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公开(公告)号：CN110057484B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811533833.9
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L5/167 , G01L5/22 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/04 , H01L41/083 , H01L41/113
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN110208574A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910140516.9
申请日：2019-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够发挥优异的力检测特性。传感器器件具备：基体，具有凹部；盖体，堵塞所述凹部的开口；力检测元件，配置于所述凹部，够成为包括第一元件和第二元件，该第一元件根据第一方向的外力输出第一信号，该第二元件层叠于所述第一元件，根据第二方向的外力输出第二信号；第一电路，配置于所述凹部，对所述第一信号进行处理；第二电路，配置于所述凹部，对所述第二信号进行处理，当将在所述基体的俯视观察中所述第一电路以及所述第二电路排列的方向作为第三方向、将与所述第三方向正交的方向作为第四方向时，在所述第三方向上，所述力检测元件位于所述第一电路与所述第二电路之间。
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公开(公告)号：CN110057484A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201811533833.9
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L5/16 , G01L5/22 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/04 , H01L41/083 , H01L41/113
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN104596680B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201410594158.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
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公开(公告)号：CN108709670A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810521203.3
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108709669A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810258121.4
申请日：2018-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/0061 , B25J13/085 , G01L1/16 , H01L41/0477 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/1132 , H01L41/277 , H01L41/313 , Y10S901/27 , Y10S901/46 , B25J19/028 , G01L5/226
Abstract: 一种传感器器件、力检测装置以及机器人，能够降低外力的检测精度下降。传感器器件的特征在于，具备层叠体，所述层叠体包含：第一压电元件；第二压电元件；以及高分子聚合物膜，位于所述第一压电元件与所述第二压电元件之间。此外，优选的是，所述第一压电元件和所述第二压电元件分别具有通过压电效应产生电荷的压电体层和设置于所述压电体层并输出与所述电荷对应的信号的电极，所述高分子聚合物膜设置于所述第一压电元件所具有的所述电极与所述第二压电元件所具有的所述电极之间。
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公开(公告)号：CN104596675A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410573529.2
申请日：2014-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J19/028
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件的特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，分别至少具有：一张第一压电板，其由X截割水晶板构成并根据沿着A轴方向的外力而输出电荷；一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，沿A轴方向与第一压电板层叠，并根据B轴方向的外力而输出电荷；一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与第一压电板之间夹持第二压电板的方式，并且以绕A轴旋转的配置沿A轴方向层叠，并根据C轴方向的外力而输出电荷。
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公开(公告)号：CN104236757A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410090038.2
申请日：2014-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , B25J19/028 , G01L5/009 , Y10S901/46 , Y10T74/20335
Abstract: 本发明提供能够使装置小型化且使力检测的精度提高的力检测装置、机械手和电子部件搬运装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体。本发明的力检测装置具备第一基板、第二基板、设置于上述第一基板与上述第二基板之间的电路基板、以及搭载于上述电路基板且根据外力输出信号的元件，在上述电路基板的配置有上述元件的部位形成有孔，在上述第一基板设置有第一凸部，其插入上述孔且朝向上述元件突出。另外，从相对于上述第一基板而垂直的方向观察，上述元件配置于上述第一凸部内。
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公开(公告)号：CN103175637A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558596.8
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J9/1633 , G01L1/16 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。
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