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公开(公告)号：CN111607793A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010609074.0
申请日：2020-06-29
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种剃须刀片超薄碳膜层材料及其制备方法，属于膜层材料制备技术领域。所述膜层材料为五层复合结构，基体层为剃须刀片韧部，中间过渡层依次为金属打底层、金属掺杂类金刚石膜层和类金刚石膜层，表层为聚四氟乙烯涂层；其中，金属打底层和金属掺杂类金刚石膜层为以金属靶为阴极，利用磁过滤在基体上沉积而得；类金刚石膜层为以碳靶为阴极，利用磁过滤在金属掺杂类金刚石膜层上沉积制得；而聚四氟乙烯涂层则利用热喷涂技术在DLC外层喷涂聚四氟乙烯得到。本发明选用磁过滤沉积制备超薄碳膜层材料，以提高碳膜和基体的结合强度及膜层硬度，不仅制备工艺简便，而且所述剃须刀片超薄碳膜具有结构致密、使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN110158040B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201910549130.3
申请日：2019-06-24
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种聚合物表面沉积镁的方法，包括：对聚合物进行表面清洗；随后利用蒸发法和圆柱弧靶在聚合物表面共沉积金属多聚物和镁；最后利用圆柱弧靶进行镁沉积。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源清洗、蒸发法以及圆柱弧沉积相结合的方法制备的金属镁膜层，明显提高了基体和金属镁层的结合强度。因其方法简单、处理面积大、易操作，且成本低、效率高，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN111424243A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010417846.0
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种散热涂层的制备方法，包括：对基体进行表面清洗；随后对基体进行多弧技术表面沉积Al，紧接着进行400-600℃加热真空保温1-4h，形成渗铝层；随后进行磁过滤沉积Al或Zn等；随后在氧气气氛下进行200-800℃下充分氧化；随后通过磁过滤沉积AlN涂层；最后在表面沉积铜层形成覆铜板。本发明实施例提供的方法，通过多弧沉积、磁过滤沉积以及高温渗铝、高温氧化等过程相结合的方法制备的致密的高绝缘高导热涂层，明显提高了基体作为覆铜板的散热性能。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN110923624A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911280496.1
申请日：2019-12-13
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束印刷系统的离子束印刷方法，所述离子束印刷系统包括放置在真空中的卷对卷印刷机以及安装在所述卷对卷印刷机上的中高能宽域离子源、中低能宽域离子源以及低能离子源；所述离子束印刷方法包括：对聚酰亚胺基体先涂覆干膜，按照预设电路图形对所述干膜进行刻蚀，然后采用离子束印刷系统在所述电路图形上沉积宽域能金属离子，形成薄膜基体，最后对所述薄膜基体进行干膜剥离，得到印刷电路板。本发明采用离子束印刷系统沉积宽域能金属离子，可以制备超精细的线路，其线宽线距可小于3微米，沉积膜层致密性好，膜层表面光滑特性好，制作成本低，适合高频高速传输应用，并且不存在电镀液污染环境的问题，更加环保。
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公开(公告)号：CN110846625A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911253460.4
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种长条高真空阴极电弧靶装置，真空室用于放置长条高真空阴极电弧靶装置，包括：主支撑架、阳极、阴极靶材、屏蔽电极、第一屏蔽环、永磁体、触发电极和旋转部件；主支撑架上安装所述旋转部件；旋转部件与阴极靶材固定连接，并进行旋转动作；阳极与主支撑架连接；第一屏蔽环固定在阳极上，屏蔽阴极靶材和真空室；屏蔽电极包裹阴极靶材，并且阴极靶材的内部设置有永磁体；触发电极安装在屏蔽电极上，并且触发电极与触发电源电性连接。本发明提供了一种长条高真空阴极电弧靶装置，实现其能在高真空下稳定、可靠的弧光放电，同时大幅减低起弧时因温度过高而带来的颗粒喷射和提高阴极寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107142478B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201710316678.4
申请日：2017-05-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种机械设备关键部件表面耐腐蚀耐磨损涂层的方法，其中，制备该涂层方法包括：采用霍尔离子源在500℃以上环境下用氮离子进行轰击，产生表面强化效应提高基材致密度，紧接着采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在基材表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在进气口通入100‑250sccm的乙炔，基材表面沉积获得总厚度为1‑10微米的多种纳米晶混合层。通过实施本发明，在关键部件上沉积此类涂层能够很好的保护机械设备关键部件，因其多种纳米晶相互协同作用，能够有效的防止其因环境变化而带来摩擦损失和化学腐蚀损失，从而影响设备的稳定性、精度以及服役寿命。
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公开(公告)号：CN105755465B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201610105817.4
申请日：2016-02-26
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束技术的新型无烟锅的制造方法及设备。该无烟锅的制备方法包括：以铝合金、不锈钢或者铁锅为基体，利用离子束技术在锅底沉积一层导热性好、无毒、环保的超硬类金刚石膜层。具体的沉积方法包括：采用金属真空蒸汽离子源(MEVVA)在锅基底表面注入金属Ti离子形成金属″钉扎层″，接着采用90度磁过滤金属阴极真空弧(FCVA)技术，在基体表面沉积第一层金属Ti应力释放层；在所述的第一层应力释放层之上，采用180度磁过滤FCVA方法沉积得到第二层超硬类金刚石膜层，二层复合膜总厚度为0.1‑10微米，膜层的热导率为500‑1000W/m·K是铁锅热导率的20倍以上，同时膜层硬度为60Gpa，是铁、不锈钢或者铝合金硬度15倍以上。通过实施本发明，能够制造出新型能适用于各种类型的锅铲、且寿命长的无烟锅。
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公开(公告)号：CN105755429B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201510750822.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种在玻璃上沉积Al2O3膜的方法及适用于手机屏幕表面镀膜。其中，具体涉及一种磁过滤等离子体沉积法制备Al2O3薄膜技术，该Al2O3膜结构包括离子注入钉扎层以及Al2O3膜层。本发明的目的是结合离子注入技术、磁过滤技术和阴极弧沉积技术制备的Al2O3膜具有高结合力，并通过控制沉积过程中的弧流强度、弯管磁场强度以及氧气的进气量，优化Al2O3的厚度、硬度、耐磨性、抗腐蚀性和透光性，制备优质的Al2O3膜来代替蓝宝石手机屏幕。本发明所使用的是双磁过滤等离子体沉积设备，设备操作简单，工艺成熟，可实现批量生产，适合电子产品屏幕保护上的应用。
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公开(公告)号：CN105803764B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201610151515.0
申请日：2016-03-17
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种新型的基于离子束技术制备抗辐射及抗静电新型布的制备方法和设备，其中，该新型防辐射、抗静电新型布主要制备方法在于利用新型的磁过滤等离子沉积技术(FCVA)以及金属真空蒸汽离子源技术(MEVVA)制备，具体包括：在布表面利用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，注入一层能提高膜基结合力的布料金属混合层；在所述的金属混合层之上，采用60度磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，沉积得到厚度为1‑5微米的纳米结构的金属膜层。通过实施本发明，布料具有很好的防辐射、抗静电能力以及可擦洗性。
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公开(公告)号：CN105773462B
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201610003381.8
申请日：2016-01-07
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命方法，该方法是利用离子注入技术及磁过滤沉积技术在金刚砂表面沉积超厚超硬以及摩擦系数高以及韧性好的(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜，其中，制备该(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜方法包括：采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA)，在砂轮棒表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗；然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜层；重复调制周期直至(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在工件沉积(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜具有很好韧性以及很高的显微硬度，能提高砂轮棒寿命2‑5倍。
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