隔膜阀以及其监视方法
    41.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112334696A

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN201980043717.5

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀。该隔膜阀具有:阀体(10),其划定供流体流通的流路(11)和在该流路的中途向外部开口的开口部(12);挠性分隔壁构件(21),其覆盖开口部(12)并将流路(11)和外部隔开,且改变流路(11)的截面积;挠性支承构件(22),其配置于挠性分隔壁构件(21)的与流路侧相反的背面侧;壳体(41),其隔着挠性分隔壁构件(21)的周缘部和挠性支承构件(22)的周缘部而固定于阀体(10);以及湿度传感器(100),其检测挠性支承构件(22)和壳体(41)的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

    阀装置
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111919053A

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201880091000.3

    申请日:2018-03-09

    Abstract: 本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有:阀体(10),在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13);阀芯(20),其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断,并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通;操作构件(40),其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动;以及调整致动器(100),其限定操作构件的开位置,并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料,通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。

    手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器

    公开(公告)号:CN111278605A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201880070256.6

    申请日:2018-10-23

    Abstract: 提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有:手柄(10),其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12);以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30),其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33),该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为,形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。

    流体供给管线及动作解析系统

    公开(公告)号:CN111033430A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880051417.7

    申请日:2018-08-28

    Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外,抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11~V14)所构成的流体供给管线(L1)具有:第一连接单元,其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接;以及第二连接单元,其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支,来与其他流体控制设备(F1、V11~V14)进行连接。

    流体供给装置和流体供给方法

    公开(公告)号:CN110998802A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201880052011.0

    申请日:2018-07-31

    Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1),其具有:冷凝器(130),其用于使气态的二氧化碳冷凝液化;贮存器(140),其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体;泵(150),其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳;以及阻尼部(10),其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2),用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动,阻尼部(10)具有螺旋管(20),该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置,并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。

    流体控制设备
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110382934A

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201880015079.1

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外,能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括:信息处理模块(5),其设置在设备内;阀体(11),其具有流路;致动器机体(12),其固定于阀体(11);壳体(13),其为中空,固定于致动器机体(12),并在侧面形成有贯通孔(133d);活塞(126),其设置在致动器机体(12)内,并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b);以及导入管(21),其为导入驱动压的管,一端插入至驱动压导入路(126b),另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。

    流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器

    公开(公告)号:CN109983318A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201880004412.9

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 在流体控制器中,即使在流体的泄漏很少的情况下,也能够检测到泄漏。另外,通过利用信息通信技术,从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有:压力传感器(11),其检测封闭空间(S)内的压力;处理模块,其执行给定的信息处理;以及拆装机构,其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP),并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较,从而判别流体控制器(2)的异常,并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。

    管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置

    公开(公告)号:CN107614955A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201680030545.4

    申请日:2016-05-27

    CPC classification number: F16L37/15 F16L23/036 F16L37/144

    Abstract: 一种管接头的接头方法,包括:准备第一管件(4)、第二管件(6)、收容于壳体(8)内并将第二管件(6)的第二凸缘部(18)向第一管件(4)的第一凸缘部(16)推压的推压部件(10)、以及壳体(8),该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和与该凸缘收容空间(1)(32)连通且收容推压部件(10)的收容空间(2)(28);通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入,使第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),通过将第二管件(6)自第二凸缘部(18)插入第二开口(24),以形成第二凸缘部(18)与第一凸缘部(16)抵接的状态;通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28),将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。

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