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公开(公告)号：CN104508442B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201380040118.0
申请日：2013-09-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1413 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其在与加热辊等接触来检测温度时，响应性优异。本发明的温度传感器具备：一对引线框(2)；传感器部(3)，与一对引线框连接；及绝缘性保持部(4)，固定于一对引线框来保持引线框，传感器部具备：绝缘性薄膜(6)；薄膜热敏电阻部(7)，在绝缘性薄膜的表面以热敏电阻材料图案形成；一对梳状电极(8)，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳部并相互对置地图案形成；及一对图案电极(9)，连接于一对梳状电极，在绝缘性薄膜表面图案形成，一对引线框在绝缘性薄膜表面将薄膜热敏电阻部配置在之间而延伸并被粘接，并且连接于一对图案电极(9)。
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公开(公告)号：CN104798146B
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201380060819.0
申请日：2013-12-04
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C30B25/06 , C30B29/38 , C30B29/605 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。该热敏电阻用金属氮化物材料为用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAly(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104169699B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201380013565.7
申请日：2013-03-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/226 , C23F1/38 , H01C1/142 , H01C1/148 , H01C7/008 , H01C17/12 , H01C17/288
Abstract: 本发明提供一种温度传感器及其制造方法，该温度传感器在针对TiAlN的热敏电阻材料层的电极结构中即使在高温环境下也不易成为高电阻，进而能够通过非烧成的方式在薄膜等上直接成膜，且具有较高的耐热性且可靠性较高。本发明的温度传感器具备：绝缘性基材(2)；薄膜热敏电阻部(3)，形成于该绝缘性基材上；及一对图案电极(4)，以将相互对置的一对对置电极部(4a)配设于薄膜热敏电阻部上的方式形成于绝缘性基材上，薄膜热敏电阻部由TiAlN的热敏电阻材料形成，图案电极具有：TiN的接合层(5)，形成于薄膜热敏电阻部上；及电极层(6)，由贵金属形成于该接合层上。
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公开(公告)号：CN104797734B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380060050.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/5826 , C23C14/586 , G01K7/22 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-wCrw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104641208B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380044564.9
申请日：2013-09-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其具有热敏电阻材料层，所述热敏电阻材料层能够降低来自外部配线的热传导的影响，而且在弯曲的情况下也不易产生龟裂，能够不烧成而直接成膜于薄膜上。其具备：绝缘性薄膜(2)；薄膜热敏电阻部表面；一对梳状电极(4)，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳部(4a)，并且相互对置地以金属来图案形成；及一对图案电极(5)，连接于一对梳状电极，并且图案形成于绝缘性薄膜的表面，图案电极的至少一部分由导电性树脂形成。(3)，以TiAlN热敏电阻材料形成于绝缘性薄膜的
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105264619A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031428.0
申请日：2014-08-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/223 , H01C1/14 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，0.0＜v＜0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al-Si合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。
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公开(公告)号：CN104969046A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201480006490.4
申请日：2014-02-13
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其具备：一对引线框架；传感器部，与引线框架连接；及绝缘性的保持部，固定在引线框架上并保持引线框架，传感器部具备：绝缘性薄膜；薄膜热敏电阻部，形成于绝缘性薄膜的表面；一对梳状电极，在薄膜热敏电阻部的上方具有多个梳齿部而形成；及一对图案电极，一端与一对梳状电极连接，并且另一端与一对引线框架连接且形成于绝缘性薄膜的表面，引线框架具有主引线部以及基端侧接合部，只有一对引线框架中的一方具有前端侧接合部。
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公开(公告)号：CN104812927A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380061000.6
申请日：2013-12-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/041 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-vCrv)xAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104755940A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056106.7
申请日：2013-11-21
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种气流传感器，其具备：测定用感热元件，设置在作为测定对象的气体所流通的风道内；及支承机构，在风道内支承测定用感热元件，测定用感热元件具备：绝缘性薄膜；薄膜热敏电阻部，以热敏电阻材料形成于该绝缘性薄膜的表面上；一对梳状电极，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳齿部且相互对置并以金属形成图案；及一对图案电极，与一对梳状电极连接并在绝缘性薄膜表面上形成图案，支承机构使绝缘性薄膜的平面方向相对于风道内的气流方向平行地配置。
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公开(公告)号：CN102192792A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110036332.1
申请日：2011-02-09
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01K1/00
Abstract: 本发明提供一种薄膜热敏电阻传感器，该薄膜热敏电阻传感器拉伸强度高，能够谋求可靠性的提高。其具备：绝缘基板(2)；热敏电阻薄膜(3)，在绝缘基板(2)的上面形成图案；一对电极(4)，从绝缘基板(2)的上面经过热敏电阻薄膜(3)的上面形成图案；以及一对引线框(5)，连接于一对电极(4)，其中，引线框(5)由以下构成：前端接合部(5a)，接合于电极(4)；引线端部(5b)，与外部连接；以及弯曲部(5c)，形成于前端接合部(5a)与引线端部(5b)之间并成为曲折形状。
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