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公开(公告)号：CN111650401B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202010495390.X
申请日：2020-06-03
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种同平面贴装的金属基集成式谐振加速度计，包括金属基和两个双端固支石英音叉，金属基包括质量块、第一挠性铰链、第二挠性铰链、固定金属基座，质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与固定金属基座连接；两个双端固支石英音叉结构相同，贴装于质量块和固定金属基座上，在同一平面内以差动方式布置；金属基采用激光切割慢走丝线切割等低应力或无应力工艺加工而成，并开有定位双端固支石英音叉的定位槽，定位槽在垂直于敏感方向SA的DA方向的中轴线重合；具有差动效果好、微装配工艺易于实施、灵敏度高、加工简单、精密弹性部件的加工精度高、加工残余应力小等优点。
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公开(公告)号：CN112284605A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011061201.4
申请日：2020-09-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种十字岛梁膜高温微压传感器芯片及制备方法，传感器芯片包括基底中部的薄膜，薄膜上加工有一个根部变窄十字型梁，梁根部与基底相连，梁根部布置压敏浮雕电阻条，四个压敏浮雕电阻条通过五个P型重掺杂硅浮雕块连接成半开环惠斯顿电桥，薄膜下面中间有一个十字型质量块；制备方法是对SOI硅片掺杂刻蚀成压敏浮雕电阻条和P型重掺杂硅浮雕块，然后制作根部变窄十字型梁，并将硅片与玻璃正面真空键合，最后制作传感器的背腔十字型质量块；本发明根部变窄十字型梁和十字型质量块的引入提高了整体的刚度，集中了应力，具有耐高温、高线性度、高灵敏度、高动态等特点，且便于加工、成本低。
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公开(公告)号：CN111965388A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010852095.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种低温漂相对平面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基和第一双端固支石英音叉、第二双端固支石英音叉，金属基包括金属基座、第一挠性铰链、第二挠性铰链、质量块和金属外框，质量块通过第一挠性铰链、第二挠性铰链与金属基座相连，金属基座的左右两侧及前侧与金属外框连接；第一双端固支石英音叉和第二双端固支石英音叉的结构相同，贴装于金属基的正面与反面，以差动方式布置；第一挠性铰链和第二挠性铰链在敏感方向SA上具有弹性特性；本发明能够降低封装应力和热应力对加速度计输出的影响，具有灵敏度高、温漂小、精度高、尺寸小等优点。
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公开(公告)号：CN111016434A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911354660.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种基于挤压模式的薄膜式喷墨打印头，包括上半腔室、中间薄膜以及下半腔室，中间薄膜的上下表面采用热键合的方式和上半腔室、下半腔室连接；所述的上半腔室设有上半槽以及和上半槽一端贯通的墨水入口；中间薄膜上设有墨水出口，墨水出口位于上半槽另一端，下半腔室设有下半槽以及和下半槽连接的喷头，喷头和墨水出口分别位于下半槽的两端；当墨水入口中通入一定压强的墨水时，墨水在上半腔室内从墨水入口经上半槽流入相反位置的墨水出口，产生的压强导致中间薄膜发生变形，对下半腔室内下半槽的墨水进行挤压，从而使得墨水从喷头中喷出；本发明结构简单，能够达到微型化、阵列化，并且大幅度降低了成本。
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公开(公告)号：CN111016433A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911354651.X
申请日：2019-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种多墨水喷射及混合的MEMS压电式喷墨打印头，包括下底板和上盖板，下底板和上盖板连接后形成的双层结构设有第一腔室、第二腔室以及混合腔室，混合腔室通过微流道与第一腔室、第二腔室连通，第一腔室的结构与第二腔室相同；两个腔室的压力腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料，混合腔室的上半混合腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料；不同墨水可以分别从第一腔室，以及第二腔室注入到喷头内部，当喷墨要求为单墨水喷墨时，选择其中一个腔室进行工作，当喷墨要求为多墨水混合时，两个腔室进行工作；喷墨打印喷头也可达到不同墨水延时交替喷墨的效果；喷墨打印喷头结合了MEMS加工方法，能够达到微型化，阵列化并且大幅度降低了成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109883581A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910216559.0
