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公开(公告)号：CN106092421A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610570110.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面，所述传感器元件是通过板状基板层积而成。
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公开(公告)号：CN101013708A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710007704.1
申请日：2007-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/12 , H01L21/762 , H01L21/84
CPC classification number: H01L27/1203 , H01L21/84 , H01L27/1207
Abstract: 本发明提供一种半导体装置。该半导体装置包括：半导体层(60)，在将半导体基板(10)蚀刻到规定深度而得到的第一区域，通过外延生长而形成，该半导体层距半导体基板(10)底面的高度与半导体基板(10)表面的高度实质相同；嵌入绝缘层(240)，嵌入到半导体基板(10)与半导体层(60)之间；和元件分离体，在水平面内，对半导体层(60)内的各元件区域间以及半导体层(60)与半导体基板(10)之间进行元件分离。因此，可以得到一种在混载有SOI结构与体结构的半导体基板上形成的半导体装置，而不会增大芯片尺寸。
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公开(公告)号：CN103994845B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201410053005.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置（1a）具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件（10a）；具有第一开关元件（23）和第一电容器（22），且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路（20）；具有第二开关元件（33）和第二电容器（32），并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路（30）；以及基于从转换输出电路（20）输出的电压V和从补偿用信号输出电路（30）输出的补偿用信号Voff，来检测外力的外力检测电路（40a）。第二电容器（32）的静电容量比第一电容器（22）的静电容量小。
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公开(公告)号：CN103175637B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201210558596.8
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L5/167 , B25J9/1633 , G01L1/16 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、力检测装置、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于上述封装；以及盖体，其对上述封装进行密封，在上述盖体具备可挠部，在深度方向上俯视观察上述封装时，该可挠部包围上述传感器元件的周围并且具有可挠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104596676B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN104596676A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN109773764B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811346177.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种机器人，能够降低碰撞时的危险性。该机器人的特征在于具有：机器人主体部，具备基座、设置为相对于所述基座能够转动的第一可动部以及设置为相对于所述第一可动部能够转动的第二可动部；第一接近传感器，用于检测物体相对于所述第一可动部的接触或靠近；以及第二接近传感器，用于检测物体相对于所述第二可动部的接触或靠近，所述第一接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第一电极部以及用于检测所述第一电极部的静电电容的第一电路部，所述第二接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第二电极部以及用于检测所述第二电极部的静电电容的第二电路部。
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公开(公告)号：CN110549330A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910460439.5
申请日：2019-05-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种机器人、控制装置以及机器人的控制方法，力传感器的检测精度高。所述机器人的特征在于，具有：基座；机械臂，相对于所述基座相对转动；力传感器，检测外力；以及传感器部，检测在沿所述机械臂设定的预定区域是否存在物体，当所述机械臂的动作处于停止或者等速动作，并且根据所述传感器部的检测结果判断为在所述预定区域不存在物体时，校正所述力传感器的检测值。
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