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公开(公告)号：CN115355853A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210550265.3
申请日：2022-05-20
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法，掘进机，包括主驱动轴、主轴承、前轴承座、后轴承座和超声波位移传感器，主轴承套设于主驱动轴上，前轴承座和后轴承座安装在主轴承两侧以支撑并固定主轴承，在后轴承座上开设安装通孔，超声波位移传感器设置在所述安装通孔内，超声波位移传感器的声波发射端与主轴承的内圈端面正对。本发明能够实现主轴承游隙的非接触式在线连续测量，避免了接触式测量可能造成的碰撞、冲击等不利影响。
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公开(公告)号：CN114441801B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210111144.9
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种双光路结构的加速度传感器及噪底自标定系统及方法；加速度传感器包括加速度传感器芯片，双路检测装置、PCB支撑板与加速度传感器框架；其中，噪底自标定系统包括加速度传感器、双路激光驱动模块、双路IV转换模块、同步采集模块、双通道互相关模块以及环境背景信息提取模块；同步采集模块采集到的双路位移检测模块的输出信号中具有完全相同的环境噪声信号和各自不同的自噪声信号，通过双通道互相关算法可以去除所述完全相同的环境噪声，得到所述各自不同自噪声信号，实现法布里珀罗加速度传感器噪底的自标定。
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公开(公告)号：CN111766403B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202010699169.6
申请日：2020-07-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种抗高g值冲击的梳齿微加速度计及其制备方法，第一固定锚块位于可动质量块的左侧，第二固定锚块位于可动质量块的右侧，其中，第一固定锚块与可动质量块之间设置有第一止档块及第一支撑梁，第二固定锚块与可动质量块之间设置有第二止档块及第二支撑梁；第一支撑梁及第二支撑梁均为U型折叠结构，其中，第一支撑梁的一端固定于第一固定锚块上，第一支撑梁的另一端固定于可动质量块的左侧面上，第二支撑梁的一端固定于第二固定锚块上，第二支撑梁的另一端固定于可动质量块的右侧面上，第一止挡块固定于第一固定锚块上，第二止挡块固定于第二固定锚块上，该加速度计具有高稳定性及抗高g值冲击能力。
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公开(公告)号：CN111199549B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN201911304796.9
申请日：2019-12-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: G06T7/11
Abstract: 本发明公开了一种基于叶片型面测量点云的叶型提取方法。首先，本发明研究了提高型面重建质量和速度的前处理方法，包括分割、统计学滤波、基于八叉树结构的精简若干步骤。然后，研究了网格包络的型面重建方法，对固定高度叶型进行空间插值计算出精确的叶型数据。具体的，该方法采用基于距离统计的离群点滤波方法进行数据滤波，以及基于八叉树数据结构点云精简等技术对点云数据进行预处理，然后采用基于区域增长的重建算法结合Delaunay的准则实现叶片点云的快速重建，最后利用零件图纸规定高度的平面与拓扑网格相交，通过空间插值完成叶型数据的提取。本发明计算效率高，克服投影法的难以精确保留叶型特征的问题，有很好的工程应用前景。
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公开(公告)号：CN111965388B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202010852095.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基和第一双端固支石英音叉、第二双端固支石英音叉，金属基包括金属基座、第一挠性铰链、第二挠性铰链、质量块和金属外框，质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与金属基座相连，金属基座的左右两侧及前侧与金属外框连接；第一双端固支石英音叉和第二双端固支石英音叉的结构相同，贴装于金属基的正面与反面，以差动方式布置；第一挠性铰链和第二挠性铰链在敏感方向SA上具有弹性特性；本发明能够降低封装应力和热应力对加速度计输出的影响，具有灵敏度高、温漂小、精度高、尺寸小等优点。
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公开(公告)号：CN114527166A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210045522.8
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , C01G9/02 , C01B32/184 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性二氧化氮气体传感器及其制备方法，通过将柔性基体超声处理，去除表面灰尘等杂质，然后将超声处理后的柔性基体在还原氧化石墨烯溶液中充分浸泡，自然干燥后形成附着还原氧化石墨层的传感器，利用柔性基体结构在还原氧化石墨溶液中充分浸泡，确保还原氧化石墨充分附着在柔性基体表面，避免脱落，然后在氧化锌量子点溶液中充分浸泡得到柔性二氧化氮气体传感器，还原氧化石墨层和氧化锌量子点层依次附着在柔性本体表面，在柔性本体弯曲折叠时，能够有效避免附着的RGO薄膜的脱落，有效提高NO2气体的传感性能。
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公开(公告)号：CN113465791B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110673446.0
申请日：2021-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括碳化硅谐振器，碳化硅谐振器与压力敏感膜通过锚点相连，碳化硅谐振器包括支撑梁，支撑梁通过柔性梁与外部框架连接，支撑梁与固定电极连接并固定在锚点处，质量块结构通过谐振梁与支撑梁连接，耦合梁通过三角梁与质量块结构连接，耦合梁与可动电极连接，质量块结构与另一可动电极连接，固定电极与可动电极均为梳齿电极，并构成两对梳齿电极对，耦合梁上设置有拾振电阻，并连接有金属电极引线，通过三角梁的设计增大了耦合梁应力集中区域，配合拾振电阻的布置，提升了压力传感器的检测精度，基于第三代半导体材料碳化硅的优良特性，同时获得了高温环境下工作的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN114414846A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210096472.6
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，包括固定镜面、可动镜面和支承座，所述可动镜面包括MEMS弹簧质量结构和第二光学薄膜；所述MEMS弹簧质量结构包括双层支撑梁结构、MEMS质量块和固定框架，所述双层支撑梁结构呈全对称设置；所述第二光学薄膜设置于MEMS质量块上。本发明能明显的提高芯片面外扭转模态频率和面外振动模态频率的比值，可显著抑制非敏感轴方向加速度信号作用下MEMS质量块面外扭转造成的交叉灵敏度以及对传感器灵敏度和量程的影响，保证了法布里珀罗腔固定镜面和可动镜面的平行度，也解决了测量过程中模态相互干扰的问题。
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公开(公告)号：CN114414844A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210094929.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明提供法珀光学MEMS加速度敏感芯片、增敏方法及传感器，所述法珀MEMS加速度敏感芯片由可动镜面、腔体、固定镜面组成；所述可动镜面包含固定框架、光子晶体平板质量块、支撑弹簧，其中，可动镜面的表面刻蚀有呈周期性排列的第一通孔形成第一二维光子晶体结构，固定镜面的表面刻蚀有与所述可动镜面相同周期性排列的第二通孔形成第二二维光子晶体结构，所述第一二维光子晶体结构、腔体和第二二维光子晶体结构共同构成法布里珀罗腔。本发明提供的增敏方法可以通过对二维光子晶体通孔的占空比的设计来调节法布里珀罗腔的反射率，进而达到增加加速度传感器灵敏度的作用，此外，该方法具有增敏适用波长范围宽、实现方法简单的优势。
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