公开(公告)号：CN115882806A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202310148699.5

申请日：2023-02-22

Applicant: 季华实验室

Inventor： 马聪伟 ,  姚龙 ,  侯丽丽 ,  李晓峰

IPC: H03H7/38 ,  H01J37/32

Abstract: 本公开涉及一种射频电源自动阻抗匹配装置、系统以及方法，射频电源自动阻抗匹配装置包括：控制模块、至少一个检测模块和至少一个阻抗匹配模块；阻抗匹配模块用于与射频电源电连接；检测模块与阻抗匹配模块的输入端一一对应电连接；阻抗匹配模块的输出端用于与负载一一对应电连接；检测模块用于获取传输至阻抗匹配模块的电压信号和电流信号；控制模块用于根据电压信号和电流信号确定阻抗匹配模块所在支路的信号传输的反射系数，根据反射系数调节阻抗匹配模块的电容值。本公开实现了射频电源和负载之间的实时阻抗匹配，减少射频电源所发送的信号的损耗，从而实现高效的能量传输。

公开(公告)号：CN111088526A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201911379938.8

申请日：2019-12-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 胡强 ,  胡琅 ,  徐平 ,  侯立涛 ,  何斌 ,  黄星星 ,  郭远军 ,  李晓峰

IPC: C30B29/36 ,  C30B25/12

Abstract: 本发明提供了一种多片装载的碳化硅外延生长设备，包括基座，设置在基座上的反应室，设置在反应室左侧的进气机构，设置在反应室右侧的出气机构，设置在反应室底部的加热线圈，可转动地设置在反应室中部的托盘架，以及用于驱动托盘架转动的驱动机构；所述托盘架包括一根竖直的旋转杆，以及多个水平地串接在旋转杆上的石墨托盘；每个石墨托盘上表面均匀设置有多个用于放置衬底的定位凹槽。该碳化硅外延生长设备可一次生产多个外延片且结构紧凑、节能环保。