公开(公告)号：CN1132317A

公开(公告)日：1996-10-02

申请号：CN95117829.6

申请日：1995-12-08

Applicant: 清华大学

Inventor： 周兆英 ,  杨岳 ,  叶雄英 ,  李勇

IPC: F04B43/02 ,  H01L21/302

Abstract: 一种硅微热致动泵，属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式，及双面驱动结构，所以作用力大，驱动电压低，结构简单，易于集成，制造方便。

公开(公告)号：CN1047432C

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：CN95117829.6

申请日：1995-12-08

Applicant: 清华大学

Inventor： 周兆英 ,  杨岳 ,  叶雄英 ,  李勇

IPC: F04B43/02

Abstract: 一种硅微热致动泵，属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式，及双面驱动结构，所以作用力大，驱动电压低，结构简单，易于集成，制造方便。