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公开(公告)号：CN108106771B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201711228380.4
申请日：2017-11-29
Applicant: 清华大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 一种基于微/纳米薄膜的电涡流力/变形/压力检测方法，其特征在于：所述检测方法包括：将微/纳薄膜置于被检测物的表面或嵌入其内侧，为提高检测灵敏度也可在微/纳薄膜表面或内部制作微纳结构；设置检测电路，将所述检测电路的检测单元置于所述被测物外侧，所述检测单元产生交变磁场；被检测物受力/变形/压力的变化会导致微/纳米薄膜产生变形，从而导致了微/纳米薄膜上感应电流发生变化，感应电流发生变化后，进而导致所述检测单元中的电感线圈的阻抗发生变化，基于所述阻抗变化即可感测被测物的力/变形/压力变化。该检测方法以无线、无源的检测方式实现信号检测，且方法中传感器的结构简单，稳定性高、可实现高灵敏度非接触的应变、应力、压力等信号测量。
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公开(公告)号：CN109626319A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910025937.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B81B7/0032 , B81C1/00261 , B81C1/00373
Abstract: 本发明提供了一种植入式器件及其封装方法。所述植入式器件包括器件本体和设置在所述器件本体外围的封装结构，其中，所述封装结构包括包覆在所述器件本体上的第一保护层和位于所述第一保护层外围的第二保护层，并且其中，所述第一保护层和所述第二保护层中的一者为致密的纳米级防止液体影响的涂层，所述第一保护层和所述第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层。本发明的植入式器件及其封装方法结合了微米和纳米两种涂层的优点，具有封装尺寸轻薄、防液体侵入效果好、对器件本体影响小等优点，并且在一定程度上能提高器件的精度，可满足器件长期植入并正常工作的要求。
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公开(公告)号：CN105036052B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510303559.6
申请日：2015-06-04
Applicant: 清华大学
IPC: B81B1/00
Abstract: 本发明公开了属于微纳制造技术领域的一种带取向性结构的微针尖及其连续输运液体的方法。微针尖呈尖端细而根部粗的锥形，微针尖的表面制作有取向性的微纳沟槽状结构。在带有微纳沟槽状结构的微针尖上放置或补充液滴，液滴在表面张力的作用下自发运动到微针尖的储液位置；带有液滴的微针尖在移动装置的控制下运动到目标位置；液滴在微针尖表面的微纳沟槽状结构的毛细作用力作用下，顺着微针尖向下流淌至目标位置的基底上。液滴在目标位置的基底上经固化及堆叠可形成图案或立体结构。本发明能够实现自底向上的精密制造,相对于现有技术，具有连续性好、尺寸可控、设备简单、分辨率高、应用范围广的优点。
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公开(公告)号：CN106092832A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610404157.X
申请日：2016-06-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01N13/02
CPC classification number: G01N13/02 , G01N2013/0208
Abstract: 本发明公开了一种测量接触角的光学测量方法，包括：选取一带有待测液滴的基底平面；应用可变波长的单色光源对待测液滴进行照明，从而在待测液滴表面产生干涉条纹；在可变波长的单色光源发出的单色光的波长从λ变化到λ+Δλ的时间间隔内，对条纹的移动个数k进行计数；通过条纹的移动个数k、待测液滴的折射率n和光源的波长λ得出待测液滴的高度h；测得待测液滴在基底平面上的沿与基底平面垂直的方向上的投影区域的俯视直径d；通过待测液滴的高度h与俯视直径d得出待测液滴的接触角θ。本发明可以在俯视观察的条件下简单、精确地测量出小液滴的接触角，能够弥补常见的通过侧面观察测量接触角的方法的不足之处。
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公开(公告)号：CN102344115A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110295705.7
申请日：2011-09-28
Applicant: 清华大学
