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公开(公告)号：CN119716455A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202510051047.9
申请日：2025-01-13
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明提供一种基于ATE的UIS和Rdson联合测试电路和测试方法，涉及集成电路测试技术领域。本发明的基于ATE的UIS和Rdson联合测试电路，包括ATE、发生电路、放大电路和比较电路；所述发生电路、放大电路和比较电路中的电源通过ATE提供，所述发生电路包括第一高速开关组、第二高速开关组、空心电感、检流电阻和第一二极管。本发明使用检流电阻、放大电路和比较电路，完成对电路中电流波形的替代和监测，并编写相关程序，在ATE机台实现对测试电路电源的控制和相关数据、波形的收取，准确得到雪崩能量的大小和Rdson测试值，从而减小测试项的编写数量和测试时间的减少，提高测试效率，降低测试成本。
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公开(公告)号：CN110902640B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201911267138.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度MEMS谐振式温度传感器芯片，属于MEMS温度传感器技术领域。包括石英玻璃环形基座和石英晶体谐振层；石英晶体谐振层包括菱形力放大谐振器、第一石英臂、第二石英臂、第一锚点和第二锚点；菱形力放大谐振器包括菱形环和双端固支石英音叉；第一锚点、第一石英臂、第二石英臂和第二锚点位于菱形环的短对角线上；双端固支石英音叉位于菱形环的长对角线上。当被测环境温度变化时，石英晶体谐振层因环形基座制约而产生热膨胀变形，在一对石英臂内部产生较大的轴向应力，经菱形环放大作用于双端固支石英音叉；本发明显著提高了传感器的灵敏度和谐振频率的稳定性，还具有结构简单，抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN108009995B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201711068122.4
申请日：2017-11-03
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法。包括如下步骤：1）建立基于图像的迟滞模型。2）获取原子力显微镜的正向扫描图像和反向扫描图像，对这两幅图像进行特征点匹配，得到多组匹配的特征点的坐标信息。3）根据匹配的特征点在两幅图像中的坐标信息，计算迟滞模型中的参数。4）根据迟滞模型分别对正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构，得到校正迟滞后的图像。本发明提出了一种合理、简单的基于扫描图像的迟滞模型，使用原始扫描得到的图像即可进行迟滞校正，无需对原子力显微镜进行硬件上的改造，节约了成本，可以为原子力显微镜提供低迟滞的高品质图像。
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公开(公告)号：CN110501098B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110361116B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910749657.0
申请日：2019-08-14
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种四压力膜结构差动型石英梁谐振压力传感器，包括压力膜层和谐振层；所述压力膜层上形成有第一压力膜、第二压力膜、第三压力膜和第四压力膜，第一压力膜的正面设有第一凸台，第二压力膜的正面设有第二凸台，第三压力膜的正面设有第三凸台，第四压力膜上的正面设有第四凸台；所述谐振层上具有镂空区，所述镂空区中形成有第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点、双端固支第一悬空石英梁以及双端固支第二悬空石英梁，各凸台与各锚点接合。本发明通过设计两组石英梁和四个压力膜，改变石英梁在压力膜上的偏置程度，使两组石英梁的谐振频率产生差值，提高传感器的灵敏度，并同时减小因环境温度波动而产生的热误差的影响。
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公开(公告)号：CN111830288A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010712878.3
申请日：2020-07-22
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种AFM低漂移大范围扫描测量的路径规划方法，其步骤包括：1扫描中心微块的图像，2微动平台移动到下一个微块区域并扫描，且与上一个微块有部分重叠，3对两个微块重叠部分进行相关计算得到漂移量，并对微块图像进行校正，4微动平台按照螺旋式扫描路线进行扫描，当扫描范围超过微动平台运动范围时，移动宏动平台与微动平台协同运动。5微动平台继续按照螺旋式扫描路线进行扫描，直到扫描完全部区域。本发明能实现漂移的实时计算和补偿校正，获取低漂移的大范围样品图像，从而提高原子力显微镜获取低漂移图像和测量的能力，对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。
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公开(公告)号：CN108448928B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201810425140.1
申请日：2018-05-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H02N2/06
Abstract: 本发明提供了一种多叠层压电致动器独立分时驱动装置及方法，涉及应用在精密位移平台领域，包括各层压电致动器独立驱动；驱动信号按照等电压间隔规则分离成时序相连的子信号；施加到每一层独立压电致动器上的信号为分别放大后的子信号；电压等间隔规则通过信号分离电路实现；驱动信号可以为任意需要的信号。相对于多叠层压电致动器并联的压电堆栈，通过本发明所示的驱动方法可以有效的消除其由于并联驱动导致的迟滞累加，在同一个时刻有且仅有一层压电致动器迟滞的存在，有效的降低了多叠层压电致动器位移过程中的迟滞，提高运动定位精度，同时具有操作简单、成本较低等特点。
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公开(公告)号：CN106225667A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610640509.1
申请日：2016-08-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差补偿装置，其特征是激光器发出的光束经偏振分光棱镜分束后，其透射光投射至直角棱镜，并返回偏振分光棱镜形成参考光S；其反射光投射至平面反射镜，并返回偏振分光棱镜形成测量光P；在参考光路放置沿S方向的线偏振片；在测量光路放置沿P方向的线偏振片，实现非正交误差补偿；在线偏振片的出射光路中设置半透半反镜，使参考光和测量光合束后经消偏振分光棱镜均匀分束，其透射光经四分之一波片，再经偏振分光棱镜产生干涉信号I1和I2；其反射光经偏振分光棱镜产生干涉信号I3和I4；I1，I2，I3和I4的相位互差90°。本发明使单频激光干涉仪的非线性误差得到有效的补偿。
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公开(公告)号：CN207888246U
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201820115185.4
申请日：2018-01-24
Applicant: 安徽省恒泰动力科技有限公司 , 合肥工业大学
Abstract: 本实用新型提供了一种可在线采集刀具切削力信号的夹具，包括夹具体，夹具体上设置有第一螺孔、第二螺孔、刀具安装孔、夹具安装柄、第一螺钉、第二螺钉，第一螺孔与第二螺孔相互平行，刀具安装孔与第一螺孔垂直并连通，刀具安装孔与第二螺孔垂直并连通，刀具安装孔内装有刀具，第一螺钉、第二螺钉的底端都抵靠在刀具上，第二螺钉的底端设置有压电石英传感器，压电石英传感器上设有第一引出线，本实用新型提供的可在线采集刀具切削力信号的夹具测力范围广、线性度好、受温度影响小、分辨率高，能够在不影响机床加工精度的加工中在线采集切削力信号，经后续处理显示出切削力数值大小，切削力的大小可用来校验和选择机床功率，校验刀具刚性。
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