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公开(公告)号：CN118857098A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411038624.2
申请日：2024-07-31
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头，包括具有圆柱形内腔的探头壳体；微球探针呈竖直固定在弹性簧片的下表面，分光棱镜固定在弹性簧片上表面，激光器和直角棱镜固定设置在探头壳体的下盖上，弹性簧片设置在下盖的中空圆面处；激光器和直角棱镜分处在分光棱镜的两侧，使激光器水平发射的准直光投射至分光棱镜，分光棱镜反射光向上投射至第一位置敏感探测器，分光棱镜透射光投射至直角棱镜，并经直角棱镜反射向上投射至第二位置敏感探测器；利用第二位置敏感探测器实现出射光热漂移测量，有效提高热稳定性。
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公开(公告)号：CN118730416A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410737991.5
申请日：2024-06-07
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种汽车电池盒焊缝气密性检测装置，是在筒状壳体内设置光探测单元，包括弹性机构作为漏气检测器件，激光光源作为探测单元光源出射激光束；第一平面反射镜与弹性机构随动形成反射面，激光束经反射面形成反射光；反射光经平面反射镜两次反射形成探测光并投射在光电探测器的探测面上，获得探测光位置信号；通过加压使待测电池盒中焊缝待测段的漏气孔产生气流，以气流推力弹性机构发生变形，并在光电探测器中获得相应的探测光位置信号；依据探测光位置信号与待测电池盒的加压值判断待测段焊缝漏气与否；逐段进行各焊缝待测段的检测，实现汽车电池盒的气密性检测。
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公开(公告)号：CN114719787B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210434378.7
申请日：2022-04-24
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于平行光路的多自由度检测装置，由激光发射单元、激光接收单元和信号处理单元构成；激光发射单元固定设置在被测轴的前方，利用光束分束单元将经过准直的激光分成两路平行光束出射；激光接收单元与工作台随动，利用光电探测单元接收两束平行光，以感测直线度误差和角度误差；信号处理单元进行信号处理实现误差检测。本发明具有两路严格平行光束，光路简单，易于调整，能够实现包括两个直线度误差和三个角度误差在内的五个自由度测量，尤其是针对滚转角误差的测量无需进行误差补偿，兼顾长距离和大量程。
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公开(公告)号：CN114812392B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202210435046.0
申请日：2022-04-24
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统，是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，固定单元安装在固定平面上，移动测量单元安装在线性位移平台上，以激光器为光源，以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件，实现线性位移平台的俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、竖直直线度及位移的同时测量，通过设置光束角度漂移检测模块有效消除光束角度漂移对俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、垂直直线度误差和位移测量精度的影响；本发明结构简单、成本低，可同时实现线性位移平台六自由度运动误差的在线测量。
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公开(公告)号：CN113822354B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202111102996.3
申请日：2021-09-17
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于贝叶斯反演算建模的微纳米探头动态特性补偿方法，其特征是通过微纳米探头系统的阶跃响应实测数据，采用自适应模型辨识法得到探头系统的传递函数模型；根据系统传递函数模型参数推导确定贝叶斯反演算补偿模型的观测回归矩阵和状态转移矩阵，获得动态补偿模型的状态方程和观测方程；采用参考先验分析法确定状态向量的初始先验分布，利用贝叶斯递推算法估计状态向量实时分布参数，得到补偿后的实时输入待估计量。本发明用于实现微纳米探头系统的动态特性补偿，能够快速有效地减小探头阶跃输出的超调量，缩短探头响应时间，以低成本改善微纳米探头系统的动态特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115164839A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210837651.0
申请日：2022-07-15
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于液体透镜的大量程双轴光电水平仪，平行且上下间隔设置上平板和下平板；在上平板顶面安装激光发射器和第一直角棱镜,在上平板底面设置液体透镜；在下平板顶面固定安装PSD位置探测器和第二直角棱镜；水平仪以下平板放置在被测平面上；由激光发射器出射的激光光束经第一直角棱镜转折投向液体透镜；液体透镜出射光经第二直角棱镜转折出射形成检测光，由PSD位置探测器通过对检测光进行位置检测获得置于被测平面上的水平仪的倾斜角度。本发明保障大量程并兼顾分辨率，能够在精密小角度测量中得到应用，包括在三坐标测量机、数控机床等精密小角度测量中进行应用，以及应用在平面度、平行度等其它精密测量领域。
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公开(公告)号：CN114812443A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210435029.7
申请日：2022-04-24
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件；当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。
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公开(公告)号：CN108009995A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711068122.4
申请日：2017-11-03
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法。包括如下步骤：1）建立基于图像的迟滞模型。2）获取原子力显微镜的正向扫描图像和反向扫描图像，对这两幅图像进行特征点匹配，得到多组匹配的特征点的坐标信息。3）根据匹配的特征点在两幅图像中的坐标信息，计算迟滞模型中的参数。4）根据迟滞模型分别对正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构，得到校正迟滞后的图像。本发明提出了一种合理、简单的基于扫描图像的迟滞模型，使用原始扫描得到的图像即可进行迟滞校正，无需对原子力显微镜进行硬件上的改造，节约了成本，可以为原子力显微镜提供低迟滞的高品质图像。
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公开(公告)号：CN102494607B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201110335066.2
申请日：2011-10-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片的中央位置处设置一中央平面反光镜，处在十字悬浮片的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜；在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心，处在扫描探头最前端的测球固定安装在扫描探针的端部。本发明能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。
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公开(公告)号：CN114812443B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202210435029.7
申请日：2022-04-24
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件；当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。
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