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公开(公告)号：CN103580530A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310508572.6
申请日：2013-10-24
Applicant: 清华大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了属于微能源和微机械加工技术领域的一种基于摩擦微结构的静电式摆动运动能量收集器。此能量收集器由为外壳和内部收集器件组成，所述内部收集器件包括感应电极、绝缘层、摩擦层和滑块；在感应电极上依次设置绝缘层、摩擦层，摩擦层上具有滑块，滑块与摩擦层的接触面粗糙；感应电极固定在外壳底部上，在外力带动下外壳运动，使内部的滑块依靠自身惯性作用与摩擦层之间产生相对运动，诱发摩擦起电机，然后通过感应电极输出电能，收集摆动运动能量。本发明的运动能量收集器采用非谐振的结构以获得宽响应频带，覆盖了低频响应区。通过插入绝缘层在两感应电极间获得极大的绝缘电阻，使器件输出特性近似于理想电流源，具有很大的带载能力。
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公开(公告)号：CN102983775A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210442386.2
申请日：2012-11-08
Applicant: 清华大学
IPC: H02N1/06
Abstract: 本发明属于能量收集与转换装置技术领域，特别涉及一种球体驱动的静电式振动能量收集装置。该装置由球体、驻极体、电极和接触结构组成；驻极体与接触结构构成腔体，球体放置在所述腔体内；球体在驻极体上表面滚动，其运动受接触结构调节；所述电极在驻极体下表面。驻极体为具有电荷存储能力的电介质材料构成，电极由电阻率不超过2×10-6Ω·m的导电性材料制成。驻极体和所述接触结构还可以以固连方式级联，形成阵列式装置。本发明适用于低频、宽频带的面内振动、离面振动、俯仰激励和冲击激励，可以高效收集环境振动能量。
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公开(公告)号：CN102935993A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201210331607.9
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种二维电子材料单臂梁器件及其制备方法，器件包括：衬底；衬底上形成有第一金属电极图形；衬底和第一金属电极图形上形成有介质层，介质层形成有第一通孔图形；介质层上形成有第二金属电极图形，第二金属电极图形中的第二金属电极未覆盖第一通孔图形中的第一通孔；第二金属电极图形上形成有二维电子材料图形，二维电子材料图形中的二维电子材料层部分覆盖位于第一通孔一侧的第二金属电极上、且部分悬空于该第一通孔中；二维电子材料图形和第二金属电极图形上还形成有欧姆接触层图形，欧姆接触层图形中的欧姆接触层覆盖在二维电子材料层与第二金属电极重叠部位的上方、且该欧姆接触层与该第二金属电极接触。本发明器件制备工艺简单。
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公开(公告)号：CN102867753A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210331121.5
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/28 , H01L29/45
Abstract: 本发明公开了一种基于倒置工艺的射频功率管及其形成方法，该方法包括：提供衬底；形成过渡层；形成源极连接线、漏极连接线和栅极连接线；在过渡层之上形成层间介质层，层间介质层填充在连接线之间；在层间介质层之上形成金属接触层，金属接触层与连接线相连；刻蚀金属接触层以形成互相平行的N个源极、N个漏极和2N-1个栅极，其中，源栅漏极按照源极-栅极-漏极-栅极的顺序依次相邻排列，N个源极与源极连接线相连，N个漏极与漏极连接线相连，2N-1个栅极与栅极连接线相连；形成栅极介质层；以及形成石墨烯薄膜作为沟道层。本发明的方法采用倒置工艺，易于实现、稳定可靠；本发明的器件具有倒置结构，源漏接触小、栅控能力强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102865938A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210331662.8
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明公开了一种热电偶及其形成方法，该方法包括：提供衬底；在衬底之上形成介质层；在介质层之上形金属层；对金属层进行光刻及刻蚀处理以形成第一压焊块、第二压焊块和热偶金属条，其中第二压焊块与热偶金属条相连；在介质层之上形成碳基薄膜，其中，碳基薄膜的一端与压焊块接触，另一端与热偶金属条接触；在第一压焊块形成第一金属接触，并在第二压焊块之上形成第二金属接触。本发明的热电偶采用石墨烯，具有很高的塞贝克系数，且可以通过栅电压进行调制，因此制作的热电偶灵敏性高；利用气压形成的碳基薄膜平整、致密、质量好；形成碳基薄膜之后的工序少，对碳基薄膜的沾污或损害少；最终形成两面夹结构的电极，强度更大，接触电阻更小。
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公开(公告)号：CN101359882A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810119212.6
申请日：2008-08-29
IPC: H02N2/18 , H01L41/113
Abstract: 本发明公开了一种谐振频率可调的压电振动能量收集装置，属于能量转化与收集技术领域。该装置采用支撑基片作为振动结构，通过固定在其上的压电材料来收集振动能量。该装置采用固定的质量块和可动的质量块相结合的方式，在较大范围内简单、精确地调节装置的谐振频率，使其与环境振动保持机械谐振，以最大化振动能量收集能力。根据本发明实现的能量收集装置，能够在较大频率范围内适用于不同的振动环境，可与传感器等相结合，使传感器具有自供电的能力。
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公开(公告)号：CN113405685B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202110535196.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于温度测量领域，特别地涉及一种基于PEDOT‑ZnO纳米异质结的温度传感器。本发明所述温度传感器以PEDOT的纳米材料和ZnO的纳米材料形成的纳米异质结作为温度敏感元件。本发明所述的温度传感器与现有的PN结温度传感器相比，测温范围宽，可实现‑60～+90℃范围的测温，具有较高的灵敏度和准确度，而且本发明的温度传感器与其他传感器具有更低的能耗更高的稳定性。
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公开(公告)号：CN108548783B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201810210189.5
申请日：2018-03-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种化学成分检测系统和检测方法，该化学成分检测系统包括微流控芯片和检测处理模块；通过在微流控芯片中设置微泵、第一微管道、超过四个可关闭的液体进出口和光学检测单元安装腔，并将液体进出口分别连接至待检测液和不同的测试液，通过微泵更换第一微管道内的液体，再通过微泵和液体进出口的开合决定进入第一微管道内测试液的种类和量，最后通过安装在光学检测单元安装腔的光学检测单元获取待检测液中化学成分的相关数据以获得检测结果；从而实现了一个检测系统同时对多个化学成分的参数的检测，又由于微流控芯片具有体积小，消耗试样和试剂极少的特点，微流控芯片可在待检测液中多点分布设置，以实现同时对多点的化学成分的检测。
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公开(公告)号：CN109998526A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910277117.7
申请日：2019-04-08
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/0402 , A61B5/0408 , C01B32/184
Abstract: 本发明公开了一种基于石墨烯电极的12导联透明心电带制备方法及装置，其特征在于，该方法包括以下步骤：配制石墨烯氧化物溶液；将石墨烯氧化物溶液滴加到纹身衬底上，以使石墨烯氧化物溶液在纹身衬底挥发后形成石墨烯氧化物薄膜；通过激光还原石墨烯氧化物薄膜，形成石墨烯电极图案；通过水溶液剥离未还原的石墨烯氧化物薄膜，得到纹身式石墨烯电极；将所述纹身式石墨烯电极转移至预先布好电路的透明黏性心电带之上，得到12导联透明心电带。该方法的多层石墨烯电极与皮肤紧密贴合降低阻抗，提高信号质量，同时，电极可以转移至预先布置好的电路的黏性透明带上，方便心电带定位，心电带还与机器学习配合实现心电信号的实时判断。
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