监控激光入射到潜像光栅上,形成监测光斑;监控激光经由潜像光栅产生一级潜像衍射光,一级潜像衍射光经过滤光片,进入光电探测器;位移速度测量系统获取工作台Y向位移及速度,作为对曝光量进行控制的参数;控制器控制电控光闸的打开和关闭,控制同一触发信号同步采集位移速度测量系统和光电探测器的输出数据。本发明可实现全息光栅扫描光刻过程中曝光量的有效监测,保证曝光量工艺参数可控性。

    基于近轴像差理论的多光路光学系统初始结构搜索方法

    公开(公告)号:CN111679428B

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202010596688.X

    申请日:2020-06-28

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 基于近轴像差理论的多光路光学系统初始结构搜索方法,涉及光学仪器领域。解决现有多光路复合光学系统在设计与优化过程中,选取的初始结构对后续优化结果影响较大,且现有方法只能对单个系统的初始结构计算,无法实现多个光路的焦距分配与像差校正等问题,本发明利用主反射镜、薄透镜和平行平板的相关像差理论,完成了折反光路和两反光路的近轴像差公式的推导。建立了由光学系统结构布局约束条件、光焦度分配、近轴像差组成的多光路复合光学系统目标函数,并求解目标函数最优解的问题。实现初始结构的快速搜索。本发明的搜索方法具有良好的轴上像差校正特性,光机结构参数合理紧凑,适合多光路多焦距复合光学系统初始结构的建立和光学优化。

    一种一体化导航敏感器

    公开(公告)号:CN110133677B

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201910561196.4

    申请日:2019-06-26

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种一体化导航敏感器,包括镜头组件、近距离高精度测距机、高峰值功率激光器、PSbox、电控组件;镜头组件包括主支撑部件、前光路部件、后光路部件和外罩部件,主支撑部件上方设置有外罩部件,前光路部件位于外罩部件左端,外罩部件右端竖向方向设有主反射镜;后光路部件位于主反射镜右端,后光路部件包括红外后光路部件、棱镜部件、可见后光路部件,棱镜部件安装在主反射镜前侧,红外后光路部件位于棱镜部件上方;可见后光路部件位于棱镜部件右端。能够提高信噪比、成像质量和位置精度,保证稳定性和整机谐振频率,降低热控措施难度。

    基于双目异光源测距装置的目标测距方法

    公开(公告)号:CN111998823A

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN202010871215.6

    申请日:2020-08-26

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了基于双目异光源测距装置的目标测距方法,涉及异光源测距技术领域,解决了现有测距精度低的问题,包括步骤一、获得可见光相机拍摄的可见光图像和近红外相机拍摄的近红外图像,根据可见光图像获得可见光测距结果Lv,根据近红外图像获得近红外测距结果Lr,根据可见光图像和近红外图像获得双目测距结果Ls;步骤二、判断可见光是否充足并采用误差函数E对Lr进行误差补偿得到最终测距结果L,若可见光充足,则E为根据多个Lr对BP神经网络进行训练获得;若可见光不充足,则E为根据多个Lr、Lv和Ls的组合对BP神经网络进行训练获得。本发明无论是光照是否充足的情况下测距精度高,测距精度相比于单目测距和双目测距均有较大的提升。

    一种双目视觉探测系统结构优化方法

    公开(公告)号:CN110598834A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910886407.1

    申请日:2019-09-19

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种双目视觉探测系统结构优化方法,包括以下步骤:建立双目探测系统性能分析模型;分析系统结构对测量精度的影响;指标参数影响分析;结构参数优化;仿真分析,建立双目系统精度分析结构模型,得到了双目结构的结构参数与系统指标参数的关系,而后分别对双目系统指标参数单变量数值分析,确定了各结构参数对指标参数的影响,最后在符合实际工业要求且保证有效视场与分辨率情况下通过设置优化目标函数,应用改进粒子群优化算法,得到了双目结构参量的最优解,通过这一方法,解决了原始的由人工经验设计的双目系统结构所造成的结构不确定性,使得双目系统结构的设计有据可依,提高了双目探测系统的测量精度。

    一种一体化导航敏感器

    公开(公告)号:CN110133677A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910561196.4

