WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置

    公开(公告)号:CN113884023A

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN202111194457.7

    申请日:2021-10-13

    Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置,属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度,确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑,用于吊起镜筒,所述测量装置用于侧面镜筒的圆度误差和轮廓误差,测量装置安装在高精度气浮主轴上,由高精度气浮主轴带动其旋转测量,所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上,所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测,可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量,保证了检测过程中镜片的低变形、高精度,提高了检测效率,达到了降本增效的效果。

    一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法

    公开(公告)号:CN108334027A

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201810074312.5

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法,所述方法步骤如下:一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响,当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级,同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时,则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差;二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目;三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置,写出其通项公式并对余数进行处理;四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序,实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。

    一种基于PLC液压站的压力/流量的闭环控制方法

    公开(公告)号:CN104668974B

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201510077599.3

    申请日:2015-02-13

    Abstract: 一种基于PLC液压站的压力/流量的闭环控制方法,它涉及的是精密加工机床的液压支承元件的供油技术领域。克服现有液压站存在测量的分辨率不足,及工作时所带来的振动、噪声和压力波动较大等因素,而对机床加工精度造成影响很大的问题。它的控制方法步骤为:步骤一:判断应选择流量模式或压力模式;步骤二:在触摸屏上选择;步骤三:当PLC控制器接到流量模式指令时,驱动油泵按恒转速n运行;当PLC控制器接到压力模式指令时,驱动油泵按特定转速转动工作;步骤四:PLC控制器还时实将故障信息在触摸屏中实时显示出详细信息。本发明使用压力闭环,速度闭环,其压力输出精度高,对超精密加工机床的加工造成的影响大大降低。

    一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置

    公开(公告)号:CN105091780A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201510255808.9

    申请日:2015-05-19

    Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置,由半导体激光器、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、CCD相机、铝合金面包板、激光器电源和笔记本电脑组成,半导体激光器输出的激光束通过线性衰减片后经过小孔光阑,小孔光阑对激光束进行滤波,被调制的激光束作为入射光照射到被测工件表面,在被测工件表面发生衍射现象,产生衍射光斑,透镜将激光束各级衍射光斑调整为平行光束,利用CCD相机对激光束各级衍射光斑进行测量并将测量结果传输到笔记本电脑中,通过图像采集软件对衍射光斑图像进行采集。本装置光路系统调整方便,对测量环境要求不严格,具有一定的便携性。

    一种辊筒模具超精密机床双面动平衡功能实现方法

    公开(公告)号:CN116079487B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202310243464.4

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 一种辊筒模具超精密机床双面动平衡功能实现方法,属于超精密加工装备技术领域,能够提升辊筒模具动平衡调整的效率,提高辊筒模具的加工精度。包括以下步骤:S3.启动超精密机床,由光栅尺组件测量X轴溜板的位移数据,由超精密机床自带的编码器精确记录辊筒模具在此期间的角位移;S5.利用S3的数据获取辊筒模具两个端面的不平衡质量和安装误差的方位;S6.确定两个校正面需要增加的平衡质量和方位。本发明不需要增加额外的传感器,直接在数控系统中采集原始的直线轴伺服性能数据(跟踪误差),即可实现转子系统的精密动平衡。只依靠机床本身具有的设备和性能,未引入外来误差,系统可靠性更高,容易实现系统集成。

    一种复合式超精密加工机床

    公开(公告)号:CN115431047B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202211261158.5

    申请日:2022-10-14

    Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床,所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件,其中:所述机床基座布置在隔振支承部件上;所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件;所述Z1轴与Z2轴平行布置,与X轴垂直;所述C轴安装在X轴上,呈卧式布置;所述B轴安装在Z1轴上,呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑,通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工,在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。

    一种使用气体静压轴承的导电游丝弯矩测量系统

    公开(公告)号:CN116295997A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310060087.0

    申请日:2023-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种使用气体静压轴承的导电游丝弯矩测量系统,所述测量系统包括主轴电机、联轴器、回转工作台、回转轴、高台、工作台和光栅系统,其中:所述回转工作台冷装套设在回转轴上;所述回转轴通过联轴器与主轴电机连接;所述高台固定在工作台上,且高台对称布置在回转工作台两侧;所述光栅系统包括圆标尺光栅、读数头和光栅数显仪;所述圆标尺光栅绕在回转工作台的外侧表面;所述读数头固定在工作台上与圆标尺光栅配对使用;所述光栅数显仪上集成有电子细分电路,且通过电缆与读数头连接。本发明可以实现对不同结构、不同材料的导电游丝的合力矩进行测试,以便确定最小干扰力矩的游丝布置方案,通过控制上实现测量自动化。

    一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀

    公开(公告)号:CN116123170A

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202310092984.X

    申请日:2023-02-09

    Abstract: 一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀,属于液压阀技术领域。液压阀芯,包括阀芯及套设在阀芯上的薄壁结构,薄壁结构的内侧壁开设环状凹槽,阀芯内部开设有液压油流道,液压油流道的入口端设置在阀芯的端面上,液压油流道的出口端在与环状凹槽连通,液压油通过液压油流道流入环状凹槽,从而改变阀芯在液压阀内的液压降分布情况,以实现阀芯自定心。本发明的液压阀芯仅由两部分组成且结构简单,无需加工同心的均压槽或外加辅助装置避免卡紧,利用液压油的高压作用实现阀芯微变形进而实现自定心,提高加工效率;且无论在阀芯哪侧通高压都实现顺锥效果,能够提高装配效率;利用顺锥利于自定心的特点,提高阀芯工作精度和可靠度。

    一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备

    公开(公告)号:CN116079083A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202310161188.7

    申请日:2023-02-23

    Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备,属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上,刀具组件设置在辊筒模具下方,且刀具组件安装在串联双转台上,串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔,充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势,改进了柱面菲涅尔仿形加工方法,去除了用于调整刀具的手动位移台,保证机床整体刚度;同时主轴C轴采用气体静压主轴,将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度,大大提高其抗干扰能力,X轴和Z轴均为液体静压导轨,低速无爬行,在保证承载力的同时提高了直线运动精度,达到超精密加工要求。

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