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公开(公告)号：CN114175502A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202080049613.8
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种压电振子以及具备该压电振子的振荡器。压电振子(100)具备基座部件(30)、盖部件(40)、以及设置在基座部件(30)与盖部件(40)之间的层叠结构体(101)，层叠结构体(101)具备压电振动元件(10)、半导体层(21)以及一对测定电极(24c、24d)，压电振动元件(10)具备：具有对置的一对主面的压电体层(11)和分别设置于压电体层(11)的一对主面以便隔着压电体层(11)相互对置的一对激励电极(14a、14b)，半导体层(21)层叠于压电振动元件(10)的压电体层(11)的任意一个主面侧，一对测定电极(24c、24d)设置于半导体层(21)，一对测定电极(24c、24d)构成为经由半导体层(21)测定基于压电振动元件(10)的温度的信号。
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公开(公告)号：CN105210294B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201480026840.3
申请日：2014-05-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/083 , H03H9/02448 , H03H9/0595 , H03H9/2452 , H03H2009/155
Abstract: 本发明提供可充分减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在俯视时，具有具备长边和短边的矩形板状的形状，并利用在上述短边方向伸缩振动模式的振动装置，包含由简并半导体构成的Si层(2)、氧化硅层(3)、压电体层(5)、以及对压电体层(5)施加电压的第一、第二电极(6、7)，在将Si层的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(3)的厚度的总和设为T2、将未设置有氧化硅层(3)的情况下的振动装置的TCF设为x(ppm/K)时，T2/(T1+T2)处于(‑0.0003x2‑0.0256x+0.0008)±0.05的范围内。
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公开(公告)号：CN105874709A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003676.9
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02244 , H03H3/0077 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/0504 , H03H9/17 , H03H9/171 , H03H2003/027 , H03H2003/0442 , H03H2009/02173 , H03H2009/155
Abstract: 本发明提供压电振子以及压电振动装置。能够高效地进行压电振子中的共振频率的调整。压电振子具备：第一电极以及第二电极；压电膜，其形成于第一电极与第二电极之间，并且具有与第一电极对置的第一面；以及第一调整膜以及第二调整膜，它们经由第一电极与压电膜的第一面对置地形成，第一调整膜在第一面中的至少第一区域与压电膜重叠，第二调整膜在第一面中的至少与第一区域不同的第二区域与压电膜重叠，通过第一区域以及第二区域覆盖第一面的大致全域，第二区域是在该压电振子的振动时位移比第一区域大的区域，第二调整膜由蚀刻所导致的质量减少的速度比第一调整膜快的材料形成。
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公开(公告)号：CN109075766B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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公开(公告)号：CN111989863A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201880092468.4
申请日：2018-11-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109075766A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780026974.9
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , B81B3/00 , H01L41/113 , H01L41/187 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。
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公开(公告)号：CN109155615B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780028887.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置，抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
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公开(公告)号：CN105874708B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201580003444.3
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02448 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , H03H9/2447 , H03H2009/02496 , H03H2009/155 , H03H2009/2421
Abstract: 本发明提供MEMS元件，其是能够抑制保持部的延伸的方向中的收缩振动所导致的电阻值的变动并且实现高精度的振荡器的MEMS元件。MEMS元件10由框11、接收驱动信号的输入的矩形板12以及将该矩形板12固定于框11的保持部13构成。框11与矩形板12均以具有短边与长边的矩形构成。保持部13被设置为从矩形板12的对置的短边的中央部分向框11侧延伸，并且将矩形板12相对于框11进行固定。矩形板12的长边(Lp)与短边(Wp)之比(Lp/Wp)为1.3～1.6，优选为1.46。电阻膜19是沿着连接将矩形板12固定于框11的保持部13的直线上的区域，根据振动分布形成于最大位移的一半以下的区域。
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公开(公告)号：CN105874708A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003444.3
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02448 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , H03H9/2447 , H03H2009/02496 , H03H2009/155 , H03H2009/2421
Abstract: 本发明提供MEMS元件，其是能够抑制保持部的延伸的方向中的收缩振动所导致的电阻值的变动并且实现高精度的振荡器的MEMS元件。MEMS元件10由框11、接收驱动信号的输入的矩形板12以及将该矩形板12固定于框11的保持部13构成。框11与矩形板12均以具有短边与长边的矩形构成。保持部13被设置为从矩形板12的对置的短边的中央部分向框11侧延伸，并且将矩形板12相对于框11进行固定。矩形板12的长边(Lp)与短边(Wp)之比(Lp/Wp)为1.3～1.6，优选为1.46。电阻膜19是沿着连接将矩形板12固定于框11的保持部13的直线上的区域，根据振动分布形成于最大位移的一半以下的区域。
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公开(公告)号：CN105379115A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480026919.6
申请日：2014-05-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种不导致k2Q的降低地增大静电电容，并可降低谐振电阻的振动装置。振动装置(1)的在Y方向上延伸的2N根(N是2以上的整数)音叉臂(3)～(6)在X方向上并排，在设置有2N根音叉臂(3)～(6)的区域中，相对于通过X方向中心且在Y方向上延伸的虚拟线A，一侧的N根音叉臂(3)、(4)的弯曲振动的相位与另一侧的N根音叉臂(6)、(5)的弯曲振动的相位对称。
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