    申请日:2019-06-26

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种一体化导航敏感器,包括镜头组件、近距离高精度测距机、高峰值功率激光器、PSbox、电控组件;镜头组件包括主支撑部件、前光路部件、后光路部件和外罩部件,主支撑部件上方设置有外罩部件,前光路部件位于外罩部件左端,外罩部件右端竖向方向设有主反射镜;后光路部件位于主反射镜右端,后光路部件包括红外后光路部件、棱镜部件、可见后光路部件,棱镜部件安装在主反射镜前侧,红外后光路部件位于棱镜部件上方;可见后光路部件位于棱镜部件右端。能够提高信噪比、成像质量和位置精度,保证稳定性和整机谐振频率,降低热控措施难度。

    一种旋转式全自动成筒后档案袋封底和压瘪方法及其装置

    公开(公告)号:CN108312638A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810204848.4

    申请日:2018-03-13

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种旋转式全自动成筒后档案袋封底和压瘪方法及其装置,属于包装机械技术领域。将已经制成筒状的档案袋雏形,套入矩形中空模具上。8个矩形模具均布固连在槽轮机构驱动的轮毂上,轮毂与槽轮机构的从动槽轮固连。槽轮机构驱动模具旋转到不同工位,依次完成封底的各道工序。压瘪则是将封底后的档案袋导入收敛的喇叭状滑道内,依靠逐渐收缩的滑道间隙将档案袋进行压瘪,以方便收集包装。本发明提供的方法和机构,能够全自动完成档案袋封底和压瘪,操作简单,高效可靠,是整个档案袋全自动生产线的重要环节。

    一种多自由度并联随行机构及其驱动方法

    公开(公告)号:CN106078698B

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201610662288.8

    申请日:2016-08-14

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种多自由度并联随行机构及其驱动方法,属于多自由度并联随行机构。支架和滑轨组件固定在试验平台上,上支撑板安装在支架上,上板固定在上支撑板上,主运动组件和随行运动组件通过虎克铰安装在上板上,圆柱滑轨组件中的滑块与滑轨组件中的滑轨配合连接,并且其圆柱滑轨两端通过转动副与运动组件伸缩杆套筒上固定的连接件连接,两运动组件内侧的伸缩杆通过连杆连接,连杆两端以转动副将主运动组件和随行运动组件的连接件连接;通过上位机驱动虎克铰驱动电机和伸缩杆驱动电机,改变主动平台的位姿,同时,使随行运动组件同步完成运动。优点是结构新颖,能够完成对主运动组件空间运动的随行,增多了可随行运动的自由度。

    一种星载APS相机数字域TDI加复线阵成像方法

    公开(公告)号:CN106603927A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201710016799.7

    申请日:2017-01-10

    Applicant: 吉林大学

    CPC classification number: H04N5/372 H04N5/23248 H04N5/2327

    Abstract: 本发明为克服现有成像方式中存在的目标图像因遥感卫星自身的颤振而模糊的问题,并提供颤振反演的依据,提供了一种星载APS相机数字域TDI加复线阵成像方法,步骤如下:步骤一、将APS相机中的CMOS图像传感器划分为两大相邻的功能区域:TDI技术成像阵列区域和复线阵成像区域;步骤二、确定TDI技术成像阵列区域中TDI技术成像阵列的级数n;步骤三、拍摄目标汇聚到CMOS图像传感器上,CMOS图像传感器对拍摄目标曝光后产生电荷信号;电荷信号经过运算放大器与A/D转换器后转换为数字信号并存储到数据缓存模块中,由FPGA模块控制输出3幅图像;本方法可以为实现颤振反演提供3幅图像,且成像速度快、精度高、实现简单,满足未来卫星的一体化、集成化发展要求。

    基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法

    公开(公告)号:CN119915243A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202510090910.1

    申请日:2025-01-21

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明适用于测量技术领域,提供了基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法,包括干涉测量模块、改进PSF测量模块、半透半反镜和CGH,所述CGH用于对干涉测量模块和改进PSF测量模块进行相位调制,所述CGH包括改进PSF测量相位部分、倾角测量相位部分和定位全息相位部分。本发明利用计算机生成全息图(CGH)的可分区特性,实现了系统光机元件相对位置的精确标定,有效降低了由加工或测量系统装配过程中产生的固有误差。本发明展现出结构模块化、实时响应及高精度测量等优势,特别适用于对光学元件的姿态进行高精度测量,从而显著提升了高端装备加工平台以及光学制造装调过程中的精度与稳定性。

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