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公开(公告)号:CN101928666B
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201010242144.X
申请日:2010-07-30
Applicant: 北京大学
IPC: C12M1/42
CPC classification number: C12M35/02
Abstract: 本发明公开了一种流式电穿孔装置及系统,该系统包括:流式电穿孔装置,其中包括:基板,以及制作在基板上的电极,所述的电极,是平行并成对放置的,每对电极包括相对设置的阳极和阴极;置于电极之上的限制流体流动的通道;所述通道起始端具有多个入口分支通道,并汇聚成一条主通道,结束端具有多个出口分支通道,所述通道上方设置具有多个流体入口及出口的顶盖;注射泵,由管道连接到所述流式电穿孔装置中顶盖的入口及出口控制流体的流速;电压源,由电连接件连接电极设定并产生脉冲电压。流式电穿孔系统利用流体通道以及相连接的注射泵来实现各种悬浮液在流体通道中的连续流动,从而使细胞被电穿孔的过程能够持续进行,实现快速处理大量样品。
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公开(公告)号:CN102289148A
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN201110247840.4
申请日:2011-08-24
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种植入式微针尖电极及其制作方法,涉及微电子机械系统和植入式微电极技术领域,所述方法包括以下步骤:A:在镀有铝膜(1)的硅片(2)上制作聚对二甲苯-金属合金-聚对二甲苯结构的金属电极层,包括:刺激点(3)、互连线(4)和引线接点(5);B:通过光刻、电镀制作金属镍或镍合金机械支撑层,包括金属镍或镍合金微针尖(6)和引线接点底座支撑体(7);C:湿法腐蚀铝膜牺牲层,正面键合干膜(8),背面氧等离子体刻蚀,直至暴露出刺激点和引线接点;D:湿法腐蚀所述干膜,并用去离子水清洗,得到微针尖电极。本发明具有机械性能高、生物兼容性好、植入方便、对组织损伤轻微、尺寸精确可控、灵敏度高、可靠性高的特点。
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公开(公告)号:CN102175840A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201010614438.0
申请日:2010-12-30
Applicant: 北京大学
IPC: G01N33/48
Abstract: 本发明公开了一种全血离心分离芯片,属于微机电系统领域。本发明在芯片上设有涡旋式微流体通道,该微流体通道绕行的中心处为进样口,在微流体通道内设有至少一排的微立柱栅栏,微立柱栅栏将微流体通道分成两个或多个流道,流道连接不同的出样口。本发明利用微泵将全血样品注入离心分离芯片后,通过微立柱栅栏间的缝隙将细胞与血浆分离。本发明结构紧凑,芯片的总面积减小,分离效率提高,且该芯片的分离过程耗时短。
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公开(公告)号:CN101229432B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200810000930.1
申请日:2008-01-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种动作仿真控制方法及其系统,其方法为利用信号采集器采集运动对象的运动信息,将其转换为动作图形后与定义的动作图形进行匹配,发送匹配成功的动作图形对应的控制指令控制游戏中的角色动作,实现仿真;本发明的一种动作仿真控制系统包括一硬件系统用于动作信息的采集和传输,一软件系统,用于动作信息的处理。本发明的仿真系统不仅可靠性强,成本低,而且体积小,设计灵活。
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公开(公告)号:CN101398377A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200710122382.5
申请日:2007-09-25
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种表面等离子体谐振(Surface Plasmon Resonance,SPR)芯片及制备方法,属于微机电系统技术领域,该SPR芯片包括反射棱镜、金属膜和样品流道结构,棱镜为一聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列,金属膜在所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列的背面,与聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列相对应的一个或多个样品流道结构也采用聚合物材料,样品流道结构与所述聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列热压键合在一起。本发明通过MEMS微加工的方法制作聚合物光学棱镜或聚合物光学棱镜阵列及样品流道结构,可以实现批量化生产。本发明SPR芯片不仅成本低,而且便于携带,适用于实时检测和一次性使用。
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公开(公告)号:CN101324473A
公开(公告)日:2008-12-17
申请号:CN200810117522.4
申请日:2008-07-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种压阻传感器芯片及其加工工艺,本发明的压阻传感器芯片,其特征在于:它包括多个微悬臂梁和一个信号检测电路;每一个微悬臂梁的固定端为一二分叉结构,压阻设置在所述二分叉结构上,所述信号检测电路与各所述微悬臂梁采用电桥连接。本发明将多个微悬臂梁结构和与其配套的信号检测电路集成在一起,从而提高了芯片的稳定性与可靠性。同时本发明通过使用固定端分叉的微悬臂梁结构,避免了在同一压阻上出现不同符号的应力,不但有效解决了横向微力检测灵敏度与微悬臂梁宽度之间的矛盾,还可实现单电桥测量或双电桥测量。本发明采用Post CMOS的方法制造,适合于低成本批量生产。
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公开(公告)号:CN1773675A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200410009764.3
申请日:2004-11-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种射频电感的制备方法,属于电感加工技术领域。该方法包括:首先以绝缘体作为衬底,在衬底上制作金属电极,在硅片上刻出锚点,然后通过该锚点将硅片和衬底键合,硅片和绝缘体键合后,采用感应耦合等离子体刻蚀、释放电感螺线结构,最后对电感施加无电镀铜,降低寄生电阻。本发明以被无电镀金属镀层包裹的单晶硅螺线结构悬空在绝缘衬底上构成电感,结构简单、寄生效应小、且流程成熟、简单、易于控制、电感制造周期较短。
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公开(公告)号:CN114469113A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111671701.4
申请日:2021-12-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种多通道柔性微针电极及制备方法,该多通道柔性微针电极包括:柔性衬底,柔性衬底设有多个通孔,多个通孔均从柔性衬底的第一侧面贯穿至柔性衬底的第二侧面;多个微针,多个微针均设于第一侧面,每一个微针与一个通孔的表面电连接,通孔的表面和微针的表面为导电材料制成;布线层,布线层设于第二侧面,布线层具有多个第一接头和多个第二接头,第一接头设于通孔,并与通孔的表面电连接,第二接头用于导入或者导出电信号。本发明提供的多通道柔性微针电极及制备方法,能够采集到多通道的生物电信号,或者能够给生物体施加多通道的生物电信号刺激,提高生物电信号采集或电刺激的精度。
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公开(公告)号:CN111073814B
公开(公告)日:2021-08-06
申请号:CN201911275912.9
申请日:2019-12-12
Applicant: 北京大学
IPC: C12M1/42
Abstract: 本发明涉及细胞电穿孔技术领域,尤其涉及微针电极阵列装置及其控制方法,包括衬底基板和微针电极,微针电极为金属材料制成,衬底基板上设有自衬底基板的正面向背面贯穿的通孔,微针电极沿其轴向分为第一段和第二段,第一段位于衬底基板的正面外侧,第二段位于通孔内,第一段的长度为0.5mm~10mm,第一段的底部直径为10um~200um,第一段的尖端直径小于10um。本发明的微针电极为金属材料的微针电极,通过机械微磨削和切割的方式成型,具有远小于传统微针电极的尺寸,且比微纳米加工技术制作的微针电极有更高的机械强度,制造成本低且工艺简单,通过较低的成本实现低电压、低损伤、高效率的细胞电穿孔。
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