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    压力传感器装置、以及内置压力传感器的流体控制仪器
    2.
    发明公开
    压力传感器装置、以及内置压力传感器的流体控制仪器 失效

    公开(公告)号：CN101371120A

    公开(公告)日：2009-02-18

    申请号：CN200780002920.5

    申请日：2007-01-24

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 四方出 ,  牧野惠 ,  小艾睦典 ,  塚田真盛 ,  相泽十兵卫

    IPC: G01L19/00 ,  F16L41/03

    CPC classification number: F16L41/008 ,  G01L19/0007

    Abstract: 本发明提供一种压力传感器装置以及内置压力传感器的流体控制仪器，能够实现进一步的紧凑化，并且，使压力传感器的单独更换容易的集成化流体控制装置成为可能。压力传感器装置(21)具有：第1通路块(22)，在该第1通路块上形成有规定的通路(22a)；第2通路块(23)，在该第2通路块上形成有规定的通路(23a)，且第2通路块(23)与第1通路块(22)隔开规定间隔地相对；压力传感器(24)，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一方的通路块(23)的相对面上，检测其内部通路(23b)的流体压力，该压力传感器装置(21)与压力调整器(16)一体化。

    球阀
    4.
    发明授权
    球阀 失效

    公开(公告)号：CN103672006B

    公开(公告)日：2017-05-03

    申请号：CN201310422655.3

    申请日：2013-09-17

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 池田隼也 ,  四方出

    IPC: F16K5/06 ,  F16K5/08

    CPC classification number: F16K5/0647 ,  F16K5/0636 ,  F16K5/0689 ,  F16K5/0694

    Abstract: 一种球阀，其特征在于，其包括：具有流体入口通道、流体出口通道及设置在这些通道间的连通部的主体、具有流体连通道且绕基准轴可旋转地配置于主体的连通部的球、周壁设置有所需开口部的大致圆筒状且配置于所述球和所述主体之间的球座、与所述球座相邻且配置于所述主体的内部的球座压块、与所述主体的内周螺合配置的压块螺丝，在通过使球绕基准轴旋转以使得流体入口通道和流体出口通道连通和断开的球阀中，所述压块螺丝通过调整其紧固力按压所述球座压块，所述压块螺丝不经由填料按压所述球座压块。本发明的球阀能降低扳手转矩并由此手动开合方便，并能可靠防止泄漏。

    清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
    6.
    发明授权
    清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置 失效

    公开(公告)号：CN103732972B

    公开(公告)日：2015-12-30

    申请号：CN201380001709.7

    申请日：2013-02-20

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

    IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

    CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

    Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。

    液力联轴器
    7.
    发明授权
    液力联轴器 失效

    公开(公告)号：CN103069203B

    公开(公告)日：2015-06-17

    申请号：CN201180032152.4

    申请日：2011-06-13

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 柚原康一 ,  四方出

    IPC: F16L19/03

    CPC classification number: F16L15/04 ,  F16L19/0218 ,  F16L19/025 ,  F16L2201/10

    Abstract: 本发明提供一种在产生忘记放入垫圈的故障的情况下，能够通过泄漏试验可靠地发现该情况的液力联轴器。在各联轴器构件(1、2)的对接的端面设有环状的密封突起(7、8)以及突出量大于密封突起(7、8)的过度拧紧防止用环状突起(9、10)。在至少一方的过度拧紧防止用环状突起(9、10)上形成有在两个过度拧紧防止用环状突起(9、10)互相对接时连通其内部空间(Si)和外部空间(So)的连通通道(31、32)。

    清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置
    8.
    发明公开
    清洗管线变更用通路块接头以及流体控制装置 失效

    公开(公告)号：CN103732972A

    公开(公告)日：2014-04-16

    申请号：CN201380001709.7

    申请日：2013-02-20

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

    IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

    CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

    Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。

    管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置
    9.
    发明公开
    管接头方法、管接头用部件、具有该部件的管接头、流体控制器、流体控制装置、以及半导体制造装置 失效

    公开(公告)号：CN107614955A

    公开(公告)日：2018-01-19

    申请号：CN201680030545.4

    申请日：2016-05-27

    Applicant: 株式会社富士金

    Inventor： 渡边一诚 ,  稻田敏之 ,  四方出 ,  篠原努

    IPC: F16L37/14 ,  F16L23/036

    CPC classification number: F16L37/15 ,  F16L23/036 ,  F16L37/144

    Abstract: 一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、收容于壳体(8)内并将第二管件(6)的第二凸缘部(18)向第一管件(4)的第一凸缘部(16)推压的推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和与该凸缘收容空间(1)(32)连通且收容推压部件(10)的收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),通过将第二管件(6)自第二凸缘部(18)插入第二开口(24)，以形成第二凸缘部(18)与第一凸缘部(16)抵接的状态；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。

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