流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法

    公开(公告)号:CN110462269A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201880021913.8

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时,关闭正在进行流量控制的控制阀(5),同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。而且,配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

    隔膜阀
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107407430B

    公开(公告)日:2019-10-22

    申请号:CN201680017445.8

    申请日:2016-03-04

    Abstract: 本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比,来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa,将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb,则SRb/SRa=0.4~0.6。

    密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器

    公开(公告)号:CN109863334A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201780065703.4

    申请日:2017-10-26

    Abstract: 提供一种即使用于低温流体也能够长时间确保密封性的密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器。具有夹设在第1部件及第2部件(2、3)之间的环状垫圈(6)。第1部件(2)的垫圈对置面包括:内径侧的第1面(41);环状的第1突起(42),其设置在第1面(41)的外径侧;第2面(43),其设置在第1突起(42)的外径侧;环状的第2突起(44),其设置在第2面(43)的外径侧,相对于第2面(43)的突出量大于第1突起(42);以及第3面(45),其设置在第2突起(44)的外径侧。第1突起(42)及第2突起(44)咬入垫圈(6),第2面(43)按压垫圈。

    隔膜阀
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107407430A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201680017445.8

    申请日:2016-03-04

    Abstract: 本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比,来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa,将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb,则SRb/SRa=0.4~0.6。

    流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法

    公开(公告)号:CN110462269B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201880021913.8

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时,关闭正在进行流量控制的控制阀(5),同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。而且,配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

    密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器

    公开(公告)号:CN109863334B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201780065703.4

    申请日:2017-10-26

    Abstract: 提供一种即使用于低温流体也能够长时间确保密封性的密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器。具有夹设在第1部件及第2部件(2、3)之间的环状垫圈(6)。第1部件(2)的垫圈对置面包括:内径侧的第1面(41);环状的第1突起(42),其设置在第1面(41)的外径侧;第2面(43),其设置在第1突起(42)的外径侧;环状的第2突起(44),其设置在第2面(43)的外径侧,相对于第2面(43)的突出量大于第1突起(42);以及第3面(45),其设置在第2突起(44)的外径侧。第1突起(42)及第2突起(44)咬入垫圈(6),第2面(43)按压垫圈。

    管接头
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109477600B

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201780045130.9

    申请日:2017-07-25

    Abstract: 提供一种管接头,用于在超高压条件下使用,且接头的直径不会相对地变大。该管接头具备:第1及第2接头部件,其具有相互连通的流体通路;和密封垫片,其夹设在第1及第2接头部件的对接端面之间,在第1及第2接头部件的对接端面上形成有环状的密封突起,该管接头的特征在于,在将第1及第2接头部件的内径设为D1、将密封垫片的内径设为D2、将密封突起的直径设为D3、将密封垫片的外径设为D4时,以式(1)规定的系数F为0.4以下,式(1):F=(D32‑D12)/(D42‑D22)。

    阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法

    公开(公告)号:CN109952459B

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN201780069196.1

    申请日:2017-11-02

    Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有:阀体(10),其划分出流路(12);阀芯(20),其被设为能够开闭阀体的流路(12);操作构件(40),其用于操作阀芯,被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动;主致动器(60),其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动;以及压电致动器(100),其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。

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