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公开(公告)号：CN114175502A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202080049613.8
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种压电振子以及具备该压电振子的振荡器。压电振子(100)具备基座部件(30)、盖部件(40)、以及设置在基座部件(30)与盖部件(40)之间的层叠结构体(101)，层叠结构体(101)具备压电振动元件(10)、半导体层(21)以及一对测定电极(24c、24d)，压电振动元件(10)具备：具有对置的一对主面的压电体层(11)和分别设置于压电体层(11)的一对主面以便隔着压电体层(11)相互对置的一对激励电极(14a、14b)，半导体层(21)层叠于压电振动元件(10)的压电体层(11)的任意一个主面侧，一对测定电极(24c、24d)设置于半导体层(21)，一对测定电极(24c、24d)构成为经由半导体层(21)测定基于压电振动元件(10)的温度的信号。
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公开(公告)号：CN113940001A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080042341.9
申请日：2020-03-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 西村俊雄
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振器以及谐振装置，其能够进一步提高振动的封入性。谐振器(10)具备：振动部(120)，包括一方的主面具有X轴方向的宽度(W)和Y轴方向的长度(L)的Si基板(F2)，并以轮廓振动为主振动进行振动；保持部(140)，形成为包围振动部(120)的至少一部分；以及支承臂(111)，沿着Y轴方向延伸，将保持部(140)与振动部(120)的Y轴方向的一端部连接，在俯视观察一方的主面时，振动部(120)的X轴方向的宽度(W)从成为最大值(Wmax)的Y轴方向的位置朝向一端部变小，并且从该位置朝向Y轴方向的另一端部变小。
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公开(公告)号：CN107925394B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201680050205.8
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供谐振子和谐振装置。谐振子能够通过减小锚点损耗来提高Q值。谐振子具备：压电振动部；保持部，其设置于压电振动部的周围的至少局部；第一节点生成部，其设置于压电振动部与保持部之间；第一连接臂，其连接第一节点生成部和压电振动部的与该第一节点生成部对置的区域；以及第一保持臂，其连接第一节点生成部和保持部中的与第一节点生成部对置的区域，第一节点生成部在比在第一连接臂连接第一节点生成部和压电振动部的第一方向上的中心靠第一连接臂侧处，具有在与第一方向正交的第二方向上的长度为最大的部位，随着从第二方向上的长度为最大的部位趋向第一保持臂，第二方向上的长度缓缓变小。
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公开(公告)号：CN111418151A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880077004.6
申请日：2018-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 在并联连接的压电谐振子中，抑制由杂散电容引起的特性降低。具备：基板；绝缘膜，其形成在基板上；多个振动区域，其为形成在绝缘膜上的多个振动区域，且各振动区域具有形成在绝缘膜上的下部电极、形成在下部电极上的压电膜和形成在压电膜上的上部电极，使形成在绝缘膜上的多个下部电极中的至少一个下部电极成为与其他下部电极不同的电位，以使得至少一个振动区域与其他振动区域反相振动；以及封装，其为对具有基板、绝缘膜、多个振动区域的谐振子进行密封的封装，且具有使基板接地的接地用端子。
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公开(公告)号：CN105874710B
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201580003668.4
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明涉及压电振子以及压电振动装置。在压电振子中，使静电电容比较大，并且，抑制杂散电容的影响。压电振子(120A)是具有彼此以相反相位振动的第一以及第二振动部的压电振子(120A)，第一以及第二振动部的每个具备硅层(220)、配设在硅层(220)之上的第一压电层(224)、配设在第一压电层(224)之上的第一电极(222)、配设在第一电极(222)之上且具有与第一压电层(224)相反方向的极化的第二压电层(225)、以及配设在第二压电层(225)之上的第二电极(223)，构成为对第一振动部的第一电极(222)和第二振动部的第二电极(223)施加第一电位，并对第一振动部的第二电极(223)和第二振动部的第一电极(222)施加第二电位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105340177B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201480031140.3
申请日：2014-07-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H01L41/053 , H01L41/0933 , H02N2/0055 , H03H9/02244 , H03H9/02448 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02511 , H03H2009/2442
