微小型高压流体控制阀
    571.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1424524A

    公开(公告)日:2003-06-18

    申请号:CN02159507.0

    申请日:2002-12-30

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了属于精密仪器的一种微小型高压流体控制阀。该阀主要由中间连接件分别连接致动器和阀座,弹性薄膜装在中间连接件和阀座之间,活动阀堵在中间连接件中央的导向孔内压在弹簧膜上面,弹性膜将致动部分和流体通道部分隔开,并作为装配密封件。致动器提供阀开关的动力,通过可动阀堵使弹性薄膜变形,开启或封闭流体的出入口,从而实现阀控功能。根据致动器提供的致动力和对阀堵与薄膜层的预紧形式,可得到常开或常闭二种控制阀。该阀结构设计可以较小的致动力控制高压流体,而且阀座部分结构特征为片层,与硅微细加工工艺兼容。其阀座可以有效的减小死区流量,提高控制精度,主要用于微型化学分析仪器,实现微小流量达到纳升到微升范围的精确控制。

    精密微细孔电火花加工装置

    公开(公告)号:CN1266764A

    公开(公告)日:2000-09-20

    申请号:CN00105639.5

    申请日:2000-04-14

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 李勇 郭旻 李芳

    Abstract: 本发明涉及一种精密微细孔电火花加工装置,由进给机构、运动联接件、进丝复合机构和高能脉冲放电电源组成。进给机构通过运动联结件驱动进丝复合机构,进而控制电极丝;高频脉冲放电电源提供放电加工能量和脉冲波形。本发明结构设计紧凑易于实现机床的小型化,摩擦传动机构用于精密进给提高了运动传递的平稳性和可靠性,适于精密微细孔的电火花加工。

    硅微热致动泵及其制造工艺

    公开(公告)号:CN1047432C

    公开(公告)日:1999-12-15

    申请号:CN95117829.6

    申请日:1995-12-08

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 一种硅微热致动泵,属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作,由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔,流体沟道和单向阀,并有由单晶硅薄膜,铝膜组成的双金属层,在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式,及双面驱动结构,所以作用力大,驱动电压低,结构简单,易于集成,制造方便。

    基于亲液和/或疏液的微阵列实现流量控制的微流控芯片

    公开(公告)号:CN209287360U

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201822139441.6

    申请日:2018-12-19

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于亲液和/或疏液的微阵列实现流量控制的微流控芯片,涉及即时检测产品技术领域。该微流控芯片使用流量控制器控制微流道内液体的流速,流量控制器包括由若干阵列单元排布而成的微阵列;阵列单元为设置于微流道表面的具有形状的疏液层或亲液层;其中,若流量控制器为减速流量控制器则包括由若干疏液阵列单元排布而成的微阵列,疏液阵列单元的接触角大于微流道;若流量控制器为加速流量控制器则包括由若干亲液阵列单元排布而成的微阵列,亲液阵列单元的接触角小于微流道。该微流控芯片采用阵列单元排列而成的微阵列来控制微流道内液体的流动速度,具有成本低廉、制备简单、无需外部驱动等优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    固体核磁共振波谱仪用样品容器及样品制备系统

    公开(公告)号:CN217931470U

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202221384883.7

    申请日:2022-06-06

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本申请提供了一种固体核磁共振波谱仪用样品容器及样品制备系统。固体核磁共振波谱仪用样品容器包括本体和转向部件。本体包括沿第一方向相对设置的第一端、第二端和延伸于第一端和第二端之间的容腔,容腔用于容纳样品,第一端开设有与容腔连通的第一开口。转向部件包括沿第一方向相继分布的转向本体和凸出部,转向本体安装于第一端,垂直于第一方向,凸出部具有驱动通道,驱动通道沿第一方向延伸设置,在垂直于第一方向,多个驱动通道环绕本体周向间隔分布。当样品容器转动时,固体核磁共振波谱仪用样品容器的转向本体的受力较为均匀,即转向本体受到的气流均匀分布,从而保证样品容器能够稳定的在空气中悬浮转动。

    电加工微细电极的蠕动进给夹子机构

    公开(公告)号:CN210877951U

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201921133487.5

    申请日:2019-07-18

    Abstract: 本实用新型实施例公开了一种电加工微细电极的蠕动进给夹子机构,用于解决细长电极精确导向和导电绝缘等问题。本实用新型实施例方法包括:常开主轴、常开夹头、常闭主轴、导电滑环;常闭主轴上部中心设有内孔;常开主轴下端部伸入常闭主轴内孔,常开夹头伸入常开主轴并可相对于常开主轴上下移动;常开主轴和常闭主轴均穿入轴承座中进行固定和转动;导电滑环与常闭主轴同轴固定;常开主轴主体、常开夹头本体与常开主轴端部、导向套、常开夹头导向器、外导向管、内导向管互为绝缘材质;常闭主轴本体与常开主轴圆柱销其中任一者为绝缘材质;常开夹头与常闭主轴内设计有高精度导向器。

    一种用于不同直径电极夹持的蠕动复合主轴机构

    公开(公告)号:CN207139044U

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201720561281.7

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于不同直径电极夹持的蠕动复合主轴机构,属于特种加工特别是电火花加工技术领域,机构包括上安装板、下安装板、S轴模组、Z轴模组、旋转传动机构、电动球阀、常闭夹子机构、常开夹子机构;旋转传动机构、电动球阀、常闭夹子机构固定安装在上安装板上,常开夹子机构通过常开夹子支架安装在下安装板上,上安装板与S轴模组的滑块连接,下安装板与Z轴模组滑块连接,通过Z轴、S轴模组之间的相对运动及常闭夹子机构、常开夹子机构的交替开合实现电极的蠕动进给与补偿。本实用新型运用于航空发动机涡轮叶片气膜冷却群孔加工,可实现工具电极的前推式蠕动进给、中空高压冲液密封、不同直径电极对中性夹持及其高精度旋转的多种功能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    摩擦传动精密进给机构
    579.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2431073Y

    公开(公告)日:2001-05-23

    申请号:CN00209346.4

    申请日:2000-04-14

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 李勇 郭旻 李芳

    Abstract: 本实用新型涉及一种摩擦传动精密进给机构,包括侧向预紧机构、驱动轴、摩擦从动轮、减速输出摩擦轮和直线运动输出杆,驱动轴由预紧机构的预紧轮使其压紧在摩擦从动轮上,摩擦从动轮与减速输出摩擦轮同轴一体安装,直线运动输出杆被压紧在减速输出摩擦轮与预紧轮之间。本实用新型具有结构简单、运行均匀可靠、无回程间隙、分辨率高、负载能力强、有效行程大等优点。

    高频数控脉冲电源
    580.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2414547Y

    公开(公告)日:2001-01-10

    申请号:CN00209345.6

    申请日:2000-04-14

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 李勇 郭旻 李芳

    Abstract: 本实用新型涉及一种高频数控脉冲电源,该电源中可编程脉宽计数器和可编程脉间计算器接收用于控制脉冲的数字信号,基频时钟发生器向两个计数器发出时钟信号,使能控制逻辑电路控制二个计数器的工作,两个计数器向高频开关驱动器发生脉冲信号,电子开关根据该脉冲信号使直流源通断而成为脉冲。本电源使用可编程计数器产生需要的脉宽和脉间,可以根据控制指令产生脉冲频率达到高频窄脉宽电流,易于实现自动控制。

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