一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置

    公开(公告)号:CN119062706A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202411064203.7

    申请日:2024-08-05

    Abstract: 一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置,本发明为解决在超精密加工过程中,如何有效隔离振动的问题,本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器气腔、主动减振单元和隔振器气腔安装在隔振器上板和隔振器下板之间,隔振器气腔的一侧设有主动减振单元。本发明保证垂向低刚度,水平向准零刚度特点,垂向还可以通过外加气室减小刚度。主动减振单元部分主要包含一个水平电机和垂向电机,可以实现两个方向的主动控制。由三台及以上此隔振装置还可以组装成一个六自由度零刚度的主动隔振系统。兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点,能满足光刻系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。

    一种获取磁悬浮底板吊装最优方案的方法

    公开(公告)号:CN116244839B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202211562033.6

    申请日:2022-12-07

    Abstract: 一种获取磁悬浮底板吊装最优方案的方法,它涉及一种获取磁悬浮底板吊装最优方案的方法。本发明为了解决磁悬浮平台的底板吊装过程中,由于底板自身重力的影响,导致底板发生变形的问题。本发明的步骤为:步骤一、建立磁悬浮底板模型;步骤二、对磁悬浮底板进行静力学分析;步骤三、参数化扫描寻找最佳吊耳位置并添加加强筋位置;步骤四、重新进行静力学分析,与初始结果进行比对;步骤五、参数化扫面、区域分割分析各个区域变形;步骤六、确认优化结果。本发明属于磁悬浮宏微动台技术领域。

    一种六自由度地基激振台
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116839845B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202310692905.9

    申请日:2023-06-13

    Abstract: 本发明提出一种六自由度地基激振台,属于振动试验机技术领域。优化了现有地基激振设备因为平台固有频率低导致激振频带较窄的问题。一种六自由度地基激振台包括大理石平台支撑框架,通过垫板固定安装在混凝土地面上;大理石平台,是被激励装置,居于支撑框架中间,平台四侧通过连接板与固连在支撑结构上的电机相连。通过电机出力并联解决了激励不足的情况、优化大理石平台及支撑框架的结构提高了各部分的固有频率,保证了激振频带内可控。

    一种柔性基础激振台共振抑制方法

    公开(公告)号:CN116822157B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202310652164.1

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 本发明提出一种柔性基础激振台共振抑制方法,所述方法包括以下步骤:建立本发明中有底座的柔性基础激振台动力学模型,建立无底座激振台动力学模型;根据柔性基础激振台和无底座激振台的振动传递率公式和传感器实测比值数据对比得到两者振动特性;获得基于柔性基础激振台由于柔性基座带来的不良共振情况;以指数倍提高柔性底座刚度分析其共振峰移动规律;通过优化底座结构的刚度给出共振峰偏移量,从而降低激振频带内系统由于底座柔性底座引发的共振问题,该方法低成本,简单易用,有效提升激振台产生振动信号的品质。

    一种用于多自由度隔振器的刚度解耦铰链

    公开(公告)号:CN117489736A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311568582.9

    申请日:2023-11-23

    Abstract: 本申请公开一种用于多自由度隔振器的刚度解耦铰链。包括铰链本体,第一连接部,第一连接部的一端与铰链本体相连接且第一连接部与铰链本体之间形成有至少一个第一间隙,第二连接部,其设置在铰链本体远离第一连接部的一端且与铰链本体之间形成有至少一个第二间隙,第一连接部包括第一支撑部,第一支撑部沿铰链本体轴向延伸的一端与铰链本体相连接,第二连接部包括第二支撑部,第二支撑部沿铰链本体轴向延伸的一端与铰链本体相连接,通过漏斗状结构的连接部和支撑部提供足够的垂向负载能力以及水平向负载能力并减小水平刚度与垂向刚度之间的耦合。

    一种光诱导的重氮芳基酯类化合物α位氢氟化方法

    公开(公告)号:CN115417738B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202211123173.3

    申请日:2022-09-15

    Inventor: 杨超 李斌 郭林

    Abstract: 一种光诱导的重氮芳基酯类化合物α位氢氟化方法,本发明属于光诱导合成技术领域,具体涉及一种在无外加光催化剂的条件下,光诱导实现重氮芳基酯类化合物的α位的直接氢氟化的方法。本发明是要解决有机合成中构建C‑F键的困难的技术问题。方法:将重氮芳基酯类化合物、氟化试剂和酸式盐加入到溶剂中,混合,在室温、惰性气体氛围下,光源照射,得到α‑氟芳基酯类化合物。本发明方法操作非常简单,原料商业可得,使用蓝光照射就能够高效实现该反应的较高产率的合成,且原子经济性高,具有广泛的底物普适性。本发明应用于有机合成领域。

    一种光诱导的重氮芳基酯类化合物α位氢氟化方法

    公开(公告)号:CN115417738A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211123173.3

    申请日:2022-09-15

    Inventor: 杨超 李斌 郭林

    Abstract: 一种光诱导的重氮芳基酯类化合物α位氢氟化方法,本发明属于光诱导合成技术领域,具体涉及一种在无外加光催化剂的条件下,光诱导实现重氮芳基酯类化合物的α位的直接氢氟化的方法。本发明是要解决有机合成中构建C‑F键的困难的技术问题。方法:将重氮芳基酯类化合物、氟化试剂和酸式盐加入到溶剂中,混合,在室温、惰性气体氛围下,光源照射,得到α‑氟芳基酯类化合物。本发明方法操作非常简单,原料商业可得,使用蓝光照射就能够高效实现该反应的较高产率的合成,且原子经济性高,具有广泛的底物普适性。本发明应用于有机合成领域。

    可提高推力分辨率和工质利用率的会切场等离子体推力器

    公开(公告)号:CN111156140B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201811318503.8

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 可提高推力分辨率和工质利用率的会切场等离子体推力器,属于会切场等离子体推力器设计领域。解决了现有会切场推力器在实现其无拖曳应用中推力分辨率不足、在低功率工况下电离不足、工质利用率过低的问题。本发明的会切场等离子体推力器整体为轴对称结构,包括主阳极、第一垫片、空心盖板、外壳、第一级永磁体、第二垫片、第二级永磁体、壁面阳极和陶瓷通道。本发明通过调节陶瓷通道内部的环形壁面阳极电位实时调控通道内部电子的运动行为,从而微调电离过程和输出性能参数,达到提高推力器输出推力分辨率的目的,同时可促进电子径向迁移,进而增加电子与壁面附近的原子的碰撞概率,实现电离区的径向扩展,达到提高推力器工质利用率的目的。

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