一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法

    公开(公告)号:CN114994340A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210486518.5

    申请日:2022-05-06

    Abstract: 本发明实施例公开了一种用于与手套箱对接的超高真空转移装置及转移方法,装置包括:与所述手套箱可连通或闭合地连接且形成有多个通道的连通腔体,以及分别与其中一个所述通道可连通或闭合地连接的真空环境发生机构、惰性气体发生机构和样品传输机构;且,所述真空环境发生机构用于将所述连通腔体中形成为超高真空环境;所述惰性气体发生机构用于向所述连通腔体中提供惰性气体;所述样品传输机构用于将样品自所述连通腔体中转移至所述手套箱中。实现了样品在超高真空环境和可控高纯惰性气体环境之间的切换,同时整个过程能够有效保证样品的高度清洁,为后续研究提供了有利的支持的效果。

    一种高k栅介质材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN112002804A

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN202010910693.3

    申请日:2020-09-02

    Abstract: 本申请公开了一种高k栅介质材料及其制备方法和应用,所述高k栅介质材料包括硅衬底,衬底表面沉积有栅介质层;栅介质层中含有金属钕和铪。本申请通过在氧气氛围下共溅射钕和铪材料,实现一种高质量掺杂高k栅介质材料的制备。钕元素氧化物具有电荷陷阱少,氧空位密度低,缺陷密度低的有点,但是吸湿性严重;铪元素氧化物具有抗吸湿性,但相对缺陷较多,氧空位密度高,电荷陷阱多,通过以钕为主要占比,铪为次占比的掺杂,得到了一种高质量的钕-铪氧氮化物栅介质材料,并在并五苯有机晶体管上取得了优异性能,拓展了高k栅介质材料的开发与应用前景。

    一种基于帕尔贴效应的超高真空冷却装置

    公开(公告)号:CN218120320U

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202222382281.4

    申请日:2022-09-08

    Abstract: 本实用新型实施例公开了一种基于帕尔贴效应的超高真空冷却装置,包括帕尔贴制冷机构、贴附散热机构、密闭阀组和保护外壳;且,所述帕尔贴制冷机构至少包括自内而外顺次套接的冷端套筒和热端套筒,且所述冷端套筒至少侧边围合形成有容纳腔;所述贴附散热机构用于贴附于所述热端套筒外表面上,并对所述热端套筒进行冷却;所述保护外壳和所述密闭阀组配合形成有密封腔,至少部分所述帕尔贴制冷机构和所述贴附散热机构位于所述密封腔中。实现了能够在真空等环境下直接使用,实现小型化操作,并使得操作环境可以达到尽可能低的温度的效果。

    一种实现多仪器间样品架转换的装置

    公开(公告)号:CN218122020U

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202222110135.6

    申请日:2022-08-11

    Abstract: 本实用新型提供了一种实现多仪器间样品架转换的装置,其包括磁力储样杆、X向样品架、可转移子样品架、磁力传样杆和Z向样品架;磁力储样杆通过法兰与超高真空腔体密封连接,并可沿法兰方向移动及沿中心轴转动;X向样品架和Z向样品架安装于磁力储样杆上;可转移子样品架与X向样品架和Z向样品架可拆卸式装配连接;磁力传样杆安装于可转移子样品架一端,并与磁力储样杆在同一平面内始终保持垂直;磁力传样杆通过平移台及法兰与超高真空腔体密封连接;磁力储样杆可沿着Y方向移动及沿其轴心线旋转。本实用新型可在不对超高真空腔体进行过多改造,并不影响正常实验流程的前提下,完成样品从X向样品架和Z向样品架之间样品的双向转移过程。

    一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置

    公开(公告)号:CN214894866U

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202120486746.3

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本实用新型公开了一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置,包括风道腔,风道腔包括进气口和出风口,风道腔上还开设有透视窗,透视窗用于透过拉曼激光;还包括加热装置,加热装置固定于风道腔内,且加热装置的加热面与透视窗相对,加热装置用于加热放置于其上的测试样品。本实用新型可以实现在使用现有拉曼光谱测试仪的条件下,完成对不同二维材料与半导体三维结构的瞬时散热效率的测量,并且体积较小,重量较轻,组装和拆卸简易,方便搬运,各部件利用率高。

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