Abstract: 本发明提供一种能够将振动部的振动可靠地封闭于振动部侧的振动装置。在振动装置(1)中，支承部(4)的第一端部连结于振动部(2)，框状的基部(3)与支承部(4)的第二端部相连接，被设置成包围振动部(2)，在基部(3)形成有向与支承部(4)延伸的方向交叉的方向延伸的狭缝(3a)，以便在支承部(4)与基部(3)的连结于支承部(4)的第二端部的部分之间设置弯曲振动部(5)，弯曲振动部(5)的两端与基部(3)的剩余部分连续，连续的部分被作为弯曲振动部(5)的固定端，当将与振动部(2)中的固有振动的频率对应的该弯曲振动的波长设为λ时，弯曲振动部(5)的连结于支承部(4)的第二端部的部分与弯曲振动部(5)的固定端之间的长度被设为λ/4。
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公开(公告)号：CN105210294B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201480026840.3
申请日：2014-05-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/083 , H03H9/02448 , H03H9/0595 , H03H9/2452 , H03H2009/155
Abstract: 本发明提供可充分减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在俯视时，具有具备长边和短边的矩形板状的形状，并利用在上述短边方向伸缩振动模式的振动装置，包含由简并半导体构成的Si层(2)、氧化硅层(3)、压电体层(5)、以及对压电体层(5)施加电压的第一、第二电极(6、7)，在将Si层的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(3)的厚度的总和设为T2、将未设置有氧化硅层(3)的情况下的振动装置的TCF设为x(ppm/K)时，T2/(T1+T2)处于(‑0.0003x2‑0.0256x+0.0008)±0.05的范围内。
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公开(公告)号：CN105874710A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003668.4
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H03H9/02244 , H03H9/0595 , H03H9/125 , H03H9/2489 , H03H2009/155
Abstract: 本发明涉及压电振子以及压电振动装置。在压电振子中，使静电电容比较大，并且，抑制杂散电容的影响。压电振子(120A)是具有彼此以相反相位振动的第一以及第二振动部的压电振子(120A)，第一以及第二振动部的每个具备硅层(220)、配设在硅层(220)之上的第一压电层(224)、配设在第一压电层(224)之上的第一电极(222)、配设在第一电极(222)之上且具有与第一压电层(224)相反方向的极化的第二压电层(225)、以及配设在第二压电层(225)之上的第二电极(223)，构成为对第一振动部的第一电极(222)和第二振动部的第二电极(223)施加第一电位，并对第一振动部的第二电极(223)和第二振动部的第一电极(222)施加第二电位。
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公开(公告)号：CN105340177A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480031140.3
申请日：2014-07-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H01L41/053 , H01L41/0933 , H02N2/0055 , H03H9/02244 , H03H9/02448 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02511 , H03H2009/2442
Abstract: 本发明提供一种能够将振动部的振动可靠地封闭于振动部侧的振动装置。在振动装置(1)中，支承部(4)的第一端部连结于振动部(2)，框状的基部(3)与支承部(4)的第二端部相连接，被设置成包围振动部(2)，在基部(3)形成有向与支承部(4)延伸的方向交叉的方向延伸的狭缝(3a)，以便在支承部(4)与基部(3)的连结于支承部(4)的第二端部的部分之间设置弯曲振动部(5)，弯曲振动部(5)的两端与基部(3)的剩余部分连续，连续的部分被作为弯曲振动部(5)的固定端，当将与振动部(2)中的固有振动的频率对应的该弯曲振动的波长设为λ时，弯曲振动部(5)的连结于支承部(4)的第二端部的部分与弯曲振动部(5)的固定端之间的长度被设为λ/4。
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公开(公告)号：CN101091263A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200680001285.4
申请日：2006-10-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 西村俊雄
IPC: H01L41/083 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/083 , H01L41/0533
Abstract: 提供一种不仅能防止内部电极间的电荷迁移而且在重复施加温度变化时也难以产生极化度减小造成的劣化的、使用叠层型压电体的压电元件。其中，压电元件(1)在以压电层为中介叠积连接第1电位的第1内部电极(3b、3d)和连接与第1电位不同的第2电位的第2内部电极(3a、3c、3e)的叠层型压电体(2)的第1、第2侧面(2c、2d)，分别形成第1、第2外部电极(4、5)，并设置散布状含有导电粒子以不仅能防止相邻内部电极间的电荷迁移而且还抑制热电效应引起的极化度减小的防迁移用外装材料(6、7)，使其覆盖第3、第4侧面(2e、2f)。
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