CPC classification number: H01L24/82 , H01L2224/32245 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/07802 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了精密加工技术领域中的一种基于蘸笔原理的微纳尺度连接方法，用以解决常用的微纳尺度结构的固定和连接方法存在的不足。包括对基底和待固定样品进行处理，使其基底和待固定样品处于亲胶状态；在探针表面包覆一层液体胶；在基底上确定需要连接的位置，控制探针与基底接触，使探针与基底之间形成液桥。在表面张力的作用下，通过控制探针直径、接触时间等参数实现微米甚至纳米尺度胶滴在基底的形成，从而实现基底和待固定样品微纳米尺度的连接。本发明与常用的微纳尺度结构的固定和连接方法相比，具有胶滴在微/纳米尺度方便可控、对样品无污染和损伤、无需真空和超净环境以及成本低廉等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100376123C
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200510056940.3
申请日：2005-03-24
Applicant: 清华大学
IPC: H05H3/02
Abstract: 本发明提供一种原子芯片用原子束的发生方法和装置。该装置包括真空室、原子源、二维微调台、磁铁和内外光路系统：内外光路系统中包括主激光器和再泵浦激光器：真空室内安装有中心带有孔的1/4波片反射镜组和直导线组；磁光阱中采用光学泵浦激光和再泵浦激光将原子制备到最优弱场搜寻态上。本发明装置体积小、结构简单，能够为原子芯片提供最优弱场搜寻态、纵向速度低且分布均匀、横向速度几乎为零、密度高的原子束，可应用于原子在芯片上导引、分波、干涉、原子钟以及玻色-爱因斯坦凝聚(BEC)研究。
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公开(公告)号：CN1333622C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200410096603.2
申请日：2004-12-02
Applicant: 清华大学
IPC: H05H3/02
Abstract: 本发明涉及一种冷原子束产生方法和装置，该方法包括在抽真空的真空室内，加热热原子源，在真空室中形成相应的原子饱和蒸汽压气氛；采用三维MOT对热原子进行冷却，冷却到200μk以下，并被捕获形成冷原子云团；通过三维MOT中开小孔的四分之一波片反射镜，而使得在该方向上激光辐射压力不平衡，使冷原子沿此方向出射；在冷原子束出射方向上，还置有载有彼此电流方向相反的四根成锥形排列的直导线，从而原子出射时将在磁场的作用下，不会沿横向膨胀而向前射出；便得到了出射速度低的、通量较大的、横向速度非常小的连续冷原子束；同时在冷原子束的出射方向上，设置有与原子束垂直的激光束，用于原子束的态制备，实现态一致的出射冷原子束。
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公开(公告)号：CN1632486A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200410091549.2
申请日：2004-11-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极，下硅片上表面与隧穿阳极对应位置处生长有隧穿阴极，隧穿阴极表面生长具有多薄层结构的隧穿结，多薄层结构由绝缘体性材料和金属性材料交替结合而成，或由不同带隙的半导体材料交替结合而成。本发明还公开了制造所述微机械力传感器的方法。本发明所述微机械力传感器具有灵敏性高、功耗低、噪声低、温度系数小等优点，而且加工工艺简单，适合大批量生产，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN207936978U
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201820253215.8
申请日：2018-02-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种制备工艺简单、成本低且灵敏度高的新型纸基传感器。该纸基传感器不仅选用纸作为基底，并充分利用纸表面的微纳结构实现传感器的高灵敏度测量，同时通过折叠等方法可实现大变形的测量。所提出的纸基传感器主要用于力学量及其相关信号的检测，根据测量原理可分为电容式和电阻应变式传感器。它们可利用常用的裁剪、粘接等非常简单的方法制作，具有工艺简单、成本低、绿色环保、还可根据测试需求制作出各种形状和尺寸的优点。另外，根据纸张轻且易折叠、可通过打印、书写、印刷等方法进行图案化的优点，可批量、低成本的在纸上制作电极、引线、敏感单元、变形单元等结构。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216317591U
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202122397230.4
申请日：2021-09-30
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/03
Abstract: 本实用新型涉及医疗器械技术领域，特别是涉及一种生命体内压力监测装置。该生命体内压力监测装置，包括微管道和压力检测单元；所述微管道的一端能够穿刺进入体内与被测体液直接接触；另一端与所述压力检测单元连接。本实用新型的生命体内压力监测装置通过微管道刺入生命体内的一端与被测体液直接接触，使被测体液通过微管道传导至压力检测单元进行感测和测量，极大的缩短了被测体液至压力检测单元之间的距离，降低了压力损失，减小了误差，提高了测量精度。
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