申请日：2019-03-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种悬臂梁式差动谐振压力传感器芯片，包括芯片衬底层，芯片衬底层上设有压力敏感膜层，压力敏感膜层上设有支撑层，支撑层上设有悬臂梁结构层；悬臂梁的上下两侧平行对称安装有第一石英双端固支音叉和第二石英双端固支音叉；测量压力时，待测压力作用于敏感压力膜层上，使得悬臂梁结构层的悬臂梁弯曲，两根石英音叉梁分别受到拉应力和压应力的作用，进而使得石英音叉梁谐振频率发生变化，通过测量频率变化，可获得待测压力信息，且形成差动输出，不仅可以提高敏感度，还可以抑制温漂等共轭干扰；测量过程无需数模转换，输出为准数字的压力信号，具有抗干扰能力强，重量轻和体积小等特点。
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公开(公告)号：CN108732382A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810652181.4
申请日：2018-06-22
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，包括键合的石英结构和硅结构；石英结构包括石英框架、石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、质量块、输入端和刻蚀间隙组成的平面内差动石英振梁芯片结构；硅结构包括硅框架，硅框架内设有释放槽；石英框架和硅框架完全键合到一起；石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、输入端、质量块和刻蚀间隙完全悬空于释放槽上；输入端、铰链、杠杆、连接杆共同组成杠杆放大机构，质量块受加速度作用产生惯性力时，惯性力通过输入端传递到杠杆，杠杆放大后传递给连接杆，连接杆把力先集中再均分到石英音叉的两根振梁，影响振梁的频率，通过两端振梁的频率差测得加速度；本发明具有灵敏度高，体积小等优点。
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公开(公告)号：CN106771358A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611079746.1
申请日：2016-11-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097
CPC classification number: G01P15/097
Abstract: 一种微型差动式全石英谐振加速度计，包括外围的支撑框架,支撑框架与其内部的质量块通过敏感方向设置的柔性支撑弹簧连接，在质量块的敏感方向中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，石英振梁位于空槽内，石英振梁两端分别与支撑框架和质量块相连接，且左右对称，石英振梁上表面布有电极，电极位于质量块的敏感方向中轴线上，通电之后电极能够按照预定模态振动，通过质量块感应到加速度的输入，然后通过两个石英振梁的差动变化频率，由频率检测电路把加速度转换为电信号，完成对加速度的感应与测量，本发明具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
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公开(公告)号：CN103063877B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201210568654.5
申请日：2012-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/14
Abstract: 带有温度隔离结构的硅基石英加速度传感器，包括硅基和双端固定石英音叉，硅基上的质量块通过两个挠性梁与硅基相连，硅基表面在挠性梁同侧刻蚀有槽，槽的两端分别与质量块挠性梁和温度隔离结构下方的腔体相连，温度隔离结构由固定座和支撑梁组成，双端固定石英音叉的一端支座固定在温度隔离结构的固定座上，双端固定石英音叉的另一端支座固定在质量块上，双端固定石英音叉的两个叉齿通过固定端与支座相连，叉齿四周覆有电极；当有加速度作用传感器时，挠性梁支撑的质量块产生位移，对双端固定石英音叉拉或者压，从而改变其振动频率，石英对加速度的测量；本发明中的温度隔离结构能够降低温度对传感器灵的影响。
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公开(公告)号：CN119880241A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510092930.2
申请日：2025-01-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种带应力孔的一字梁双岛结构高压压力传感器芯片及制备方法，包括由下向上设置的支撑层、绝缘层和器件层；支撑层背部刻蚀有空腔，空腔正上方为敏感膜，敏感膜上设有一字梁双岛结构；在一字梁双岛结构的边缘与中心处分别布置有四个压敏电阻条，四个压敏电阻条通过五个P型重掺杂硅引线连接成半开环惠斯通电桥，五个P型重掺杂硅引线区域中心处设置有五个金属点电极，周围外侧设有密封圈，相邻P型重掺杂硅引线与密封圈间通过细缝相隔；本发明有效提升其压力承受极限，在确保高量程的同时，实现优异的灵敏度和线性度表现，具备数十至数百兆帕高压测量能力，耐受温度高达400℃，广泛适用于石油、天然气、化工及高压设备监测等领域。
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