公开(公告)号：CN112334696A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201980043717.5

申请日：2019-05-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 铃木裕也 ,  丹野竜太郎 ,  土口大飞 ,  中村伸夫 ,  篠原努

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/12

Abstract: 提供一种能够事先避免由于隔膜的破损而隔膜阀内的流体向外部漏出的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(10)，其划定供流体流通的流路(11)和在该流路的中途向外部开口的开口部(12)；挠性分隔壁构件(21)，其覆盖开口部(12)并将流路(11)和外部隔开，且改变流路(11)的截面积；挠性支承构件(22)，其配置于挠性分隔壁构件(21)的与流路侧相反的背面侧；壳体(41)，其隔着挠性分隔壁构件(21)的周缘部和挠性支承构件(22)的周缘部而固定于阀体(10)；以及湿度传感器(100)，其检测挠性支承构件(22)和壳体(41)的内表面所划定的空间内的气氛的状态或该状态的变化。

公开(公告)号：CN113366253A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202080012063.2

申请日：2020-01-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土口大飞 ,  吉田俊英 ,  丹野竜太郎 ,  铃木裕也 ,  近藤研太 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  滝本昌彦

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/16 ,  F16K7/17 ,  F16K31/02 ,  F16K31/122

Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使操作构件(40)向开位置(OP)或闭位置(CP)移动；调整用致动器(100)，其利用与被施加的输入信号相应地收缩的被动元件，并且，用于对被定位于开位置(OP)的操作构件(40)的位置进行调整；位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位置；以及原点位置确定部，其利用隔膜(20)与阀座(15)抵接的闭阀状态来确定位置检测机构(85)的原点位置。

公开(公告)号：CN113423987A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202080012062.8

申请日：2020-01-23

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 丹野竜太郎 ,  吉田俊英 ,  土口大飞 ,  铃木裕也 ,  近藤研太 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  滝本昌彦

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/17 ,  F16K31/122 ,  H01L21/02

Abstract: 提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。